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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 )f:!#v(K  
    Sl+jduc  
    任务说明 OLd$oxKR  
    m;$F@JJ  
    o0-fUCmC  
    4P-'(4I)  
    灵活地导出制造数据： q:D0$YY0  
    - 平滑的界面 ozxK?AMgG  
    - 量化界面 pRDON)$  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 m`1}O"<&i  
     nJM9c[Ou^H  
    亮点 *BP\6"X  
     导出各种表面形状的制造数据 -h^} jP8  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 E-7a`S  
         jmZ|b6  
    {TcbCjyw  
    一般界面的制造数据 >8Yrmq  
    D^T7pO  
    Pvb+   
    1_dMe%53  
    支持文件格式： h#6 jUQ  
    - 纯文本 d9Ow 2KrC  
    - ASCII码 a_}BTkfHa  
    - 点云 ZF11v(n  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） EL)/5-=S  
     "YdDaj</  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） sLpCWIy  
    R y*I~<m  
    采样高度剖面的STL导出 Ws}kb@5  
    "n2xn%t{  
    \Kzt*C-ZH  
    88+\mX;A#  
    量化界面的GDSII导出 >TJKH^7n  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 b6E8ase:F  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 X0r#,u  
    $/U^/2)  
     
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