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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 i>_V?OT#5  
    \gki!!HQ  
    任务说明 -OZXl  
    &!2 4l=!  
    m[!t7e  
    c_x6FoE;L  
    灵活地导出制造数据： f I`6]?W  
    - 平滑的界面 $d{{><  
    - 量化界面 sKB])mf]  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 &48wa^d  
     V9I5/~0c  
    亮点 2TmQaDu%b  
     导出各种表面形状的制造数据 {[61LQ6V9  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 k+'Rh'>  
         L qMH]W  
    `n Y!nh6!  
    一般界面的制造数据 0SwWLq  
    jAfUz7@  
    h35x'`g7+r  
    !3v!BJ#+,&  
    支持文件格式： `22F@JYN  
    - 纯文本 1&ZG6#16q  
    - ASCII码 +IK~a9t  
    - 点云 `XB(d@%  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） HtgVD~[]  
     *^ \xH,.  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 5.0BaVwi  
    /P<RYA~  
    采样高度剖面的STL导出 vK!,vKa.  
    CSRcTxH  
    ]BP"$rs  
    K!7o#"GM  
    量化界面的GDSII导出 15 x~[?!  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 vY7C!O/y_k  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ~=aGv%vX  
    cT`x,2  
     
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