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光学测量>显微 s^PmnFR cEi<}9r 任务/系统描述 s1=u{ET LXxl ?D
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\>[gl!B_Rr zjWyGt(Q 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 }}s)
+d 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 V'yxqI? 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 KgU[ s=j O;K$ 说明:光源 4`0;^K. D[W}[r ST4(|K }q x(z^ 说明:透镜系统 HjPH *<3iEeO/R nP)-Y#`~7 @}{VM)Fc+ 说明:样品结构 _^3@PM> {q2<KRU2+# Sl~C0eO bl9E&B/ 说明:探测器 )XZ,bz*jn mZ &] /K& |