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)p-B@5bb 内容简介 # $:ddOY Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {(7D=\eU 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 8 oHyNo 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 }LH>0v_<Y JD^&d~n_ 讯技科技股份有限公司 JTw'ecFev
62B` Z5j# 目录 }}3*tn<6 Preface 1 T,72I 内容简介 2 ^|6%~jkD5 目录 i kO:iA0KUX 1 引言 1 Hp_3BulS< 2 光学薄膜基础 2 4]N`pD5 2.1 一般规则 2 n%w36_ 2.2 正交入射规则 3 um@RaU 2.3 斜入射规则 6 C7(kV{h$d 2.4 精确计算 7 uf*sI 2.5 相干性 8 ^;3z9}9 2.6 参考文献 10 %d+:0.+`n 3 Essential Macleod的快速预览 10 D<[4}og&] 4 Essential Macleod的特点 32 -{>Nrx| 4.1 容量和局限性 33 =nEl m*E 4.2 程序在哪里? 33 p~h=]o'i 4.3 数据文件 35 L&qzX) 4.4 设计规则 35 kb?QQ\e 4.5 材料数据库和资料库 37 Dg]ua5jk 4.5.1材料损失 38 0px@3/ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ?aInn:FE 4.5.2 材料库 41 +[9~ta|j 4.5.3导出材料数据 43 ]6{G;f$ 4.6 常用单位 43 "v-\nAu 4.7 插值和外推法 46 :K& 4.8 材料数据的平滑 50 w$H=GF?" 4.9 更多光学常数模型 54 <CL0@?*i9 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]Au78Yom 4.11 撤销和重做 56 o/9(+AA> 4.12 设计文档 57 \oPW 4.10.1 公式 58 i=%wZHc; 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *-bR~ 4.10.3 沉积密度 59 $|!VP'VI 4.10.4 平行和楔形介质 60 \%9,<-~[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 "sz)~Q'W5 4.10.4 性能 61 5gg_c?Vh/ 4.10.5 保存设计和性能 64 b1>%%# 4.10.6 默认设计 64 0-EhDGa]r 4.11 图表 64 t#kR@t+6$\ 4.11.1 合并曲线图 67 t&u,Od 4.11.2 自适应绘制 68 !3K6ew>Sf 4.11.3 动态绘图 68 HoGrvt<:.P 4.11.4 3D绘图 69 /Cr0jWu
_ 4.12 导入和导出 73 ,,oiL 4.12.1 剪贴板 73 F#@Mf?#2
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 3|%Q{U 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 E9{Gaa/{ 4.13 背景 77 MP?9k )f 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 \;p5Pagx0- 4.15 生成Rugate 84 z6bTcs"7h 4.16 参考文献 91 `9eE139V=' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 wo84V!"A 5.1 Jobs 92 bF:vD&Sf 5.2 创建一个新Job(工作) 93 aYe,5dK> 5.3 输入材料 94 0X#tt`;
5.4 设计数据文件夹 95 YMnG-'^Z 5.5 默认设计 95 m.-l&@I2/< 6 细化和合成 97 =LuH:VM& 6.1 优化介绍 97 dc_^ 6.2 细化 (Refinement) 98 {<&I4V@+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 wQ[~7 ,o 6.4 目标和评价函数 101 Z=DAA+T` 6.4.1 目标输入 102 0R<@* 6.4.2 目标 103 i NzoDmE* 6.4.3 特殊的评价函数 104 oddS~lW 6.5 层锁定和连接 104 I(/W+o 6.6 细化技术 104 3> -/sii 6.6.1 单纯形 105 qHg\n)R"x! 6.6.1.1 单纯形参数 106 o`\l&jUNe 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 \?h + 6.6.2.1 Optimac参数 108 `DO`c>>K 6.6.3 模拟退火算法 109 E=GCq=Uw 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {FraM,w: 6.6.4 共轭梯度 111 Fs<kMT 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]q7\
6.6.5 拟牛顿法 112 <r.f ?chf 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &fq-U5zH 6.6.6 针合成 113 {
dw m>a 6.6.6.1 针合成参数 114 $zbm!._~DA 6.6.7 差分进化 114 g=Q#2/UQ< 6.6.8非局部细化 115 9*RfOdnNe 6.6.8.1非局部细化参数 115 eI8^T? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 }8GCOY 6.7.1 细化 116 |HI=ykfI 6.7.2 合成 117 Ps7( 4% 6.8 参考文献 117 j% !
7 导纳图及其他工具 118 pNr3u 7.1 简介 118 ^o,Hu# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )!hDF9O 7.2.1 四分之一波长规则 119 4vPQuk! 7.2.2 导纳图 120 dgE|*1/0 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )-#% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,d<wEB?\` 7.5 斜入射导纳图 141 .
[+ObF9= 7.6 对称周期 141 }k7@
X 7.7 参考文献 142 ~HI|t2C 8 典型的镀膜实例 143 {-J/
<a@ 8.1 单层抗反射薄膜 145 S%-L!V , 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 }3j/%oN.( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _;W}_p}q{ 8.4 W-膜层 148 /cexd_l|f 8.5 V-膜层 149 :)t1>y>3 8.6 V-膜层高折射基底 150 1[D~Eep 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 52/^>=t 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8fTuae$^ 8.9 四层抗反射薄膜 153 9
Bz~3 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 }E[S%W[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ,*?bET
$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8#2PJHl; 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 XUfj 0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =et=X_3- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 pY!@w0. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 P )_g t 8.17 1/4波长堆栈 162 zGj0'!!- 8.18 陷波滤波器 163 M/:kh,3 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 YMj
z,N 8.20 褶皱 165 [IF3,C 8.21 消偏振分光器1 169 fxXZ^#2wX 8.22 消偏振分光器2 171 }N:0%Gk[; 8.23 消偏振立体分光器 172 ,xuqQ;JX 8.24 消偏振截止滤光片 173 `Q<hL {AH 8.25 立体偏振分束器1 174 Jj*XnL* 8.26 立方偏振分束器2 177 r^n%PH< 8.27 相位延迟器 178 [mJcc 8.28 红外截止器 179 :R{Xd{? 8.29 21层长波带通滤波器 180 .d^8w97 8.30 49层长波带通滤波器 181 LtJ$ZE^GB 8.31 55层短波带通滤波器 182 A&~G 8.32 47 红外截止器 183 'D-eFJ5 8.33 宽带通滤波器 184 NjMbQM4 8.34 诱导透射滤波器 186 `]#D dJ_| 8.35 诱导透射滤波器2 188 epJVs0W 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 mNc( 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (\e,,C%; 8.35 增益平坦滤波器 193 _S{HVc 8.38 啁啾反射镜 1 196 ;<Oe\X 8.39 啁啾反射镜2 198 P7&a~N$T6W 8.40 啁啾反射镜3 199 ~4.Tq{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 d2'9C6t 8.42 增加铝反射率膜 201 D\
HmY_ 8.43 参考文献 202 BR8z%R 9 多层膜 204 =7e~L 3 K 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 j0>S)Q 9.2 内部透过率 204 %g^dB M# 9.3 内部透射率数据 205 _=3H!b = 9.4 实例 206 6vQAeuz<Fq 9.5 实例2 210 zC(DigN 9.6 圆锥和带宽计算 212 J~V`"uo 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 i{I'+%~R 10 光学薄膜的颜色 216 XG@_Lcv* 10.1 导言 216 yP :>vFd7 10.2 色彩 216 K%[Rv#>;q| 10.3 主波长和纯度 220 [a53H$`\5 10.4 色相和纯度 221 U O YM 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 B%6>2S=E 10.6 色差 226 o )GNV 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 oil s;*q 10.8 颜色渲染指数 234 X<Rh-1$8F 10.9 色差计算 235 k`62&"T 10.10 参考文献 236 Nj1vB;4Nx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 0\qbJ 11.1 短脉冲 238 -A(]",*J 11.2 群速度 239 8E H#IiP 11.3 群速度色散 241 8c3`IIzAS 11.4 啁啾(chirped) 245 R;.zS^LL 11.5 光学薄膜—相变 245 Vz1ro 11.6 群延迟和延迟色散 246 ]7^OTrZ N 11.7 色度色散 246 M}!7/8HUC 11.8 色散补偿 249 $2A%y14 11.9 空间光线偏移 256 _&FcHwRy 11.10 参考文献 258 "G)-:!H 12 公差与误差 260 Xt(w+ 12.1 蒙特卡罗模型 260 /(8Usu?g. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 '!]ry< 12.2.1 误差工具 267 |eAl!k 12.2.2 灵敏度工具 271 ;Z-xum{ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 U;Se'*5xv 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oZHsCQ % 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 0R\lm<& 12.3 参考文献 276 !lG5BOJM 13 Runsheet 与Simulator 277 3o9`Ko0 13.1 原理介绍 277 - U!:. 13.2 截止滤光片设计 277 w6+X{ 14 光学常数提取 289 Lfx&DK ! 14.1 介绍 289 X@:pys 8@ 14.2 电介质薄膜 289 iIA5ylf{E 14.3 n 和k 的提取工具 295 h`-aO u 14.4 基底的参数提取 302 U 3aY =8B 14.5 金属的参数提取 306 ),v[.9!}: 14.6 不正确的模型 306 0V`s 3,k 14.7 参考文献 311 j#$ R. 15 反演工程 313 Q9t BHz 15.1 随机性和系统性 313 zGHP{a1O7 15.2 常见的系统性问题 314 cx_FtD 15.3 单层膜 314 v~[=|_{ 15.4 多层膜 314 wqx@/--E( 15.5 含义 319 |G&<@8O 15.6 反演工程实例 319 cW4:eh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 S75wtz)e 15.6.2 反演工程提取折射率 327 fWhw I+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 -'QvUHL| 16.1 光学性质的热致偏移 329 \< <u 16.2 应力工具 335 v:
cO+dQ 16.3 均匀性误差 339 5, R\tJCK 16.3.1 圆锥工具 339 \-a^8{.^E 16.3.2 波前问题 341 "*CQ<@+ 16.4 参考文献 343 N%v}$58Z 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Q#Q]xJH 17.1 引言 345 =o^oMn 17.2 操作数 345 |&eZ[Sy(=l 18 如何在Function中编写脚本 351 jku_0Q0*? 18.1 简介 351 kE;h[No&K 18.2 什么是脚本? 351
;)s$Et% 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ,+-l1GpL 18.4 基础 352 #n2'N^t 18.4.1 Classes(类别) 352 ,#hS#?t 18.4.2 对象 352 3 GmU$w 18.4.3 信息(Messages) 352 6S)$wj*w 18.4.4 属性 352 ~B;kFdcVXn 18.4.5 方法 353 JV(qTb W 18.4.6 变量声明 353 J@PwN^` 18.5 创建对象 354 4|YCBXWh 18.5.1 创建对象函数 355 -CtLL_ I 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 :#s6, 18.5.3 丢弃对象 356 9\ZlRYnc= 18.5.4 总结 356 ^2%_AP0= 18.6 脚本中的表格 357 2a8ZU{wjn 18.6.1 方法1 357 .lAqD- 18.6.2 方法2 357 A;7p 18.7 2D Plots in Scripts 358 fgIzT!fyz 18.8 3D Plots in Scripts 359 <aR9,: 18.9 注释 360 Q ]]}8l2 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 S&_Z,mT./ 18.11 一个更高级的脚本 362 2eo]D?} 18.12 <esc>键 364 Vp{! Ft8> 18.13 包含文件 365 xS?[v&"2 18.14 脚本被优化调用 366 4scY8(1 18.15 脚本中的对话框 368 G8dC5+h 18.15.1 介绍 368 I4{uw ge 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Aq674 18.15.3 输入框函数 370 nI7G"f[%r; 18.15.4 自定义对话框 371 R#gt~]x6k 18.15.5 对话框编辑器 371 aNLRUdc. 18.15.6 控制对话框 377 ^0vK > 18.15.7 更高级的对话框 380 Xu\FcQ{ 18.16 Types语句 384 .RFijr 18.17 打开文件 385 qPqpRi 18.18 Bags 387 T9w;4XF 18.13 进一步研究 388 lVF}G[B 19 vStack 389 ]D_"tQ?i 19.1 vStack基本原理 389 2f>G 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ]S;^QZ 19.3 五棱镜 393 OXcQMVa
6 19.4 光束距离 396 LA &W@ 19.5 误差 399 "#,]`ME; 19.6 二向分色棱镜 399 S.&=>
19.7 偏振泄漏 404 x&}pM}ea 19.8 波前误差—相位 405 9RA~#S|(T 19.9 其它计算参数 405 C".nB12 20 报表生成器 406 [Q+8Ku 20.1 入门 406 0'8_:|5 20.2 指令(Instructions) 406 _RI`I}&9Z 20.3 页面布局指令 406 q)0?aL 20.4 常见的参数图和三维图 407 ?^I\e{),c 20.5 表格中的常见参数 408 r9nH6 Md\ 20.6 迭代指令 408 *nJy 20.7 报表模版 408 V&nTf 100 20.8 开始设计一个报表模版 409 z
H$^.1 21 一个新的project 413 (ndXz 21.1 创建一个新Job 414 "< |