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XL7||9,(h 内容简介 `mthzc3W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 L1#_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Te%V+l 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 a9u2Wlz @# =yC.s 讯技科技股份有限公司 Pcjrv:0$
:K~sazs7J 目录 |~o0-: 'C Preface 1 "l{{H&d 内容简介 2 7|xu)zYB 目录 i Y P,>vzW 1 引言 1 LJ6L#es2 2 光学薄膜基础 2 3a|pk4M 2.1 一般规则 2 ;t M 2.2 正交入射规则 3 #KNl<V+c}1 2.3 斜入射规则 6 p, T4BO 2.4 精确计算 7 OdpHF~(Y/ 2.5 相干性 8 Wecxx^vtv6 2.6 参考文献 10 W&k@p9 3 Essential Macleod的快速预览 10 R.?PD$;_M 4 Essential Macleod的特点 32 |/ji'Bh 4.1 容量和局限性 33 )HcLpoEi 4.2 程序在哪里? 33 u* G+=aV.6 4.3 数据文件 35 *aJO5&w<T 4.4 设计规则 35 \a4X},h\ 4.5 材料数据库和资料库 37 JZK93R 4.5.1材料损失 38 S['cX ~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 .C.b5x! 4.5.2 材料库 41 W~PMR/^i 4.5.3导出材料数据 43 z%1e>`\E 4.6 常用单位 43 h@z0 x4_]) 4.7 插值和外推法 46 q65]bs4M 4.8 材料数据的平滑 50 vN:!{)~z 4.9 更多光学常数模型 54 CG95ScrX 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~%2yDhdQ 4.11 撤销和重做 56 9)8Cf%<( 4.12 设计文档 57 !9{UBAh 4.10.1 公式 58 Z- t&AH 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 B&7NF}CF2 4.10.3 沉积密度 59 9|3sNFGX 4.10.4 平行和楔形介质 60 d"@ /{O^1 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {kBsiSvsA; 4.10.4 性能 61 4*L*"vKa 4.10.5 保存设计和性能 64 MsBm0r`a 4.10.6 默认设计 64 E[7E%^:Mg 4.11 图表 64 1szObhN-l 4.11.1 合并曲线图 67 `*elzW 4.11.2 自适应绘制 68 A*vuS Qt( 4.11.3 动态绘图 68 RO|8NC<oj 4.11.4 3D绘图 69 MN8>I=p 4.12 导入和导出 73 icX4n 4.12.1 剪贴板 73 \#xq$ygg 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 `GkCOx, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Faa>bc~E 4.13 背景 77 4U_+NC>b 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 V2|By,. 4.15 生成Rugate 84 C/QmtT~`e 4.16 参考文献 91 )[J@s= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 W/%hS)75 5.1 Jobs 92 mE5{)<N:C 5.2 创建一个新Job(工作) 93 tGgDS) 5.3 输入材料 94 fm@Pa} , 5.4 设计数据文件夹 95 a5R.
\a<q 5.5 默认设计 95 x=IZ0@p 6 细化和合成 97 tjwnFqI 6.1 优化介绍 97 L"/?[B": 6.2 细化 (Refinement) 98 U<Tv<7` 6.3 合成 (Synthesis) 100 O_7}H) 6.4 目标和评价函数 101 %)r:!R~R 6.4.1 目标输入 102 ;[UI]?A% 6.4.2 目标 103 XI ;] c5 6.4.3 特殊的评价函数 104 qHp2; 6.5 层锁定和连接 104 |(ab0b # 6.6 细化技术 104 4sntSlz)~k 6.6.1 单纯形 105 !'~L dl 6.6.1.1 单纯形参数 106 ap'La|9t> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 tk R~(h 6.6.2.1 Optimac参数 108 sT"ICooc 6.6.3 模拟退火算法 109 l^}u S|c( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Z$g'h1,zW 6.6.4 共轭梯度 111 ?d3FR! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1U#W=Fg' 6.6.5 拟牛顿法 112 ;y. ;U#O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 qD4s?j-9 6.6.6 针合成 113 yf0v,]v[ 6.6.6.1 针合成参数 114 YJMs9X~3 6.6.7 差分进化 114 R6BbkYWrX 6.6.8非局部细化 115 BO4;S/ O 6.6.8.1非局部细化参数 115 wM4{\ f\ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 C3Q #[ 6.7.1 细化 116 g-wE(L 6.7.2 合成 117
Z^2SG_pD 6.8 参考文献 117 Y,v9o 7 导纳图及其他工具 118 E"_{S.Wc 7.1 简介 118 OblHN* 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 oJ
%Nt&q 7.2.1 四分之一波长规则 119 9#9bm 7.2.2 导纳图 120 ?g{[U0) 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zN!yOlp5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 g*My1+J! 7.5 斜入射导纳图 141 >n3GvZ5% 7.6 对称周期 141 Iy49o! 7.7 参考文献 142 Y @'do) 8 典型的镀膜实例 143 oA[`|
ji 8.1 单层抗反射薄膜 145 yQUrHxm 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 s`H|o'0 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 n]Yz<# 8.4 W-膜层 148 3))CD,| 8.5 V-膜层 149 &_-=(rK 8.6 V-膜层高折射基底 150 p?>J86%[ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 fcEm:jEZ* 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 v~Dobk/n 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?_d>-NC 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 |(*btdqy3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Z(c
SM 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 rhQ+ylt8I 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 #*.4Jv<R 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 PvV\b<Pe+ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 <Tjhj* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _g/d/{-{Q 8.17 1/4波长堆栈 162 Bj2iYk_cLa 8.18 陷波滤波器 163 )cRHt: 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 r3U7`P 8.20 褶皱 165 W|@SXO)DY 8.21 消偏振分光器1 169 q6$6:L,< 8.22 消偏振分光器2 171 1}|y^oB\- 8.23 消偏振立体分光器 172 ]^.`}Y=`g 8.24 消偏振截止滤光片 173 ?>*d82yO 8.25 立体偏振分束器1 174 ]~dB|WB 8.26 立方偏振分束器2 177 75^*4[ 8.27 相位延迟器 178 fJ.=,9:< 8.28 红外截止器 179 >S`=~4 8.29 21层长波带通滤波器 180 #aC&!Rei{ 8.30 49层长波带通滤波器 181 "?6*W"N9 8.31 55层短波带通滤波器 182 fgtwVji 8.32 47 红外截止器 183 EH2): 8.33 宽带通滤波器 184 ag:<%\2c 8.34 诱导透射滤波器 186 ,B/TqPP 8.35 诱导透射滤波器2 188 B&X)bGx8
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 6Zw$F3 < 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ld(_+<e 8.35 增益平坦滤波器 193 [7`S`\_NK 8.38 啁啾反射镜 1 196 w/o8R3F 8.39 啁啾反射镜2 198 Th%w-19,8 8.40 啁啾反射镜3 199 &f 'Lll 8.41 带保护层的铝膜层 200 Om:Gun\% 8.42 增加铝反射率膜 201 -M]/Xv] 8.43 参考文献 202 #oEtLb@O 9 多层膜 204 LL3| U 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 v8E:64 9.2 内部透过率 204 mXJG &EA 9.3 内部透射率数据 205 gPKO-Fsd" 9.4 实例 206 rM~Mqpk 9.5 实例2 210 B\AyG4J 9.6 圆锥和带宽计算 212 u_ :gqvC= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;+f(1=x 10 光学薄膜的颜色 216 e'npa*.e 10.1 导言 216 <]S
M$)=D 10.2 色彩 216 o%]b\Vl6
10.3 主波长和纯度 220 &JLKHwi/ 10.4 色相和纯度 221 C&d,|e "\ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 T^|6{ S\ 10.6 色差 226 Q"pZPpl& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ri"=)] 10.8 颜色渲染指数 234 5 YIk 10.9 色差计算 235 ^JIs:\g<< 10.10 参考文献 236 YL;*%XmAG 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 P1TTaYu 11.1 短脉冲 238 A#~CZQY^$ 11.2 群速度 239 P6^\*xkMr 11.3 群速度色散 241 9~f
RYA* 11.4 啁啾(chirped) 245 V^G+_#@,, 11.5 光学薄膜—相变 245 2+(SR.oGq 11.6 群延迟和延迟色散 246 K)`l >o1 11.7 色度色散 246 "wV7PSbM 11.8 色散补偿 249 JKYl 11.9 空间光线偏移 256 0R+<^6^l) 11.10 参考文献 258
_3KfY 12 公差与误差 260 r)qow.+& 12.1 蒙特卡罗模型 260 m:;`mBOc3 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 g( eA? 12.2.1 误差工具 267 M|z4Dy 12.2.2 灵敏度工具 271 ^jo*e,y: 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Z79Y$d>G<E 12.2.2.2 灵敏度分布 275 A sf]sU.. 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Rwmr [g 12.3 参考文献 276 [DSzhi] 13 Runsheet 与Simulator 277 F JxH{N6a 13.1 原理介绍 277 hdH-VR4 13.2 截止滤光片设计 277 .YS48 c 14 光学常数提取 289 _32 o7}!x 14.1 介绍 289 L{6Vi&I84[ 14.2 电介质薄膜 289 >Cr'dKZ} 14.3 n 和k 的提取工具 295 9qJ:h-?M 14.4 基底的参数提取 302 gAGcbepX 14.5 金属的参数提取 306 pvqbk2BO 14.6 不正确的模型 306 eNt1P`2[ 14.7 参考文献 311 DoJ3zYEk 15 反演工程 313 RjR 15.1 随机性和系统性 313 }cy<$=c#E_ 15.2 常见的系统性问题 314 -v WXL 15.3 单层膜 314 & |