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YKmsQ(q`N 内容简介 Ian[LbCWB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 jHXwOJq
% 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 v3d&*I 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 xL|;VyD Q\ /uKQ 讯技科技股份有限公司 /S5|wNu
@fv}G>t 目录 j>Iaq" Preface 1 hpTDxh'?$C 内容简介 2 40E#JF# 目录 i K~=UUB 1 引言 1 !`1'2BC 2 光学薄膜基础 2 3pf[M{dG 2.1 一般规则 2 o8e?J\? 2.2 正交入射规则 3 qd3Q}Lk 2.3 斜入射规则 6 Twn4lG4~ 2.4 精确计算 7 =K'cM=WM6 2.5 相干性 8 8
C [/dH 2.6 参考文献 10 BH]Yn u&o 3 Essential Macleod的快速预览 10 ^7zu<lX 4 Essential Macleod的特点 32 z#BR5jF 4.1 容量和局限性 33 s,#>m*Rh 4.2 程序在哪里? 33 |@NiW\O 4.3 数据文件 35 kmzH'wktt 4.4 设计规则 35 sf&]u;^DY 4.5 材料数据库和资料库 37 Zo1,1O 4.5.1材料损失 38 Ookh<ES> 4.5.1材料数据库和导入材料 39 8-<:i 4.5.2 材料库 41 =X.LA%Sf=u 4.5.3导出材料数据 43 uqz]J$ 4.6 常用单位 43 ^B8b%'\ 4.7 插值和外推法 46 c'/l,k 4.8 材料数据的平滑 50 `al<(FwGE 4.9 更多光学常数模型 54 )95f*wte 4.10 文档的一般编辑规则 55 Y0eE-5F, 4.11 撤销和重做 56 V#VN%{ 4.12 设计文档 57 Xpzfm7CB/ 4.10.1 公式 58 ca+5=+X7 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;M"9$M' 4.10.3 沉积密度 59 y;/VB,4V 4.10.4 平行和楔形介质 60 w]N!S;<N 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 H":oNpfb 4.10.4 性能 61 4apL4E"r 4.10.5 保存设计和性能 64 ;b-XWK= 4.10.6 默认设计 64 J:V?EE,\- 4.11 图表 64 cnTaJ/o 4.11.1 合并曲线图 67 oudxm[/U 4.11.2 自适应绘制 68 )GHq/:1W 4.11.3 动态绘图 68 M4as 4.11.4 3D绘图 69 w@,zFV 4.12 导入和导出 73 E>l~-PaZY 4.12.1 剪贴板 73 98^V4maR: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 13taFVdU 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 v:H$<~)E| 4.13 背景 77 wI(M^8F_Mf 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 t.mVO]dsj 4.15 生成Rugate 84 T=ev[ mS 4.16 参考文献 91 6j
~#[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 UX7t`l2R 5.1 Jobs 92 c/sC&i;%O 5.2 创建一个新Job(工作) 93 !qG7V:6 5.3 输入材料 94 Y]&j,j& 5.4 设计数据文件夹 95 HTG%t/S 5.5 默认设计 95 FSND>\> 6 细化和合成 97 KCs[/] 6.1 优化介绍 97 B_.%i+ZZ 6.2 细化 (Refinement) 98 ;+ "+3 6.3 合成 (Synthesis) 100 % >=!p 6.4 目标和评价函数 101 ]q4rlT.i 6.4.1 目标输入 102 A0Qb 5e 6.4.2 目标 103 \-g)T}g,I 6.4.3 特殊的评价函数 104 V:joFRH9 6.5 层锁定和连接 104 3W
N@J6? 6.6 细化技术 104 7Op>i,HZk\ 6.6.1 单纯形 105 ui? 6.6.1.1 单纯形参数 106 5 sX+~Q 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0)gdB'9V_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 'dn]rV0(C 6.6.3 模拟退火算法 109 Hl,W=2N 6.6.3.1 模拟退火参数 109 m;,N)<~ 6.6.4 共轭梯度 111 1jcouD5?H 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 FYpzQ6s~ 6.6.5 拟牛顿法 112 :=Nz}mUV 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ')cMiX\v 6.6.6 针合成 113 ZP(f3X@ 6.6.6.1 针合成参数 114 J\b^) 6.6.7 差分进化 114 yK=cZw%D 6.6.8非局部细化 115 c24dSNJg, 6.6.8.1非局部细化参数 115 $&n=$C&x 6.7 我应该使用哪种技术? 116 r 8RoE`/T 6.7.1 细化 116 DW[N|-L 6.7.2 合成 117 #"G]ke1l$ 6.8 参考文献 117 Bx<
<~[Ws} 7 导纳图及其他工具 118 .:F%_dS D 7.1 简介 118 #AJM6* G9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 t7aefV&_, 7.2.1 四分之一波长规则 119 tVN 7.2.2 导纳图 120 ) AvN\sC 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 s*. hl.k. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8)_XJ"9)G 7.5 斜入射导纳图 141 1n;0?MIZ 7.6 对称周期 141 J| w>a 7.7 参考文献 142 Tw-;7Ae 8 典型的镀膜实例 143 GBPo8L"9 8.1 单层抗反射薄膜 145 |Y,b?*UF 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 .(cw>7e3D 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Fww :$^_ k 8.4 W-膜层 148 b0Ps5G\ u 8.5 V-膜层 149 e w$B)W 8.6 V-膜层高折射基底 150 uxr #QA 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 5Odhb 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 V2wb%;q 8.9 四层抗反射薄膜 153 u 7>],< 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ig/xv 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 m;GCc8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 zHM(!\8K 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 #Lh;CSS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 8}O lL,fP 8.15十五层宽带抗反射膜 159 +nFu|qM} 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 nksLWfpG?B 8.17 1/4波长堆栈 162 v dc\R? 8.18 陷波滤波器 163 hcsP2
0s 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 rlOAo`hd 8.20 褶皱 165 B|C2lu 8.21 消偏振分光器1 169 _@
qjV~%Sy 8.22 消偏振分光器2 171 ~:s>aQ`! 8.23 消偏振立体分光器 172 52Z2]T
c, 8.24 消偏振截止滤光片 173 w;4<h8Wn5 8.25 立体偏振分束器1 174 <L8'! q} 8.26 立方偏振分束器2 177 *k.G5>@ 8.27 相位延迟器 178 ;n*.W|Uph 8.28 红外截止器 179 S%Uutj\/W 8.29 21层长波带通滤波器 180 aC8} d 8.30 49层长波带通滤波器 181 -=)H{ 8.31 55层短波带通滤波器 182 f<d`B]$( 8.32 47 红外截止器 183 2DrP"iGq5 8.33 宽带通滤波器 184 p>v$FiV2N 8.34 诱导透射滤波器 186 "o-zy'I 8.35 诱导透射滤波器2 188 ?]_$Dcmx 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 f@wquG' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 B"1c 8.35 增益平坦滤波器 193 [}E='m}u9+ 8.38 啁啾反射镜 1 196 6H.0vN& 8.39 啁啾反射镜2 198 m$>H u@Va 8.40 啁啾反射镜3 199 P~ >OS5^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 3Ei#q+7 8.42 增加铝反射率膜 201 7rc0yB
8.43 参考文献 202 o,\$ZxSlm 9 多层膜 204 un mJbY;t 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Qb-M6ihcc 9.2 内部透过率 204 Hw}Xbp[y 9.3 内部透射率数据 205 ;PF<y9M 9.4 实例 206 NX*Q F+ 9.5 实例2 210 +SR+gE\s0 9.6 圆锥和带宽计算 212 MzdV2. 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 6_GhO@lOG 10 光学薄膜的颜色 216 >
PRFWO 10.1 导言 216 /=nJRC3. 10.2 色彩 216 2j[=\K] 10.3 主波长和纯度 220 -:+|zF@f 10.4 色相和纯度 221 @e.C"@G 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 fgp]x&5Q 10.6 色差 226 l` lk-nb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 RB7tmJc 10.8 颜色渲染指数 234 cKca;SNql1 10.9 色差计算 235 U`(ee*}o 10.10 参考文献 236 i
&nSh ]KK 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 f643#1 11.1 短脉冲 238 y&$A+peJ1 11.2 群速度 239 _}Ac n$ 11.3 群速度色散 241 mp1@|*Sn 11.4 啁啾(chirped) 245 ,wb:dj- 11.5 光学薄膜—相变 245 EH J.T~X 11.6 群延迟和延迟色散 246 l
^0@86 11.7 色度色散 246 O3,jg|, 11.8 色散补偿 249 U)o-8OEZ9 11.9 空间光线偏移 256 hn
GZ= 11.10 参考文献 258 JX;<F~{. 12 公差与误差 260 T4Uev*A 12.1 蒙特卡罗模型 260 lgL%u K) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 AofKw 12.2.1 误差工具 267 IVY]Ek EG~ 12.2.2 灵敏度工具 271 Qz1E 2yJ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 q
'yva 12.2.2.2 灵敏度分布 275 WaRw05r 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Vx u0F]% 12.3 参考文献 276 6Pl<'3& 13 Runsheet 与Simulator 277 B6DYZ+7A 13.1 原理介绍 277 W:2( .? 13.2 截止滤光片设计 277 6@5+m
0`u3 14 光学常数提取 289 `Y$4 H,8L 14.1 介绍 289 *Hn8)x}E 14.2 电介质薄膜 289 L,/%f<wd 14.3 n 和k 的提取工具 295 z43M]P< 14.4 基底的参数提取 302 eu-*?]&Di 14.5 金属的参数提取 306 ?dg[:1R} 14.6 不正确的模型 306 k1~&x$G 14.7 参考文献 311 'rkdZ=x{ 15 反演工程 313 CY5Z{qiX 15.1 随机性和系统性 313 =&]g "a' 15.2 常见的系统性问题 314 IM'r8V 15.3 单层膜 314 0v?"tOT! 15.4 多层膜 314 6<QQ@5_ 15.5 含义 319 x|Bf-kc[#Q 15.6 反演工程实例 319 QA`sx 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 -GrE}L 15.6.2 反演工程提取折射率 327 j</: WRA`] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {%H'z$|{ 16.1 光学性质的热致偏移 329 |0b`fOS 16.2 应力工具 335 kbQ>a5`,x 16.3 均匀性误差 339 A?P_DA 16.3.1 圆锥工具 339 cF}".4|kZ< 16.3.2 波前问题 341 uo8YP<q 16.4 参考文献 343 KkbD W3- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 X.{S*E:$u 17.1 引言 345 \ Gvm9M 17.2 操作数 345 7`'Tb p 18 如何在Function中编写脚本 351 |/{=ww8| 18.1 简介 351 oD.Cs' 18.2 什么是脚本? 351 {4Cmu;u 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 :DNY7TvZ 18.4 基础 352 *.t7G 18.4.1 Classes(类别) 352 u&7[n_ 18.4.2 对象 352 q>+k@>bk@ 18.4.3 信息(Messages) 352 m-#2n?
z- 18.4.4 属性 352 sDlO# 18.4.5 方法 353 Kw ]= 18.4.6 变量声明 353 sUQ@7sTj 18.5 创建对象 354 bWU'cw 18.5.1 创建对象函数 355 YN F k 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !pX>!&sb 18.5.3 丢弃对象 356 on`3&0,. 18.5.4 总结 356 NZ0;5xGR 18.6 脚本中的表格 357 0aB;p7~& 18.6.1 方法1 357 eD6fpe\( 18.6.2 方法2 357 ] (8[}CeL 18.7 2D Plots in Scripts 358 z<?)Rq" 18.8 3D Plots in Scripts 359 )Ql%r?(F+ 18.9 注释 360 %>{0yEC 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 /h3RmUy 18.11 一个更高级的脚本 362 p<"m[Dt] 18.12 <esc>键 364 &V/MmmT
18.13 包含文件 365 1mG-} 18.14 脚本被优化调用 366 -uf|w? 18.15 脚本中的对话框 368 2\{zmc}G-0 18.15.1 介绍 368 s2'h 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }o`76rDN 18.15.3 输入框函数 370 37o;; 18.15.4 自定义对话框 371 AoxA+.O 18.15.5 对话框编辑器 371 3a'<*v<xw 18.15.6 控制对话框 377 VMWf>ZU 18.15.7 更高级的对话框 380
|CRn c: 18.16 Types语句 384 S<Xf>-8w 18.17 打开文件 385 &D*b|ilvc 18.18 Bags 387 X'iWJ8 18.13 进一步研究 388 /7YIn3 19 vStack 389 KbeC"mi 19.1 vStack基本原理 389 W'M*nR|xo 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 /%^#8<=|U 19.3 五棱镜 393 'D1xh~ 19.4 光束距离 396 5=ryDrx 19.5 误差 399 jse&DQ 19.6 二向分色棱镜 399 eJ-nKkg~a 19.7 偏振泄漏 404 `;egv*!P 19.8 波前误差—相位 405 Cw&KVw* 19.9 其它计算参数 405 pEA:L$& 20 报表生成器 406 )Pv%#P-< 20.1 入门 406 IH+|}z4N?> 20.2 指令(Instructions) 406 w``U=sfmV 20.3 页面布局指令 406 ]D\D~!R 20.4 常见的参数图和三维图 407 Zj'9rXhrM1 20.5 表格中的常见参数 408 *s3/!K 20.6 迭代指令 408 u>vL/nI 20.7 报表模版 408 o }m3y 20.8 开始设计一个报表模版 409 l.M0`Cn-% 21 一个新的project 413 4o5t#qP5$S 21.1 创建一个新Job 414 CU!Dhm/U 21.2 默认设计 415
El8,,E 21.3 薄膜设计 416 1?l1:}^L 21.4 误差的灵敏度计算 420 3ckclO\|> 21.5 显色指数计算 422 KMax$ 21.6 电场分布 424 \s\?l(ooq" 后记 426 P]C<U aW'! 有兴趣可以扫码加微联系 UJ2U1H54h
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