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:5DL&,,Q3 内容简介 ;NJx9)7< Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 iS@+qWo1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 m.g2>r`NU 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Gdu5
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N# 讯技科技股份有限公司 L8WYxJ
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|~d8j'rt 目录 F39H@%R Preface 1 lB<
kf1[ 内容简介 2 [~v1
目录 i 5 >c,#* 1 引言 1 8TH fFL 2 光学薄膜基础 2 6M^NZ0~J 2.1 一般规则 2 wnr<# =,I' 2.2 正交入射规则 3 0Uf.aP 2.3 斜入射规则 6 hziPHuK9, 2.4 精确计算 7 $eU oFa5A 2.5 相干性 8 O}Mu_edM 2.6 参考文献 10 ,CED% 3 Essential Macleod的快速预览 10 =Y]'wb 4 Essential Macleod的特点 32 ;RUod .x 4.1 容量和局限性 33 d [f,Nu' 4.2 程序在哪里? 33 /YrBnccqD 4.3 数据文件 35 9,J^tN@^ 4.4 设计规则 35 ui .riD[,O 4.5 材料数据库和资料库 37 ?"Ec#,~ 4.5.1材料损失 38 vP @\" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 b uOpHQn 4.5.2 材料库 41 !V O^oD7 4.5.3导出材料数据 43 ~bnyk%S
o 4.6 常用单位 43 Gzw9E.Hk 4.7 插值和外推法 46 `iZ){JfAH 4.8 材料数据的平滑 50 ?qt .+2: 4.9 更多光学常数模型 54 pW,)yo4 4.10 文档的一般编辑规则 55 LLD#)Jl{? 4.11 撤销和重做 56 F~Sw-b kSf 4.12 设计文档 57 sBq6,Iu 4.10.1 公式 58 m#Dae\w& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 'i;/?'!W6 4.10.3 沉积密度 59 W&Xm_T[Q 4.10.4 平行和楔形介质 60 $GJuS^@% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 duq(K9S 4.10.4 性能 61 N% !TFQf 4.10.5 保存设计和性能 64 ;_iDiLC; 4.10.6 默认设计 64 {Lg]chJq? 4.11 图表 64 M$$Lsb [ 4.11.1 合并曲线图 67 N?j#=b+D 4.11.2 自适应绘制 68 B }t529Z 4.11.3 动态绘图 68 5i1E
5@~ 4.11.4 3D绘图 69 Q^ }Ib[ 4.12 导入和导出 73 AO~f=GW 4.12.1 剪贴板 73 kesuM3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 76eF6N+%}t 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^hRx{A 4.13 背景 77 %/}46z9\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 E5QQI9ea 4.15 生成Rugate 84 vT{+Z\LL= 4.16 参考文献 91 A81'ca/ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (8td0zq
5.1 Jobs 92 +[B@83 5.2 创建一个新Job(工作) 93 +cwuj 5.3 输入材料 94 BIY"{"hJ 5.4 设计数据文件夹 95 &[W53Lqa 5.5 默认设计 95 G/N 1[) 6 细化和合成 97 /*1p|c ^ 6.1 优化介绍 97 &B?*|M`)k 6.2 细化 (Refinement) 98 5#U=x ,7e 6.3 合成 (Synthesis) 100 9,cMb)=0 6.4 目标和评价函数 101 qtlcY8! 6.4.1 目标输入 102 n`.JI(| 6.4.2 目标 103 _~.S~;o!b 6.4.3 特殊的评价函数 104 3Q!)bMv \ 6.5 层锁定和连接 104 Id^)WEK4 6.6 细化技术 104 V {C{y5 6.6.1 单纯形 105 `
#; " 6.6.1.1 单纯形参数 106
IBYSI0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 r) g:-[Ox9 6.6.2.1 Optimac参数 108 -LU%z' 6.6.3 模拟退火算法 109 ' '<3;
6.6.3.1 模拟退火参数 109 `qm$2 6.6.4 共轭梯度 111 Y6RbRcJw 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [79iC$8B| 6.6.5 拟牛顿法 112 ,B1~6y\b 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &cZl2ynPi 6.6.6 针合成 113 T!X`"rI 6.6.6.1 针合成参数 114 2?nEHIUT 6.6.7 差分进化 114 })umg8s 6.6.8非局部细化 115 S0w:R:q}L 6.6.8.1非局部细化参数 115 h'.B-y~c 6.7 我应该使用哪种技术? 116 iI Dun Ih 6.7.1 细化 116 ")Qhg-l 6.7.2 合成 117 8k )i-&R 6.8 参考文献 117 j1O_Az|3 7 导纳图及其他工具 118 x4XCR,- 7.1 简介 118 #CRd@k? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^4Tf6Fw# 7.2.1 四分之一波长规则 119 F$@(0c 7.2.2 导纳图 120 ;T :]?5W! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M
\UB
r4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 0y`r.)G 7.5 斜入射导纳图 141 R1~wzy 7.6 对称周期 141 B &e'n< 7.7 参考文献 142 3QDz9KwCAw 8 典型的镀膜实例 143 Ya;y@44 8.1 单层抗反射薄膜 145 Z '~Ie~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 )Wy:I_F351 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 rGlnu.mK^ 8.4 W-膜层 148 W
H%EC$ 8.5 V-膜层 149 s)G?5Gz 8.6 V-膜层高折射基底 150 a=
(v S 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +-NH
4vUg 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 uxlrJ1~M 8.9 四层抗反射薄膜 153 ldt]=Sqy 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <UwYI_OX 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 dWP<,Z> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 SBg|V 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }H:wgy` 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ) uTFId 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Y=D\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 hv *XuT/ 8.17 1/4波长堆栈 162 d:{}0hmxI 8.18 陷波滤波器 163 `_SV1|=="8 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 :!wl/X
~ 8.20 褶皱 165 Ey)ey-'\ 8.21 消偏振分光器1 169 ~\+Bb8+hpJ 8.22 消偏振分光器2 171 3F32 /_` 8.23 消偏振立体分光器 172 :,V&P_ 8.24 消偏振截止滤光片 173 6w~Cyu4Ov 8.25 立体偏振分束器1 174 uC%mGZa 8.26 立方偏振分束器2 177 ART0o7B 8.27 相位延迟器 178 ~l}\K10L* 8.28 红外截止器 179 W'6sY@0m 8.29 21层长波带通滤波器 180 L*cP8v4 8.30 49层长波带通滤波器 181 o,RiAtdk 8.31 55层短波带通滤波器 182 P=.~LZZ]89 8.32 47 红外截止器 183 FuC\qF
8.33 宽带通滤波器 184 7^<6|>j4 8.34 诱导透射滤波器 186 e~geBlLar 8.35 诱导透射滤波器2 188 9Dp0Pi?29 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7^C&2k5G 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Dt\rrN:v 8.35 增益平坦滤波器 193 EiVVVmm! 8.38 啁啾反射镜 1 196 intl?&wC 8.39 啁啾反射镜2 198 *U-:2uf 8.40 啁啾反射镜3 199
Vfw H: 8.41 带保护层的铝膜层 200 D!z'Y,. 8.42 增加铝反射率膜 201 0\V)DV.i 8.43 参考文献 202 DFvGc`O4 9 多层膜 204 dDa&:L 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 t N4-<6 9.2 内部透过率 204 5_1\{lP 9.3 内部透射率数据 205 u4$R ZTC 9.4 实例 206 /D964VR1M\ 9.5 实例2 210 I&`aGnr^^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 4s@Tn>%SP 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 0rvBjlFT 10 光学薄膜的颜色 216 v3{%U1>}v 10.1 导言 216 N`~f77G 10.2 色彩 216 [^D>xD3B2 10.3 主波长和纯度 220 Bg}l$?S 10.4 色相和纯度 221 33&l.[A"!} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 +X`&VO6~ 10.6 色差 226 Ze <)B
* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >!Xj%RW 10.8 颜色渲染指数 234 o]]sm}3N 10.9 色差计算 235 *Q#oV}D_ 10.10 参考文献 236 jib pZ) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 DP;:%L} 11.1 短脉冲 238 f8ZuG !U 11.2 群速度 239 a l9(
9) 11.3 群速度色散 241 \(--$9 11.4 啁啾(chirped) 245 `"hWbmQ 11.5 光学薄膜—相变 245 R x( yn 11.6 群延迟和延迟色散 246 !a25cm5ys 11.7 色度色散 246 {+GR/l\!# 11.8 色散补偿 249 yL),G*[p\} 11.9 空间光线偏移 256 |6;-P&_n 11.10 参考文献 258 o1"N{Eu 12 公差与误差 260 .FV^hrJxI; 12.1 蒙特卡罗模型 260 zl|
XZ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 pjl>ZoOM 12.2.1 误差工具 267 )FPn_p#3] 12.2.2 灵敏度工具 271 [4aw*M1z}. 12.2.2.1 独立灵敏度 271 __zHe-.m 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9Ofls9]U 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 kKjcW` [ 12.3 参考文献 276 UWhJkJsX 13 Runsheet 与Simulator 277 i=1crJ: 13.1 原理介绍 277 M2c7| 13.2 截止滤光片设计 277 &=kb>* 14 光学常数提取 289 aGfp"NtL 14.1 介绍 289 <EcxNj1 14.2 电介质薄膜 289 e ;^}@X
14.3 n 和k 的提取工具 295 ,7k-LAA 14.4 基底的参数提取 302 hg#O_4D 14.5 金属的参数提取 306 >#'?}@FWQN 14.6 不正确的模型 306 ~<~
~C#R 14.7 参考文献 311 hgzNEx%^q 15 反演工程 313 Dv
L8}dz 15.1 随机性和系统性 313 n>7aZ1Qa 15.2 常见的系统性问题 314 UO#`Ak 15.3 单层膜 314 gFrNk
Uqp 15.4 多层膜 314 >]&Ow9- 15.5 含义 319 bC~I}^i\ 15.6 反演工程实例 319 t%J1(H 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Lis>Qr 15.6.2 反演工程提取折射率 327 bo(w$&
VW 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 TIt\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 0 q1x+ 16.2 应力工具 335 T,jb%uPcE 16.3 均匀性误差 339 0FY-e~xr 16.3.1 圆锥工具 339 17,mqXX> 16.3.2 波前问题 341 3Zl:rYD? 16.4 参考文献 343 hvQXYo>TZx 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 XogCq?_m 17.1 引言 345 jwBJG7\ 17.2 操作数 345 E/*&'Osq 18 如何在Function中编写脚本 351 &xhwOgI |