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Y4( 内容简介 i 3SHg\~Z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 sT' 5%4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 YnP5i#" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 2Wb]4- x$%!U[!3 讯技科技股份有限公司 k;L6R!V
:a)u&g@G 目录 !?gKqx'T$ Preface 1 1'\/,Es 内容简介 2 8&aq/4:q0 目录 i Tu 7QCr5* 1 引言 1 m9Hit8f@Q 2 光学薄膜基础 2 IN G@B#Cl 2.1 一般规则 2 N8FF3}>
g 2.2 正交入射规则 3 D5HZ2cz|a 2.3 斜入射规则 6 I.k
*GW 2.4 精确计算 7 K6)j0]K1 2.5 相干性 8 >oe]$r 2.6 参考文献 10 d<N:[Y\4l 3 Essential Macleod的快速预览 10
(ICd} 4 Essential Macleod的特点 32 Vy,DN~ag 4.1 容量和局限性 33 d;}nh2* 4.2 程序在哪里? 33 6f*CvW 4.3 数据文件 35 FG*r'tC~r 4.4 设计规则 35 qm o9G 4.5 材料数据库和资料库 37 5N&?KA- 4.5.1材料损失 38 Tyf`j,= 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :zF,A,) 4.5.2 材料库 41 v-_e)m^ 4.5.3导出材料数据 43 )/?$3h; 4.6 常用单位 43 [mGLcg6Fw 4.7 插值和外推法 46 5, 6"&vU, 4.8 材料数据的平滑 50 ~1vDV>dpE 4.9 更多光学常数模型 54 ?oHpFlj 4.10 文档的一般编辑规则 55 <3C*Z"aQ>| 4.11 撤销和重做 56 ?'{SX9 4.12 设计文档 57 -:y,N
9^ 4.10.1 公式 58 (rm?jDm 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Hn+~5@. 4.10.3 沉积密度 59 Y^EcQzLw 4.10.4 平行和楔形介质 60 #KexvP&* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
k5.Lna 4.10.4 性能 61 ;P%1j| 7 4.10.5 保存设计和性能 64 f5VLw`m}.8 4.10.6 默认设计 64 *]/zc1Q4M 4.11 图表 64 !_'ur>iR 4.11.1 合并曲线图 67 nwRc%C``UK 4.11.2 自适应绘制 68 JNXq.;:`Q 4.11.3 动态绘图 68 )g#T9tx2D 4.11.4 3D绘图 69 My[pr_xg 4.12 导入和导出 73 P'[3Fqe 4.12.1 剪贴板 73 ?:I* 8Fj 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !1H# 6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Eq9x2 4.13 背景 77 jc[Y}gd, 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9oR@UW1 4.15 生成Rugate 84 >T3- 4.16 参考文献 91 q" sed] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 FX`>J6l:X 5.1 Jobs 92 &zeyE;/Hj 5.2 创建一个新Job(工作) 93
?2{Gn-{ 5.3 输入材料 94 d#rf5<i 5.4 设计数据文件夹 95 suiS&$-E 5.5 默认设计 95 QIvVcfM^ 6 细化和合成 97 ~{B7 k: 6.1 优化介绍 97 >xYpNtEs 6.2 细化 (Refinement) 98 ?;+1)> { 6.3 合成 (Synthesis) 100 {9;CNsd 6.4 目标和评价函数 101 -)]Yr #Q 6.4.1 目标输入 102 OXSmt
DvJ 6.4.2 目标 103 #9}D4i.`} 6.4.3 特殊的评价函数 104 xH(lm2kvT 6.5 层锁定和连接 104 O%zU-_|* 6.6 细化技术 104 ,+vy,<e& 6.6.1 单纯形 105 )c83/= <v 6.6.1.1 单纯形参数 106 $i}y 8nlQ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ZQoU3AD; 6.6.2.1 Optimac参数 108 EZy)A$| 6.6.3 模拟退火算法 109 N~d ?WD\^ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ?U5{Wa85D 6.6.4 共轭梯度 111 '4Ixqb+ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 qL&[K>2z 6.6.5 拟牛顿法 112 F2dHH^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #ASz;$P 6.6.6 针合成 113 }QcCS2)Ud 6.6.6.1 针合成参数 114 C'+YQ]u 6.6.7 差分进化 114 " 4K(jXq| 6.6.8非局部细化 115 D>@I+4{p 6.6.8.1非局部细化参数 115 c74.< @w 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ,p@y]
cr 6.7.1 细化 116 |vwVghC 6.7.2 合成 117 t#/YN.@r 6.8 参考文献 117 _AYK435>N 7 导纳图及其他工具 118 *@r/5pM2} 7.1 简介 118 wj<6kG 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 gJXq^~-hd 7.2.1 四分之一波长规则 119 AGO+p(6d=g 7.2.2 导纳图 120 88gM?G _X 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 dulI&_x 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |y#
Jx 7.5 斜入射导纳图 141 5 +YH.4R 7.6 对称周期 141 nQtWvT 7.7 参考文献 142 ks qQM 8 典型的镀膜实例 143 [M}{G5U. 8.1 单层抗反射薄膜 145 ?.-wnz 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 B6As,)RjD: 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 UWJ8amA 8.4 W-膜层 148 =/+-<px 8.5 V-膜层 149 \0I_< 8.6 V-膜层高折射基底 150 Y>T-af49 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 f#"J]p 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 fS:&Ak
]; 8.9 四层抗反射薄膜 153 fLD,5SN 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 -1_)LO&H 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 kGS;sB 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 0c]/bs{} 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ,vawzq[oSy 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7\[@m3s 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |?xN\O^#} 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 TR`U-= jH, 8.17 1/4波长堆栈 162 `pS9_NYZ} 8.18 陷波滤波器 163 7wqK>Y1a 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 '<xXK@=KEI 8.20 褶皱 165 FFpT~. 8.21 消偏振分光器1 169 fk>aqm7D! 8.22 消偏振分光器2 171 7#a-u<HF" 8.23 消偏振立体分光器 172 ~?Pw& K2 8.24 消偏振截止滤光片 173 EU;9*W< 8.25 立体偏振分束器1 174 1{.|+S Z! 8.26 立方偏振分束器2 177 5yo%$i8I 8.27 相位延迟器 178 ]
vsz,
0 8.28 红外截止器 179 vWv" 8.29 21层长波带通滤波器 180 g2ixx+`?|: 8.30 49层长波带通滤波器 181 50wulGJud 8.31 55层短波带通滤波器 182 #L;dI@7C 8.32 47 红外截止器 183 gO- _ 8.33 宽带通滤波器 184 H@>` F 8.34 诱导透射滤波器 186 mdDOvm:& 8.35 诱导透射滤波器2 188 Rsk4L0 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 HM1Fz\Sf 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $( kF# 8.35 增益平坦滤波器 193 #q$HQ&k 8.38 啁啾反射镜 1 196 FVbb2Y?R 8.39 啁啾反射镜2 198 8/cX]J 8.40 啁啾反射镜3 199 ,R\ \ % 8.41 带保护层的铝膜层 200 b. '-?Nn 8.42 增加铝反射率膜 201 Iyn(?w 8.43 参考文献 202 k]|~>9eY] 9 多层膜 204 o5PO=AN 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L`TLgH&?R 9.2 内部透过率 204
Pmx-8w 9.3 内部透射率数据 205 J]'zIOQ 9.4 实例 206 R) h#Vc( 9.5 实例2 210 /36:ms A 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;JT-kw6l5K 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 khxnlry 10 光学薄膜的颜色 216
8dA~\a 10.1 导言 216 V f&zL
Sgr 10.2 色彩 216 s ll\g 10.3 主波长和纯度 220 ?l{nk5,?-Y 10.4 色相和纯度 221 ~ .g@hS8> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 6d}lw6L 10.6 色差 226 IEi^kJflU 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #trK^( 10.8 颜色渲染指数 234 FVKTbvYn 10.9 色差计算 235 bAqA1y3= 10.10 参考文献 236 r l% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Zu[su>\ 11.1 短脉冲 238 DyQy^G'%l 11.2 群速度 239 ouQ T 11.3 群速度色散 241 Ld~/u]K%V 11.4 啁啾(chirped) 245 (L&d!$,Dv 11.5 光学薄膜—相变 245 q|(HsLs 11.6 群延迟和延迟色散 246 H7n>Vx:L- 11.7 色度色散 246 #;yZ 11.8 色散补偿 249 1))8
A@, 11.9 空间光线偏移 256 gwMNYMI 11.10 参考文献 258 P=
NDS2 12 公差与误差 260 lL3U8}vn 12.1 蒙特卡罗模型 260 bY:x8fl 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 I\ob7X'Xu! 12.2.1 误差工具 267 A;M'LM- M 12.2.2 灵敏度工具 271 _Fl9>C"u 12.2.2.1 独立灵敏度 271 >kVz49j 12.2.2.2 灵敏度分布 275 #X1ND 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 DTL.Bsc-. 12.3 参考文献 276 h2R::/2. 13 Runsheet 与Simulator 277 Z FL~;_r 13.1 原理介绍 277 #*Ctwl,T 13.2 截止滤光片设计 277 ;.980+i1 14 光学常数提取 289 F JyT+ 14.1 介绍 289 57c8xk[.2 14.2 电介质薄膜 289 4tBYR9| 14.3 n 和k 的提取工具 295 B]tQ(s~ 14.4 基底的参数提取 302 ~]2K^bh8& 14.5 金属的参数提取 306 sXPe/fWo 14.6 不正确的模型 306 26h21Z16q 14.7 参考文献 311 hwv/AnX~O 15 反演工程 313 4V`G,W4^J 15.1 随机性和系统性 313 [4f{w%~^ 15.2 常见的系统性问题 314 b>ySv 15.3 单层膜 314 ` Sz}`+E 15.4 多层膜 314 '`Hr} 15.5 含义 319 VOLj>w 15.6 反演工程实例 319 NzvXN1_% 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zO6oT1I 15.6.2 反演工程提取折射率 327 P&Vv/D 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 <e6#lFQqK 16.1 光学性质的热致偏移 329 #H~64/ 16.2 应力工具 335 [4)F f 16.3 均匀性误差 339 WpvhTX 16.3.1 圆锥工具 339 M_DwUS1? 16.3.2 波前问题 341 +ZP7{% 16.4 参考文献 343 p`qgrI` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 kAUymds;O 17.1 引言 345 8quaXVj^a 17.2 操作数 345 S_H+WfIHV' 18 如何在Function中编写脚本 351 [nq@m c~< 18.1 简介 351 OjA,]Gv6 18.2 什么是脚本? 351 5b7RYV 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Ny/MJ#Lq 18.4 基础 352 z
F;K 18.4.1 Classes(类别) 352 iy.\=Cs$N 18.4.2 对象 352 (TM,V!G+U~ 18.4.3 信息(Messages) 352 @H8EWTZ 18.4.4 属性 352 I&5!=kR 18.4.5 方法 353 JucY[`|JV 18.4.6 变量声明 353 mt.))#1 18.5 创建对象 354 aN3;`~{9 18.5.1 创建对象函数 355 )4 ;`^]F 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $*m-R*kt 18.5.3 丢弃对象 356 wMN]~|z> 18.5.4 总结 356 1$ {SRU7l 18.6 脚本中的表格 357 Vxt+]5X 18.6.1 方法1 357 U6s[`H3I{ 18.6.2 方法2 357 "0TZTa1e 18.7 2D Plots in Scripts 358 (/]
J3 18.8 3D Plots in Scripts 359 \~ wMfP8 18.9 注释 360 W2!+z{:m 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 GC'O[q+ 18.11 一个更高级的脚本 362 F:DrX_O% 18.12 <esc>键 364 |y!A&d=xYn 18.13 包含文件 365 *VN6cSq 18.14 脚本被优化调用 366 q@2siI~W 18.15 脚本中的对话框 368 I%Z 18.15.1 介绍 368 ,hmL/K0"(5 18.15.2 消息框-MsgBox 368 c:.eGH_f 18.15.3 输入框函数 370 *Pg2c(Vg 18.15.4 自定义对话框 371 =2x^nW 18.15.5 对话框编辑器 371 oP.7/*p 18.15.6 控制对话框 377 1h5 Akq 18.15.7 更高级的对话框 380 ybUaTD@?}b 18.16 Types语句 384 u]@['7 18.17 打开文件 385 gQ.Sa
j
$ 18.18 Bags 387 akQ7K 18.13 进一步研究 388 >(RkZ}z 19 vStack 389 2J;g{95z 19.1 vStack基本原理 389 i!Ga5 v8n: 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 i}?>g -( 19.3 五棱镜 393 #.[k=dj 19.4 光束距离 396 >LuYHr 19.5 误差 399 9cm#56 19.6 二向分色棱镜 399 zx7{U8*`< 19.7 偏振泄漏 404 ml$o5&sN 19.8 波前误差—相位 405 T[A69O]v 19.9 其它计算参数 405 F6dP,( 20 报表生成器 406 [ikOb8 G# 20.1 入门 406 +nGAz{&@r% 20.2 指令(Instructions) 406 "zy7C*)>r 20.3 页面布局指令 406 {VoHh_[5% 20.4 常见的参数图和三维图 407 Du){rVY^d 20.5 表格中的常见参数 408 /u+e0BHo 20.6 迭代指令 408 1-QS~)+ 20.7 报表模版 408 nFs(?Rv* 20.8 开始设计一个报表模版 409 ;*&-C9b 21 一个新的project 413 WjqO@]P6 21.1 创建一个新Job 414 Q NVa?'0"Y 21.2 默认设计 415 Sa5G.^XI 21.3 薄膜设计 416 @\I#^X5lv 21.4 误差的灵敏度计算 420 t0?\l) 21.5 显色指数计算 422 5/z/>D; 21.6 电场分布 424 TuqH*{NNy9 后记 426 #R
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