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Z f4Xt
Yn 内容简介 O{y2tz3 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 w4<RV:Vmt 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 MS%xOB*6 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 EX7gTf# B<T wTv 讯技科技股份有限公司 fT!n*;h
osB[KRT>(" 目录 M\BLuD Preface 1 Nc()$Nl8 内容简介 2 ,9^wKS!7$ 目录 i I
$!Y 1 引言 1 9s5gi+l_O 2 光学薄膜基础 2 ]O3[Te 2.1 一般规则 2 j)?I]j/ 2.2 正交入射规则 3 V/j+Z1ZW 2.3 斜入射规则 6 1tHTjEG4^3 2.4 精确计算 7 7rw}q~CE5 2.5 相干性 8 6Daz1Pxd+ 2.6 参考文献 10 KGS=(z 3 Essential Macleod的快速预览 10 %,g6:Zc@ 4 Essential Macleod的特点 32 ?*zRM?* 4.1 容量和局限性 33 ZY-W~p1:G 4.2 程序在哪里? 33 i9[=x(-@ 4.3 数据文件 35 |_{-hNiz0 4.4 设计规则 35 d\WnuQR[ 4.5 材料数据库和资料库 37 xV @X%E 4.5.1材料损失 38 $/ew'h9q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +]*4!4MK6 4.5.2 材料库 41 6H\3 4.5.3导出材料数据 43 J~9l+? 4.6 常用单位 43 c~[L;_ 4.7 插值和外推法 46 Jb
Hn/$ 4.8 材料数据的平滑 50 P(8zJk6h), 4.9 更多光学常数模型 54 8q{
%n 4.10 文档的一般编辑规则 55 @x3x/gU 4.11 撤销和重做 56 'z0@|a 4.12 设计文档 57 y)X1!3~( 4.10.1 公式 58 xw(KSPN 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 X!V@jo9? 4.10.3 沉积密度 59 ]fg?)z-Z 4.10.4 平行和楔形介质 60 RR>Q$K 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 c&z@HEzV7 4.10.4 性能 61 %|bqL3)a_ 4.10.5 保存设计和性能 64 |f;u5r!^= 4.10.6 默认设计 64 7Rqjf6kX`O 4.11 图表 64 jXB<"bw 4.11.1 合并曲线图 67 d#cw`h<c~ 4.11.2 自适应绘制 68 Q"n|<!DN 4.11.3 动态绘图 68 D6@c& 4.11.4 3D绘图 69 NitWIj[U; 4.12 导入和导出 73 L l\y2oJ 4.12.1 剪贴板 73 G]X72R?g 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 7'\<\oT
4.12.3 不通过剪贴板导出 76 yyb8ll?@a 4.13 背景 77 _"%mLH=!8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 '+LC.l M 4.15 生成Rugate 84 m~mw1r 4.16 参考文献 91 JJ[.K*dO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 E8j>Toz 5.1 Jobs 92 e$}x;&c Q 5.2 创建一个新Job(工作) 93 //S/pCqED 5.3 输入材料 94
$x# 0m 5.4 设计数据文件夹 95 s ki'I 5.5 默认设计 95 -\xNuU 6 细化和合成 97 u+"3l@Y# 6.1 优化介绍 97 E
Mq P 6.2 细化 (Refinement) 98 E9JxntX 6.3 合成 (Synthesis) 100 *f{\ze@5= 6.4 目标和评价函数 101 bim}{wMb 6.4.1 目标输入 102 /@-!JF#g 6.4.2 目标 103 Q]wM WV 6.4.3 特殊的评价函数 104 qC]6g 6.5 层锁定和连接 104 'r3yFoP} 6.6 细化技术 104 xwoK#eC~F 6.6.1 单纯形 105 3.>M=K~09 6.6.1.1 单纯形参数 106 tjYqdbA) 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 =0!PnBGYn 6.6.2.1 Optimac参数 108 |#G.2hMFr 6.6.3 模拟退火算法 109 <=2\xJfxB 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Hy}oSy26 6.6.4 共轭梯度 111 DtLga[M 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =?hGa;/rb 6.6.5 拟牛顿法 112 If[4]-dq 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [xW;5j<87 6.6.6 针合成 113 NH+?7rf8 6.6.6.1 针合成参数 114 SbS*z: 6.6.7 差分进化 114 ehehTP 6.6.8非局部细化 115 [H ^ktF 6.6.8.1非局部细化参数 115 tP/0_^m 6.7 我应该使用哪种技术? 116 WrJgU&H{ 6.7.1 细化 116 ;w0|ev6| 6.7.2 合成 117 t&m8 V$Q 6.8 参考文献 117 IL*Ghq{/ 7 导纳图及其他工具 118 Itaq4 ^CE 7.1 简介 118 }t5-%&gBY0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !C ]5_ 7.2.1 四分之一波长规则 119 x~3N})T5 7.2.2 导纳图 120 `wIMu$i 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 oihn`DY{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 !V/Vy/'`* 7.5 斜入射导纳图 141 I_ O8 9Sgn 7.6 对称周期 141 D XFU~J* 7.7 参考文献 142 v0psth?qV 8 典型的镀膜实例 143 }XHB7, 8.1 单层抗反射薄膜 145 FO[x
c; 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 rLP:kP'b 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 vZhC_G+tGd 8.4 W-膜层 148 MPa F 8.5 V-膜层 149 vlW521 8.6 V-膜层高折射基底 150 8<0~j 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 1{%3OG^' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \.!+'2!m 8.9 四层抗反射薄膜 153 :'hc&wk` 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~1xfE C/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 gl.uDO%. 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 *GUQz 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 | R\PQ/) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 b3j?@31AD 8.15十五层宽带抗反射膜 159 wAt|'wP
: 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 .5?e)o) 8.17 1/4波长堆栈 162 jg)+]r/hS 8.18 陷波滤波器 163 (*6kYkUK 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 hD)'bd 8.20 褶皱 165 >]/RlW[ 8.21 消偏振分光器1 169 8/i];/,v*M 8.22 消偏振分光器2 171 ERka l7+ 8.23 消偏振立体分光器 172 kh7RQbNY<I 8.24 消偏振截止滤光片 173 kD}w5 U 8.25 立体偏振分束器1 174 -q&K9ZCl` 8.26 立方偏振分束器2 177 d1[;~) 8.27 相位延迟器 178 4fR}+[~2 8.28 红外截止器 179 {e35O(Y 8.29 21层长波带通滤波器 180 ?**9hu\BG 8.30 49层长波带通滤波器 181 ./7*<W: 8.31 55层短波带通滤波器 182 .<fn+] 8.32 47 红外截止器 183 :ebu8H9f% 8.33 宽带通滤波器 184 -e2f8PV?3 8.34 诱导透射滤波器 186 z*oeho 8.35 诱导透射滤波器2 188 6y0CEly>3# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ]?un'$%e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 RA_gj lJi 8.35 增益平坦滤波器 193 R(t1Ei.-? 8.38 啁啾反射镜 1 196 s!g06F 8.39 啁啾反射镜2 198 y"I8^CA 8.40 啁啾反射镜3 199 -f&m4J} E 8.41 带保护层的铝膜层 200 +hZ{/ 8.42 增加铝反射率膜 201 d~QZcR 8.43 参考文献 202 UM(`Oh8 9 多层膜 204 H6. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 c*!xdK 9.2 内部透过率 204 E[=#Rw!* 9.3 内部透射率数据 205 $wm.,Vb
9.4 实例 206 U,g)N[| 9.5 实例2 210 6,raRg6 9.6 圆锥和带宽计算 212 cVYPPal 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 y$,j'B:;4m 10 光学薄膜的颜色 216 }VU7wMk 10.1 导言 216 LlF|VR&P. 10.2 色彩 216 &=.SbS 10.3 主波长和纯度 220 F?c:
).g 10.4 色相和纯度 221 Tfytc$aQ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 c,,(s{1 10.6 色差 226 ZUd*[\F~! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 IW>\\&pJ 10.8 颜色渲染指数 234 uS|f|)U& 10.9 色差计算 235 =XhxD<kI 10.10 参考文献 236 S-7ryHH*0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Ly~s84k_po 11.1 短脉冲 238 3?x}48 11.2 群速度 239 zI&). 11.3 群速度色散 241 X[E!q$ag 11.4 啁啾(chirped) 245 ?y|8bw< 11.5 光学薄膜—相变 245 U|jip1\ 11.6 群延迟和延迟色散 246 Fo;. 11.7 色度色散 246 4yDWVd; 11.8 色散补偿 249 E]gy5y 11.9 空间光线偏移 256 s~b!3l`gu 11.10 参考文献 258 Cj10?BNV) 12 公差与误差 260 _08y; _S 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~&7 *<`7{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 !#TM%w 12.2.1 误差工具 267 Y![//tg 12.2.2 灵敏度工具 271 =rzhaU'A' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;/~%D( 12.2.2.2 灵敏度分布 275 btDPP k' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _h1:{hF 12.3 参考文献 276 FNHJHuTe 13 Runsheet 与Simulator 277 nK>D& S_! 13.1 原理介绍 277 "o>` Y 13.2 截止滤光片设计 277 &m~ 14 光学常数提取 289 ZK?:w^Z 14.1 介绍 289 KKGwMJku} 14.2 电介质薄膜 289 ]%<0V,G
q 14.3 n 和k 的提取工具 295 FX&)~) 14.4 基底的参数提取 302 *<l9d 14.5 金属的参数提取 306 hB1Gtc4n 14.6 不正确的模型 306 Vd+5an? 14.7 参考文献 311 'U{6LSaCb 15 反演工程 313 x67,3CLy? 15.1 随机性和系统性 313 pWN5 >HV 15.2 常见的系统性问题 314 VK/i5yT5N 15.3 单层膜 314 -z?O^:e#x 15.4 多层膜 314 /e50&]2w 15.5 含义 319 >vk?wY^f 15.6 反演工程实例 319 mP+rPDGp 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 tRzo}_+N 15.6.2 反演工程提取折射率 327 5imqZw 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Sp~gY]: 16.1 光学性质的热致偏移 329 a^MR"i>@G 16.2 应力工具 335 :}[[G2|9 16.3 均匀性误差 339 .ta*M{t 16.3.1 圆锥工具 339 .,( ,< 16.3.2 波前问题 341 //H3{^{ 16.4 参考文献 343 Nbm=;FHB` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [.*o<
KP 17.1 引言 345 +Heen3 17.2 操作数 345 h|
]BA}D 18 如何在Function中编写脚本 351 M$AQZ')9 18.1 简介 351 d+Bz
pS@p 18.2 什么是脚本? 351 *l\vqgv.Z 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 'P,F)*kh 18.4 基础 352 n+;PfQ| 18.4.1 Classes(类别) 352 jHWJpm( 18.4.2 对象 352 ,';+A{aV 18.4.3 信息(Messages) 352 ;WpPdR2 18.4.4 属性 352 ^><B5A>; 18.4.5 方法 353 n:5*Tg9 18.4.6 变量声明 353 "G m:M 18.5 创建对象 354 0CS80
pC 18.5.1 创建对象函数 355 C%+>uzVIw 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 k.CHMl] 18.5.3 丢弃对象 356 D:Y`{ { 18.5.4 总结 356 |
QI-gw 18.6 脚本中的表格 357 !B\[Q$ 18.6.1 方法1 357 )#n>))
18.6.2 方法2 357 dwt<s[k 18.7 2D Plots in Scripts 358 >5!/&D.q 18.8 3D Plots in Scripts 359 Cb/?hT 18.9 注释 360 m
K@a7fF? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 )gAFz+ 18.11 一个更高级的脚本 362 rO`nS<G 18.12 <esc>键 364 v^_<K4N` 18.13 包含文件 365 R(sa.Q\D4 18.14 脚本被优化调用 366 /+F|+1 18.15 脚本中的对话框 368 |uE_aFQs 18.15.1 介绍 368 f{[,!VG 18.15.2 消息框-MsgBox 368 %C8fv|@:f 18.15.3 输入框函数 370 D3emO'`gQ 18.15.4 自定义对话框 371 XT5Vo 18.15.5 对话框编辑器 371 {\HE'C/? 18.15.6 控制对话框 377 6}6ky9 18.15.7 更高级的对话框 380 ,`JXBI~ 18.16 Types语句 384 t(:6S$6{e 18.17 打开文件 385 fKY1=3 18.18 Bags 387 WPM<Qv L 18.13 进一步研究 388 !OJSQB, 19 vStack 389 K!9rH>`\ 19.1 vStack基本原理 389 Z0 e+CEzq 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 *X^__PS] 19.3 五棱镜 393 %KmB>9 19.4 光束距离 396 f-tV8 19.5 误差 399 sE8.,\ 19.6 二向分色棱镜 399 D{,B[5 19.7 偏振泄漏 404 Gr;~P* 19.8 波前误差—相位 405 '#.:%4 19.9 其它计算参数 405 AOaf ,ZF
8 20 报表生成器 406 nA]dQ+5sT 20.1 入门 406 /m;w~-N 20.2 指令(Instructions) 406 CFh&z^]PR 20.3 页面布局指令 406 (;T;?v`- 20.4 常见的参数图和三维图 407 ^IGTGY]s 20.5 表格中的常见参数 408 nWK"i\2#G 20.6 迭代指令 408 @$79$:q N 20.7 报表模版 408 I$`Vw > 20.8 开始设计一个报表模版 409 ytmlG% 21 一个新的project 413 >~$ S! 21.1 创建一个新Job 414 z~oGd, 21.2 默认设计 415 Iq\sf-1E 21.3 薄膜设计 416 uu>[WFh 21.4 误差的灵敏度计算 420 I#Tl 21.5 显色指数计算 422 k-
sbZL 21.6 电场分布 424 `4&\ %9 后记 426 cuR|cUK 有兴趣可以扫码加微联系 _pNUI{De
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