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    [求助]如何降低薄膜吸收？ [复制链接]

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    离线guji2015
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-16
    关键词： 膜层薄膜
    做的一个氧化铪单层的材料实验，开了离子源辅助，镀出来发现膜层吸收较大。请教一下各位大佬，为降低吸收，工艺该从那些方面调整？ I![/bwObG  
    xXI WEZA  
    $!!y v'K  
     
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    离线度魔银
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    只看该作者 1楼 发表于: 10-16
    1.温度是不是300度，离子源充氧过大也会吸收
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    离线度魔银
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    只看该作者 2楼 发表于: 10-16
    离子源清洗，不开源镀，基板加温300℃-350℃，恒温一小时镀膜，材料充氧10sccm,此参数仅供参考
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    离线度魔银
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 10-16
    补充一下，速率控制在2.0A/左右
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