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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-14
    摘要 ;@h'Mb  
    w>1l@%U o  
    ru(?a~lF8~  
                                                             R(n0!h4  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 }kgjLaQ^N  
                                                                 ,Jw\3T1V  
    建模任务                                                         0e7O#-  
    *IjdN,wox  
     o{ YW  
    Q9Xm b2LN  
    光栅元件   qW`XA  
    4q@9  
                                                             ys~p(  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Zip K;!9by  
    • FMM/RCWA umHs" d  
    • Diffractive Lens Component ~I8"l@H>  
                                                                 j|VlHDqR  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       l72i e  
    lL(}dbT~N  
                                                         ]ZU:%Qhu  
    <W^XSk  
    正弦光栅-传输相位形态     hz>yv@1  
    0N} wD-  
                                                         eF gb6dSh  
    3qV>TE]6,  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         :Z7"c`6L!~  
    A<*tn?M]  
     iX9[Q0g=oQ  
    =c5 /cpZ^  
    正弦光栅-衍射效率 F~uA-g  
    d/-]y:`f`  
                                                                 [ XY:MU e  
    j_YZ(: =  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       J?HZ,7X:  
    #/ gme  
           ;MdK3c  
    xVwi }jtG|  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   KH6n3\=  
                                           pN^G[  
    Kw5+4R(5  
                                                                 O<H@:W #k  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) q5K/+N^2?  
    s'fcAh,c6  
                                                               (/rIodHJO  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ~)\1g0  
    e[VJ0 A=  
    :O @,Z_"  
     Q/9vDv  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         3Jk?)D y  
    >=q!!'$:  
     dQ2i{A"BKz  
                                                                 x.4)p6  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         4@V<Suw  
    Ivgwm6M  
     <xh'@592  
                                                                 0T{Y_IG  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;hJ/t/7  
    kHIQ/\3?Q  
     bU +eJU_%  
     
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