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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 Z_D8}$!  
    BbA>1#i5]  
    n`? j. s  
                                                             ]y@9 z b  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 yJc<;Qx  
                                                                 FEw51a+V  
    建模任务                                                         7m{ 'V`F  
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     n>)CCf@H  
    U_m<W$"HF  
    光栅元件   ]T}G-  
    '0GCaL*Sd  
                                                             /$'tO3  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: #+|{l*>  
    • FMM/RCWA |8 c3%jve  
    • Diffractive Lens Component vr/V_  
                                                                 VZ'[\3J  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       YwQxN"  
    GN?^7kI  
                                                         }RYr)  
    t@QaxZIlt;  
    正弦光栅-传输相位形态     [!,&A{.!  
    >B U 0B  
                                                         @D^y<7(  
    {'E%SIRZ)  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         2aX|E4F  
    cjHo?m'  
     IkFrzw p  
    h^D? G2O  
    正弦光栅-衍射效率 fAm^-uq[  
    SGre[+m~m  
                                                                 O;9u1,%w  
    I!dA{INN  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ;"-(QE?Mv  
    f)l:^/WP+  
           t,M _  
    x5YW6R.<t  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   bdZ[`uMD  
                                           IP7j)SM!  
    ynvU$}w ~'  
                                                                 >N62t9Ll[  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) zR6,?Tzg  
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                                                               f 5"1WtB  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         $~!%Px)  
    X0Y1I}gD  
    ztTj2M"  
     Bha#=>4FU  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         V zuW]"  
    Y#S<:,/sb?  
     ;{EIx*<d  
                                                                 "XlNKBgM  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         n/6#rj^$  
    Q^prHn*@  
     Q@?8-  
                                                                 ;>np2K<`  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         O B`(,m#  
    bc=,$  
     y iO!ZT  
     
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