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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 qrsPY d  
    2M3.xUS  
    > nDx)!I  
                                                             (Eq0 |"cj  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 iov55jT~l@  
                                                                 rDX_$,3L  
    建模任务                                                         O['gp~P"  
    6.kX~$K  
     +/*g?Vt  
    {w$1_GU  
    光栅元件   12M&qqV  
    -o#HO_9  
                                                             AF g*  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: JV=d!Gi[C  
    • FMM/RCWA UQgOtqL3  
    • Diffractive Lens Component , |CT|2D>  
                                                                 M;V (Tf  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       HaXlc8  
    In#V1[io  
                                                         +|Z1U$0g  
    !([Q1r{u  
    正弦光栅-传输相位形态     =W"BfG  
    `c ~Va/Yi  
                                                         oM/(&"  
    *G7$wW:?  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         OM*N)*  
    |#q5#@,  
     g^OU+7o  
    3/+9#  
    正弦光栅-衍射效率 2T3v^%%j  
    |FG t'  
                                                                 :[ z=u  
    H)(@A W+-  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       -Qgu 6Ty  
    -K hXb  
           .<} (J#vC  
    #m{K  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   9oKRn c  
                                           DksSD  
    _IBI x\F  
                                                                 ?W-J2tgss{  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) TkXD#%nFY  
    L\|p8jJ  
                                                               5<\&7P3y  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         'yxRz5  
    c-.t8X,5(~  
    ]S4TX  
     0 Po",\^  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         6Ko[[?Lf[  
    S G|``}OA  
     RL7OFfMe  
                                                                 Z? u\  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         7t=e"|^  
    25]Mi2_  
     UhQ[|c  
                                                                 "W$,dWF  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         (yIl]ZN*  
    sJo]$/?F  
     (1p[K-J)r  
     
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