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摘要 ~.99H \ vj<9ke& 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 84v7g`lrR LT7C>b 设计和建模任务 0$)uOUVJ :.wR *E eT33&:n4 ]X
y2km] 导入现有结构文件 Lc.=CBQ h3-y}.VjG !nh7<VJ 平面波 >yk@t&j, 波长(486,587,656)nm 86pujXjc' 视场角(40°) [B<htD& x方向线偏振光 z,pKyInw g\_J WzD=Ol 衍射透镜 nn[OC=cDN 波前相位相应 i\~@2 真实衍射器件结构 {m%]`0 %d-|C. J @eu]?h (QS4<J" 离焦 ^pgVU&-~]/ Z:>)5Z{' W:5uoO]=< O5X@'.#rU 球差 P/%5J3_, BwpEIV@b] w[ )97d %?<Y&t 像散 `"@Pr,L <}Hfu-PLo B^|^hZZ> TS2zzYE6Z 彗差 d\c?sYLv b&wyp@k 'PO+P~|oa& *vFXe_. 二阶彗差 +95: O 8 dgbqMu" ?7;_3+T# HNXMM 三叶草像差 {"rYlN7, {>EM=ZZfg K/T4T\ lftT55Tki VirtualLab Fusion 技术 O@9<7@h+Nl 76IjM4&a IA6,P>}N
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