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摘要 ( u^ `3=%n @h,3"2W{Ev
80%L!x| JFu9_=%+ 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 WNSY@q 0^83:C
^{ 建模任务 O?$]/d 0fog/c#q(
hEq-)-^G \A 5Na-/9 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ .$ X|96~$ ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 hjq@.5 ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 dwqR,| l.xKv$uOGR 示例 O?t49=uB} %W^Zob i :|e#$x I+/fX0-Lib 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 ML.|\:r* ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 4+J>/ xiZ ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 Al+}4{Q+? ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 8 .t3`FGH tz9"#=}0 关于z轴旋转的图示 k_`h (R wpg7xx! 5><T#0W? bTMgEY 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 TPn#cIPG 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 7$mB.\| Z~]G+( 指向(关于z轴旋转):0° zvn3i5z ,W BKN)%u
Pq,iR J ~;}uYJ 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 i`5Skr:M /vI"v4 指向(关于z轴旋转): 30° uann'ho?q yN/g;bQ S3s6 w:ASB>,! 注意:方向角度的定义为: DWS#q|j`" ─ 关于界面坐标轴。
=fJ /6 ─ 逆时针方向。 [Z^26/5a Sd/7# 指向(关于z轴旋转): -90° 1\J9QZX0 A8g_BLj!e
niyI$OC Wm4C(y@ 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 V\AY =u (+SL1O P 关于y轴旋转180°示例 kN6jX 4K
]*bF44
]cM8TT v'm-A d+4t 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 OC)=KV@KE DOOF--ua 关于y轴旋转180°(未选中) k2(k0HFR ' g d=\gV
ix"BLn]YZ "wCx]{Di 注意: -f*5lkO 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 Pif-uhOk% 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: #/5eQTBD ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 sN K^.0 ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 egAYJK-,! Et
y?/ 关于y轴旋转180(选中) 2B^WZlx ,~/WYw<o
kek/C`7 T-h[$fxR_ 注意: G7i0P j 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. BF 0#G2`h> ^\[c][fo 例1和例2的附加信息 _GM?` gjx-tp 1.
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