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摘要 <pl2
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GHgwT 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 eP)YJe 3 [QqNsco) 建模任务 %FI6\|`M
6p6Tse]
V?J,ab$X# >/`cmNmb 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ sv6U%qV ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 8\.1m9&r>o ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 `rdfROKv 898wZ{ 9 示例 -hR\Y2? w~KBk)!* 42LXL*-4 95 .'t} 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 pfQZ|*>lkb ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 U+r#YE. ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 5 /jY=/0.a ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 1Da [!^u,D 3a)Q:#okD 关于z轴旋转的图示 sCCr%r]zL 4kF . 1@z@ r~fl=2>yQ 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 @>nk^l 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 4NR5?s & c9Fw:f; 指向(关于z轴旋转):0° FRQ("6( 7Z~szD
GhQ`{iJM g+r{>x 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 `b`52b\6S _7"W\gn:9 指向(关于z轴旋转): 30° PyxN _agf 0@x$Cp p}|wO&4h dB/I2uGl> 注意:方向角度的定义为: ~I|R}hS ─ 关于界面坐标轴。 \lIHC{V\ ─ 逆时针方向。 Dlf=N$BL7d d*(Bs$De 指向(关于z轴旋转): -90° KP-z Bo\v-97
7^ {hn_%; 35kbE' 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 s ^R2jueR 5f@YrTO[@ 关于y轴旋转180°示例 d]~1.i Xt*%"7yTp
;p!hd}C 1gej$G@ 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 >t2)Z|1 N_[ Q.HD" 关于y轴旋转180°(未选中) 7{F9b0zwk L=!kDU
Sz@?%PnU| `3P62M< 注意: S,v >*AF 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 n(Op< 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: 7:E#c"S
q ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 }eFUw ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 G*p.JsZP GJfNO- 关于y轴旋转180(选中) Riuv@i^6K ,k' 6<Hw
FGhrf 6v)eM=
注意: Pm;*Jv% 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. qA/3uA!z *<QL[qyV 例1和例2的附加信息 l<_mag/j9o k r^#B^
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