摘要
*!7SM7 FUTyx"
2QuypVC ] bM3'm$34 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
cX=b q_ 8KdcLN@ 设计任务
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!E>3N: #<V'gE 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
BKjPmrZ| &B5Rzz-' 扫描参数空间以获取初始解
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r'JK$9 b!tZ bX# 初始解#1的参数优化
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+VI0 oo {Z [.#$hOsNR 最终设计#1的性能分析
t-ReT_D|; P9HPr2
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V 初始解#2的参数优化
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1XKIK(l ++RmaZ 最终设计#1的性能分析
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ha'm`LiX
Z"8cGN' VirtualLab Fusion一瞥
k/rkJ|i+p I)4|?tb?
mp$II?hZ* \Hx#p`B% VirtualLab Fusion中的工作流程
y&|{x " $fpDABf 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Iz=E8R g ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media 8{^GC(W{] 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer 97
X60< 使用参数运算寻找初始解
dufHd ─
Usage of the Parameter Run Document .TU15AAc 使用参数优化确定最终解
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s{7k VirtualLab Fusion技术
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