摘要
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c!kbHZ<Z L
Q;JtLu1 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
W>B:W 0A [=V8 设计任务
!_x-aro3< ,{E'k+
YdeSJ(: DK4V/>@8 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
ss,6;wfX $]Fe9E? 扫描参数空间以获取初始解
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N|7._AR2 Nb B`6@r 初始解#1的参数优化
R \`,Q'3 c-s ~q/
0'L+9T5 mg#+%v 最终设计#1的性能分析
E; RI.6y h V=)T^Q
{H0B"i M?F({#] 初始解#2的参数优化
1h)I&T"kZ `D?vmSQ
Qz/=+A/4 \ u5%+GA-: 最终设计#1的性能分析
'9^x"U9c ri\r%x
M4')gG; B d\p!f< VirtualLab Fusion一瞥
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N$_Rzh"9rr K3\U'bRO VirtualLab Fusion中的工作流程
%X#Wc:b 'z+8;g.ekO 构建
光栅结构
ux-Fvwoh ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [qid4S~r,& ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media $Cf_RFH0 分析光栅
衍射效率
^iTjr$hQ; ─
Grating Order Analyzer *+Q,b ^N 使用参数运算寻找初始解
C\EV$U, ─
Usage of the Parameter Run Document ea7v:#O[S 使用参数优化确定最终解
tR2IjvmsX ^#"!uCq]gM VirtualLab Fusion技术
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