摘要
m !:F/?B hEjvtfM9\- nWelM2 Z(:\Vj" 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
_U}|Le@ e :/6:&7s 设计任务
=F[M>o og$dv
23 uhq6dhhR 0084`&Ki 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
86%k2~L
/;_$:`|/ 扫描参数空间以获取初始解
0of:tZU UVXruH 70avr)OM pYCMJK-H 初始解#1的参数优化
a/E(GQ,, oi Q3E 4P Sbr$ Le~D"d8 最终设计#1的性能分析
OY"BaSEOw} tQj=m_ ft8 $I`,nN 初始解#2的参数优化
v*excl~ 2;:]Q.g S%p,.0_ )cN=/i 最终设计#1的性能分析
V13^SVM qUe2(/TQu /_<_X
7 k5&}bj- VirtualLab Fusion一瞥
\ bNDeA&l jhG6,;1zMI t":^:i'M \(Dm\7Q. VirtualLab Fusion中的工作流程
#)D$\0ag S@\&^1;4Hv 构建
光栅结构
:^7_E& ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ]$K5 8C ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media
fNr*\=$ 分析光栅
衍射效率
aS3-A4 ─
Grating Order Analyzer uF,%N 使用参数运算寻找初始解
W[!bF'-10 ─
Usage of the Parameter Run Document ^CwS'/fdN 使用参数优化确定最终解
};(2 na 09Oe-Bg VirtualLab Fusion技术
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