摘要
G@igxnm} g4^df%)&
@[4 Tdf nr<&j#!L 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
~;0J4hR ~?n)1Vr| 设计任务
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Jm8#M z G.a^nQ@e% 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
)/F1,&/N`e {'#^ 扫描参数空间以获取初始解
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Vee`q. 4#m"t?6! 初始解#1的参数优化
jz2W/EE`w %vO b"K$X
Dh|8$(Jt ApYri|^r 最终设计#1的性能分析
:n&n"`D~ n1xN:A
L
59q\_| ,IW$XD 初始解#2的参数优化
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3%<xM/# 7usf^g[dh 最终设计#1的性能分析
^L(}c O J!o[/`4ib
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X[~e| 1dF=BR8 VirtualLab Fusion一瞥
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~E=.*: 5( el*C8TWlw VirtualLab Fusion中的工作流程
S/|'ggC ]kuMzTH 构建
光栅结构
HUtuU X ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces sSC yjS'T ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media E{*~>#+ 分析光栅
衍射效率
V11Zl{uOl ─
Grating Order Analyzer 8#w}wGV* 使用参数运算寻找初始解
m1X0stFRs" ─
Usage of the Parameter Run Document HKk;oG 使用参数优化确定最终解
HPGi5rU n;0bVVMV VirtualLab Fusion技术
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