摘要
{2d_"lHBt XUMX* gJN0!N' Q[n\R@ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
%V!iQzL1 SUCUP<G 设计任务
eP1nUy=T F?+3%>/A@ <~U4* l(W[_ D 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
<E|s\u |iYg > 扫描参数空间以获取初始解
+]xFoH
BcWcdr+}9 Z$KLl(( jjs&`Fy, 初始解#1的参数优化
YB))S!;Ok Nt`b;X& }alj[) >u+q1j. 最终设计#1的性能分析
b}9[s vE, 37 2/P"7A=< z$lF)r:Bc 初始解#2的参数优化
>QE{O.Z ihe(F7\U CJknJn3m& f'(l&/4z{ 最终设计#1的性能分析
K<sC F[ 9<Eg}Ic qem(s</: XE3aXK'R VirtualLab Fusion一瞥
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=Uo* VirtualLab Fusion中的工作流程
'XOX@UH d M(q'%XL^ 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces b4 #R! ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media ;oOv/3 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer :&XH?/Wi 使用参数运算寻找初始解
;Q0bT`/X ─
Usage of the Parameter Run Document #Doq P: 使用参数优化确定最终解
5r{;CKKz B6P|Z%E;D6 VirtualLab Fusion技术
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