摘要
F vkyp"W3 ;E.]:Ia~
a}yb~:TC D{+@ ,C7B 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
`58% &3lp R/~!km 设计任务
\ptO4E o|@0.H|
cr!8Tp;2A <e UsMo< 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
uRb48Qy2 dL0Q8d\^T 扫描参数空间以获取初始解
7fR5V ,iyy2
hju^x8
,=m .
Vb|le(7 初始解#1的参数优化
LA Crg #|sE]\bsH
V;: k- 0
P YYG 最终设计#1的性能分析
a}@b2Wc* 76w[X=Fv
ZH
Q?{" M`&t=0D 初始解#2的参数优化
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J,W$\V]p 8ae`V!5 最终设计#1的性能分析
*O$|,EsY p6j-8ggL
$[X][[ nFlN{_/ VirtualLab Fusion一瞥
('7?"npd `<tRfl}qs
"_UnN}Uk f6I)c$]Q VirtualLab Fusion中的工作流程
}Cu:BD.zQ dz@+ jEV 构建
光栅结构
;}Jv4Z ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces XuP%/\ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media CNRSc4Le 分析光栅
衍射效率
p.:|Z-W$ ─
Grating Order Analyzer I q|'#hs 使用参数运算寻找初始解
ZW;Ec+n_K ─
Usage of the Parameter Run Document w~6/p 使用参数优化确定最终解
xtGit} rT R$\ [C VirtualLab Fusion技术
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