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摘要 +('xzW BB1_EdoG 复杂光学光栅结构被广泛用于多种应用,如光谱仪、近眼显示系统等。利用傅里叶模态法(FMM,或称RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一种用于任意光栅结构严格分析的简单方法。利用图形用户界面,用户可以设置堆栈的几何形状,从而产生复杂的光栅结构。本案例主要集中于具有二维周期光栅结构的配置。 Gyi0SM6v5&
Qd3ppJn 1. 本案例主要说明: 7PfNPz<4+ 如何在光栅工具箱中配置二维光栅结构,通过: g
p|G q - 基于介质的定义类型 hQzT
=0 - 基于表面的定义类型 3,#qt}8` 计算前如何改变高级选型并检查定义的结构。 YyYp-0# 注意:在VirtualLab中,具有二维周期性的光栅结构称作3D光栅。因此,层状光栅(一维光栅)被称为2D光栅。
_,Q -)\ )99^58my 2. 光栅工具箱初始化 <dS I"C< 初始化 ed/
"OgA - 开始→ 4ee-tKH 光栅→ (i<\n`h1K 一般光栅光路图(3D光栅) A$P Oc< 8&x&Ou$("V
2I=4l 注意:对于特殊类型的光栅,如柱状光栅,可以直接选择特定的光路图。 $RRh}w\0^ ij_5=4aZ- 3. 光栅结构配置 p4uObK, 首先,必须先定义基底的厚度与材料 ^'sy hI\ 在VirtualLab中,光栅结构有一个所谓的堆栈进行定义 4
;6,h6a 堆栈可以附属在基底的一侧或两侧。 lYm00v6y 例如,堆栈选择附属在第一表面。 ]REF1<)4z $G/p[JG6- 基于介质的定义类型 'vZWkeo (例如:柱状光栅) =.`e4}u \X 1. 堆栈编辑器
(w<llb`] 在堆栈编辑器中,可以从库中增加和插入界面和介质。 (c3O> *M 为了以特殊材料定义光栅,必须添加两个平面界面作为边界。 C1YH\X(r o|s|Wmx>u
gazX2P[D O+DYh=m*p 两个平面界面间的介质可以使均匀的,也可以是调制的。 /5>A 2y 通过使用后者,可以非常有效地描述复杂的光栅结构,如柱状光栅。、 VB+_ kR6Zv i|!R*" 0w2<2grQ 2. 柱状光栅介质 ]>+ teG:4 在库目录“LightTrans Defined”中,在柱状介质库中可以找到铬柱。 *'@T+$3s 这种类型的介质可以模拟柱状结构以及衬底上的销孔。 *MCkezW7{
K[-G2 在本例中,由铬组成的矩形柱位于熔融石英基底上 `Z@qWB< 在堆栈编辑器的视图中,不同的材料根据折射率(深色意味着更高)用其他颜色表示。 2tp95E`(O 注意:堆栈编辑器总是提供x-z平面的横断面视图。 eN TKX 请注意:界面的顺序总是从基板的表面开始计算。 >/-Bg: 选中的界面以红色高亮显示。 c5eimA%` 此外,这里不能定义光栅前面的介质(后一个界面后面)。它是自动从光栅元件前面的材料中取出的。 \VAS<?3
~MK%^5y? 可以在光学设置编辑器中更改此材料。 KW36nY\7 -0*z"a9<p8 S]c& |