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摘要 &+;z`A'|8 *t.L` G 复杂光学光栅结构被广泛用于多种应用,如光谱仪、近眼显示系统等。利用傅里叶模态法(FMM,或称RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一种用于任意光栅结构严格分析的简单方法。利用图形用户界面,用户可以设置堆栈的几何形状,从而产生复杂的光栅结构。本案例主要集中于具有二维周期光栅结构的配置。 wR
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7.-Q9xv 1. 本案例主要说明: O`1_eK~1< 如何在光栅工具箱中配置二维光栅结构,通过: 37Ux2t - 基于介质的定义类型 AeR3wua - 基于表面的定义类型 FB-?{78~ 计算前如何改变高级选型并检查定义的结构。 `K37&b |