{`J)j6; 内容简介 ~{d$!`|a Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
]*vdSr-J 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
t,,k
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
S\4tzz @ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
Q(@U2a8 (^s>m,h 目录 OSlvwH%(EE Preface 1
jB`,u|FG 内容简介 2
|s'Po^Sy 目录 i
&]8P1{ 1 引言 1
y6LWx: 2 光学薄膜基础 2
l%[EXZ 2.1 一般规则 2
./,/y"x 2.2 正交入射规则 3
B{|8#jqY 2.3 斜入射规则 6
C3*gn}[ 2.4 精确计算 7
4~y(`\0?4 2.5 相干性 8
$AfM>+GQ`n 2.6 参考文献 10
<%($7VMev 3 Essential Macleod的快速预览 10
G]D+Sl4<7i 4 Essential Macleod的特点 32
<PapskO> 4.1 容量和局限性 33
y603$Cv 4.2 程序在哪里? 33
@<&5J7fb 4.3 数据文件 35
3
N.~mR 4.4 设计规则 35
[ad@*KFxy3 4.5 材料数据库和
资料库 37
K!:azP,bZ 4.5.1材料损失 38
Inn@2$m~ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
X<i^qoV 4.5.2 材料库 41
]gmexa=(i 4.5.3导出材料数据 43
s@9vY\5[9 4.6 常用单位 43
vu|n< 4.7 插值和外推法 46
pi /g H 4.8 材料数据的平滑 50
8JM&(Q%# 4.9 更多光学常数模型 54
{aY%gk?y#> 4.10 文档的一般编辑规则 55
p!>oo1& 4.11 撤销和重做 56
,-izEr 4.12 设计文档 57
mFg<dTx0c8 4.10.1 公式 58
s}j{#xT 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
y&Mr=5:y 4.10.3 沉积密度 59
ZNf6;%oGG 4.10.4 平行和楔形介质 60
.uuO>: 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
M4zm,>?K 4.10.4 性能 61
# ,7e
NM" 4.10.5 保存设计和性能 64
iTFdN}U 4.10.6 默认设计 64
%70~M_ 4.11 图表 64
H$@`,{M629 4.11.1 合并曲线图 67
N03HQp)g 4.11.2 自适应绘制 68
7l'6gg 4.11.3 动态绘图 68
B-.gI4xa 4.11.4 3D绘图 69
4#ug]X4Y') 4.12 导入和导出 73
whpfJNz 4.12.1 剪贴板 73
@W vatD
V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
)f}YW/' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
T.@aep\" 4.13 背景 77
1nQWW9i 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
_9JhL:cY 4.15 生成Rugate 84
&{>cZh}\ 4.16 参考文献 91
/e7O$L)
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
J/\V%~
1F 5.1 Jobs 92
lLp^Gt^}w( 5.2 创建一个新Job(工作) 93
4kG,*3&2 5.3 输入材料 94
PE~G=1x3 5.4 设计数据文件夹 95
(IC]?n} 5.5 默认设计 95
{U!8|( 6 细化和合成 97
<%maDM^_\( 6.1 优化介绍 97
YQ39A_e
g 6.2 细化 (Refinement) 98
vg
D77 6.3 合成 (Synthesis) 100
k%D+Y(WGz8 6.4 目标和评价函数 101
KMU4n-s"o 6.4.1 目标输入 102
4"{ooy^Q 6.4.2 目标 103
7bk%mQk 6.4.3 特殊的评价函数 104
CACTE
6.5 层锁定和连接 104
RT)d ]u 6.6 细化技术 104
/wP@2ADB 6.6.1 单纯形 105
pcYG~pZ9 6.6.1.1 单纯形
参数 106
5#> 8MU?& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
{P{bOe 6.6.2.1 Optimac参数 108
0Uz\H0T1 6.6.3 模拟退火算法 109
aCQ?fq 6.6.3.1
模拟退火参数 109
NXNY"r7~ 6.6.4 共轭梯度 111
rypTKT|U; 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
m\$\ 09 6.6.5 拟牛顿法 112
$4tWI O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
$/.zm;D 6.6.6 针合成 113
HvM)e.! 6.6.6.1 针合成参数 114
Hz.(qW">5* 6.6.7 差分进化 114
Z7_m)@%;kk 6.6.8非局部细化 115
wm)#[x # 6.6.8.1非局部细化参数 115
Ys,{8Y,7 6.7 我应该使用哪种技术? 116
!R1.7}O 6.7.1 细化 116
VwOW=4`6 6.7.2 合成 117
HRiL.DS 6.8 参考文献 117
J]&y$?C 7 导纳图及其他工具 118
G`\f 7.1 简介 118
EX?MA6U 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
}z\_;\7 7.2.1 四分之一
波长规则 119
QAvir%Y9Q 7.2.2 导纳图 120
VJdIHsI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
A-4h 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
bzX\IrJpOZ 7.5 斜入射导纳图 141
t?9v^vFR 7.6 对称周期 141
O
[i#9) 7.7 参考文献 142
SzUpWy& 8 典型的镀膜实例 143
6`]$qSTS 8.1 单层抗反射薄膜 145
e pU: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
\8<BLmf4U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
gF$V$cU 8.4 W-膜层 148
`e(vH`VZ 8.5 V-膜层 149
d!:6[7X6 8.6 V-膜层高折射基底 150
l-ct?T_@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
hRty [ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
.G+Pe'4a 8.9 四层抗反射薄膜 153
AwslWkd= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
>2,Gy-&"0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
'bo~%WA]n 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
pek%08VSEU 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
L
]w/P| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
&2 `F n!m 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Y7vA`kjD-C 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Gi "941zVl 8.17 1/4波长堆栈 162
o>7ts&rk 8.18 陷波滤波器 163
G}FIjBE 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
rk7QZVE 8.20 褶皱 165
G(~;]xNW+ 8.21 消偏振分光器1 169
"g'jPwFG 8.22 消偏振分光器2 171
7vABq( 8.23 消偏振立体分光器 172
|7X:TfJ 8.24 消偏振截止滤光片 173
LE*h9(( 8.25 立体偏振分束器1 174
r=6v`)Qr 8.26 立方偏振分束器2 177
zxf"87se 8.27 相位延迟器 178
;$a@J& 8.28 红外截止器 179
Sp}tD<V 8.29 21层长波带通滤波器 180
g_G6~-.9I 8.30 49层长波带通滤波器 181
CMn{LQcC 8.31 55层短波带通滤波器 182
R1& [S/ 8.32 47 红外截止器 183
aBNZdX]vzO 8.33 宽带通滤波器 184
Pv<24:ao 8.34 诱导透射滤波器 186
@DZB9DDR 8.35 诱导透射滤波器2 188
7^Ns&Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
qQ0cJIISb\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
h+a S4Q& 8.35 增益平坦滤波器 193
1.gG^$J d 8.38 啁啾反射镜 1 196
5vw{b? 8.39 啁啾反射镜2 198
<0S,Q+& 8.40 啁啾反射镜3 199
MW PvR|Q 8.41 带保护层的铝膜层 200
JB>b`W9 8.42 增加铝反射率膜 201
CYKr\DA 8.43 参考文献 202
A0Zt8>w 9 多层膜 204
Le*.*\ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
c7M%xGrP 9.2 内部透过率 204
;\[(- )f!= 9.3 内部透射率数据 205
fm^@i;D
9.4 实例 206
mWyqG*-Hb 9.5 实例2 210
k<cgO[m 9.6 圆锥和带宽计算 212
1?| flK 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
|U_]vMq 10 光学薄膜的颜色 216
BSkDpr1C 10.1 导言 216
m\ddp_l 10.2 色彩 216
x ul]m*Z 10.3 主波长和纯度 220
&R$CZU 10.4 色相和纯度 221
{&"L~>/o 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
OQ,NOiNkap 10.6 色差 226
#Jna6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
#^4,GLIM 10.8 颜色渲染指数 234
y2+p1 10.9 色差计算 235
=i(?deR 10.10 参考文献 236
TARXx> 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
[Tnsr(Z 11.1 短脉冲 238
?X5]i#j[ 11.2 群速度 239
06Gt&_Q 11.3 群速度色散 241
!o>H1#2l 11.4 啁啾(chirped) 245
>y}M.Mm 11.5 光学薄膜—相变 245
f}L*uw 11.6 群延迟和延迟色散 246
(E,Yo 11.7 色度色散 246
_ z;q9&J) 11.8 色散补偿 249
b9"jtRTdz 11.9 空间
光线偏移 256
ru`U' 11.10 参考文献 258
3mSXWl^? 12 公差与误差 260
3 ( ]M{4j 12.1 蒙特卡罗模型 260
de]z T^&C 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
YhRWz=l 12.2.1 误差工具 267
P1 zdK0TM 12.2.2 灵敏度工具 271
5BR2?hO4 12.2.2.1 独立灵敏度 271
J-ePE7i 12.2.2.2 灵敏度分布 275
T<I=%P) 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
&|aqP
\Q5 12.3 参考文献 276
5P .qXA"D 13 Runsheet 与Simulator 277
LPwT^zV&N 13.1 原理介绍 277
n 3lE,b 13.2 截止滤光片设计 277
Lgz$]Jbl8 14 光学常数提取 289
3&x-}y~sg 14.1 介绍 289
k@ K7yK 14.2 电介质薄膜 289
fRfn2jA)d 14.3 n 和k 的提取工具 295
gt\MS;jMa 14.4 基底的参数提取 302
oxj3[</'k 14.5 金属的参数提取 306
zvvP81$W 14.6 不正确的模型 306
k/03ZxC- 14.7 参考文献 311
tV9LD>3 15 反演工程 313
[|~2X> 15.1 随机性和
系统性 313
@
a4/ELx 15.2 常见的系统性问题 314
#XnPsU<J 15.3 单层膜 314
!6G?zipB 15.4 多层膜 314
cD4
kC>P* 15.5 含义 319
| ea~'N1 15.6 反演工程实例 319
kSc{^-<R 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
HK)cKzG[s! 15.6.2 反演工程提取折射率 327
SSBg?H 'T 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Fxc)}i` 16.1 光学性质的热致偏移 329
vfB2XVc 16.2 应力工具 335
!m(4F(!"h 16.3 均匀性误差 339
5[{*{^F4 16.3.1 圆锥工具 339
h8G5GRD 16.3.2 波前问题 341
3@n>*7/E 16.4 参考文献 343
v_S4hz6w\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
za'6Y*CGgX 17.1 引言 345
s!+"yK 17.2 操作数 345
,&Wn [G<2 18 如何在Function中编写脚本 351
]MtFf6& 18.1 简介 351
$^ 'aCU0C 18.2 什么是脚本? 351
dx,=Rd5' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
$ \*`
}Y 18.4 基础 352
|BZDhd9<{ 18.4.1 Classes(类别) 352
D^U:
ih 18.4.2 对象 352
NA$zd( 18.4.3 信息(Messages) 352
`d 2,*KR 18.4.4 属性 352
|KY EK| 18.4.5 方法 353
LwuF0\ 18.4.6 变量声明 353
%~NH0oFO 18.5 创建对象 354
J
wm T/ 18.5.1 创建对象函数 355
)R_E|@" 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
>\<*4J$PZ 18.5.3 丢弃对象 356
O;HY% 18.5.4 总结 356
qW_u 18.6 脚本中的表格 357
S<nq8Ebmw 18.6.1 方法1 357
^")F7`PF 18.6.2 方法2 357
r$wZt 18.7 2D Plots in Scripts 358
2 }vg U$a 18.8 3D Plots in Scripts 359
1x~U*vbhQ 18.9 注释 360
RQW6N??C 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
ZiFooA 18.11 一个更高级的脚本 362
Fk=}iB#( 18.12 <esc>键 364
\4ghYQ: 18.13 包含文件 365
2h
{q h 18.14 脚本被
优化调用 366
"k$JP 18.15 脚本中的对话框 368
K 3GSOD> 18.15.1 介绍 368
3}1ssU"T 18.15.2 消息框-MsgBox 368
N"[B=fU} 18.15.3 输入框函数 370
jx_4B%kzq 18.15.4 自定义对话框 371
=wi*Nd7L 18.15.5 对话框编辑器 371
|r RG=tG_' 18.15.6 控制对话框 377
T:asm1BC[ 18.15.7 更高级的对话框 380
\nrP$ 18.16 Types语句 384
1+y"i<3) 18.17 打开文件 385
IO.<q,pP!_ 18.18 Bags 387
3b[jwCt 18.13 进一步研究 388
~<qt%W? 19 vStack 389
[LM^),J? 19.1 vStack基本原理 389
smAC,-6]~ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
qBk``!|s] 19.3 五棱镜 393
(3,.3)%` 19.4 光束距离 396
j%Y\A~DV 19.5 误差 399
)wzV
$(~ 19.6 二向分色棱镜 399
&217l2X
/ 19.7 偏振泄漏 404
-dTLunv 19.8 波前误差—相位 405
9vGs; 19.9 其它计算参数 405
3mt%!}S 20 报表生成器 406
)E7 FA| 20.1 入门 406
nw'-`*'rj 20.2 指令(Instructions) 406
0WxCSL$#I 20.3 页面布局指令 406
e5v`;(^M 20.4 常见的参数图和三维图 407
? S=W& 20.5 表格中的常见参数 408
D>T],3U(H 20.6 迭代指令 408
ySNV^+ 20.7 报表模版 408
=)<3pG O 20.8 开始设计一个报表模版 409
J>S3sP 21 一个新的project 413
Sg*0[a3z 21.1 创建一个新Job 414
=F%RLpNU4 21.2 默认设计 415
;\)=f6N 21.3 薄膜设计 416
uf) Oy7FQ 21.4 误差的灵敏度计算 420
Nofu7xiDw[ 21.5 显色指数计算 422
ZKbDp~ 21.6 电场分布 424
CVKnTEs 后记 426
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