G0d&@okbFC 内容简介 {IM! Wb Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
PCE4W^ns 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
(! KG)! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
0(\+-< 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
s&tE_ rAukHeH 目录 "(TkJbwC[ Preface 1
H^AE|U*-G 内容简介 2
YA&`&$ 目录 i
MXZ>"G 1 引言 1
q,l)I+ 2 光学薄膜基础 2
X.#oEmA,P 2.1 一般规则 2
@;^Y7po6u 2.2 正交入射规则 3
YT-=;uK^S 2.3 斜入射规则 6
MC!ZX)mF 2.4 精确计算 7
~[W#/kd1n 2.5 相干性 8
k$"d^*R 2.6 参考文献 10
b{cU<;G)y. 3 Essential Macleod的快速预览 10
4IsG=7 4 Essential Macleod的特点 32
Sycw %k 4.1 容量和局限性 33
<+U|dX 4.2 程序在哪里? 33
Ew,T 5GG 4.3 数据文件 35
U@-2Q= 4.4 设计规则 35
[kB
` 4.5 材料数据库和
资料库 37
'Pd(\$ZY 4.5.1材料损失 38
;_"U "?h_J 4.5.1材料数据库和导入材料 39
!@L=;1, 4.5.2 材料库 41
R: Z_g!h 4.5.3导出材料数据 43
jAhP>
t: 4.6 常用单位 43
4^Rd{'mt 4.7 插值和外推法 46
(-^bj 4.8 材料数据的平滑 50
-n))*.V 4.9 更多光学常数模型 54
h5~n 1qX 4.10 文档的一般编辑规则 55
?=On%bh 4.11 撤销和重做 56
3Qn!y\# 4.12 设计文档 57
HSz"
tN 4.10.1 公式 58
FfFak@H 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
2}WDw>V 4.10.3 沉积密度 59
pbBoy+.> 4.10.4 平行和楔形介质 60
$P {K2"Oc 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
T0QvnIaP 4.10.4 性能 61
*b|NjwmB 4.10.5 保存设计和性能 64
ff2d@P,! 4.10.6 默认设计 64
;)hw%Z]Jj$ 4.11 图表 64
D d $qQ 4.11.1 合并曲线图 67
h #.N3o 4.11.2 自适应绘制 68
nWYCh7 4.11.3 动态绘图 68
|%7cdMC 4.11.4 3D绘图 69
'\7G@g?UZ 4.12 导入和导出 73
yI;"9G 4.12.1 剪贴板 73
v;2CU 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
L^J-("e_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
6(V
/yn~ 4.13 背景 77
S]>wc
yy=n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
J7$_VP 4.15 生成Rugate 84
4[2_,9} 4.16 参考文献 91
[xlIG}e9 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
b{Zpux+ 5.1 Jobs 92
WI[:-cv 5.2 创建一个新Job(工作) 93
2W<n5o 5.3 输入材料 94
6ghx3_%w 5.4 设计数据文件夹 95
MZ4c{@Tg 5.5 默认设计 95
DtxE@, 6 细化和合成 97
kdrod [S 6.1 优化介绍 97
Wch~Yb 6.2 细化 (Refinement) 98
TJ_=1Y@z 6.3 合成 (Synthesis) 100
KG9t3<-` 6.4 目标和评价函数 101
p<GR SJIk= 6.4.1 目标输入 102
</~ 6f(mg 6.4.2 目标 103
yW7'? 6.4.3 特殊的评价函数 104
_ -..~K.| 6.5 层锁定和连接 104
QfpuZEUK 6.6 细化技术 104
@cvP0A 6.6.1 单纯形 105
t%VDRZo7 6.6.1.1 单纯形
参数 106
4`v!Z#e/aX 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
@tT-JwU 6.6.2.1 Optimac参数 108
d5m`Bm-{ 6.6.3 模拟退火算法 109
3{7T4p.G 6.6.3.1
模拟退火参数 109
^4Uw8-/ 9 6.6.4 共轭梯度 111
k3Cz9Vt% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
ja=w5 6.6.5 拟牛顿法 112
tD=@ SX'Y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
hwnJE958L 6.6.6 针合成 113
x hs#u 6.6.6.1 针合成参数 114
~W#sTrK 6.6.7 差分进化 114
.K8w8X/3 6.6.8非局部细化 115
S/A1RUt 6.6.8.1非局部细化参数 115
EMvHFu
6.7 我应该使用哪种技术? 116
tNaL;0#Tx 6.7.1 细化 116
oy.[+EI`| 6.7.2 合成 117
y0bq;(~X~ 6.8 参考文献 117
[a1jCo 7 导纳图及其他工具 118
m\u26`M 7.1 简介 118
'xK.UI 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
T2'RATfG 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Yc Q=vt{ 7.2.2 导纳图 120
5p"BD'^: 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
uXZg1F) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
X"asfA[6K 7.5 斜入射导纳图 141
P.\nLE J= 7.6 对称周期 141
(nSml,gU 7.7 参考文献 142
$hrIO+ 8 典型的镀膜实例 143
r`'y?Bra; 8.1 单层抗反射薄膜 145
|}&RXD 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
~eh0[mF^] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
<O~WB 8.4 W-膜层 148
2B1xUj ] 8.5 V-膜层 149
OEhHR 8.6 V-膜层高折射基底 150
s<QkDERMX 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
EM j;2! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
`{K_/Cit 8.9 四层抗反射薄膜 153
_
Y2
U7W 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
@I3eK^#|P 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
=Ufr^naA 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Q\Kx"Y3i 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
T3%C%BcX 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
|9K<-yD 8.15十五层宽带抗反射膜 159
"h"NW[R 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
3)Ac"nuyqH 8.17 1/4波长堆栈 162
PgM (l3x 8.18 陷波滤波器 163
yx{3J
8.19 厚度调制陷波滤波器 164
dR^"X3$ 8.20 褶皱 165
:\
QUs} 8.21 消偏振分光器1 169
H U+ I 8.22 消偏振分光器2 171
_RkuBOv@e 8.23 消偏振立体分光器 172
"UVFU-Z 8.24 消偏振截止滤光片 173
TX8<J>x 8.25 立体偏振分束器1 174
_D7 ]-3uC! 8.26 立方偏振分束器2 177
?Ke
eHMu 8.27 相位延迟器 178
!BIOY!M 8.28 红外截止器 179
qPGuo5^ 8.29 21层长波带通滤波器 180
+_l^ #?o, 8.30 49层长波带通滤波器 181
q%YV$$c 8.31 55层短波带通滤波器 182
XL}"1lE 8.32 47 红外截止器 183
W-~n|PX8+ 8.33 宽带通滤波器 184
(7FW9X; 8.34 诱导透射滤波器 186
Mz]:}qmFA 8.35 诱导透射滤波器2 188
:nY2O 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Kn;D?ioY 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
[V8fu
qE> 8.35 增益平坦滤波器 193
e$)300 o 8.38 啁啾反射镜 1 196
9O.Y OiW 8.39 啁啾反射镜2 198
(@0O 8.40 啁啾反射镜3 199
,3i,P(?( 8.41 带保护层的铝膜层 200
>JwLk[=j 8.42 增加铝反射率膜 201
~V=<3X 8.43 参考文献 202
K0pac6] 9 多层膜 204
wN-i?Ek0; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
{svn=H
/ 9.2 内部透过率 204
Bf`9V713 9.3 内部透射率数据 205
OFkNl}D 9.4 实例 206
`6Qdfmk= 9.5 实例2 210
K5t0L!6<+ 9.6 圆锥和带宽计算 212
'J)2g"T@ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
B$Z3+$hfF 10 光学薄膜的颜色 216
=DbY? Q<Q 10.1 导言 216
TJ8E"t*) 10.2 色彩 216
gR^>3n' 10.3 主波长和纯度 220
P,S
G.EFK 10.4 色相和纯度 221
g9fq5E<G 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
Z#l%r0(o 10.6 色差 226
7xo4-fIuT 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"L&'Fd@ZU 10.8 颜色渲染指数 234
L)QE`24 10.9 色差计算 235
r,P1^ uHx 10.10 参考文献 236
V
D?*h 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
smY$-v)@ 11.1 短脉冲 238
"[p@tc?5 11.2 群速度 239
.9[45][FK 11.3 群速度色散 241
7IlOG~DC 11.4 啁啾(chirped) 245
9i5,2~ 11.5 光学薄膜—相变 245
3-Dt[0%{ 11.6 群延迟和延迟色散 246
h&3YGCl 11.7 色度色散 246
o\otgyoh 11.8 色散补偿 249
>kZ57, 11.9 空间
光线偏移 256
lS^(&<{ 11.10 参考文献 258
"<+ih0Ma 12 公差与误差 260
G.'+-v=\] 12.1 蒙特卡罗模型 260
RF!a// 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
DciwQcG 12.2.1 误差工具 267
M@1r:4CoKH 12.2.2 灵敏度工具 271
{Hmo1|_S| 12.2.2.1 独立灵敏度 271
Y<"7x#AB! 12.2.2.2 灵敏度分布 275
YNrp}KQ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
}V;+l8 12.3 参考文献 276
:1q4"tv| 13 Runsheet 与Simulator 277
'uDjFQX 13.1 原理介绍 277
jDM
w2#< 13.2 截止滤光片设计 277
bOp54WI-g 14 光学常数提取 289
R
#]jSiS 14.1 介绍 289
l%R50aL 14.2 电介质薄膜 289
h0Z{,s} 14.3 n 和k 的提取工具 295
y;?ie]3G 14.4 基底的参数提取 302
{ x0 t 14.5 金属的参数提取 306
8.=\GV 14.6 不正确的模型 306
hd V1nS$ 14.7 参考文献 311
e}VBRvr 15 反演工程 313
t2" (2 15.1 随机性和
系统性 313
$eV$2p3H 15.2 常见的系统性问题 314
juF{}J2 15.3 单层膜 314
%owsBO+ 15.4 多层膜 314
/"H`.LD.? 15.5 含义 319
)Rat0$6 15.6 反演工程实例 319
Z}A%=Z\/3 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
7?gFy- 15.6.2 反演工程提取折射率 327
|wEN`#.;b 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
@4(k( 16.1 光学性质的热致偏移 329
U'UQ|%5f 16.2 应力工具 335
I2$T"K:eo 16.3 均匀性误差 339
Sw`RBN[ yo 16.3.1 圆锥工具 339
[+*$\ 16.3.2 波前问题 341
I|-p3g8\ 16.4 参考文献 343
(C]
SH\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
R.[Z]-X 17.1 引言 345
`dMqe\o%! 17.2 操作数 345
YJS{i 18 如何在Function中编写脚本 351
e7fiGl 18.1 简介 351
v1k)hFjPK 18.2 什么是脚本? 351
49Df?sx 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
wfL-oi'5 18.4 基础 352
b?4/#&z] 18.4.1 Classes(类别) 352
e6X[vc|Y} 18.4.2 对象 352
thO ~=RB 18.4.3 信息(Messages) 352
]u-]'P 18.4.4 属性 352
22<0DhJ 18.4.5 方法 353
m+{K^kr[ 18.4.6 变量声明 353
BYW^/B Y) 18.5 创建对象 354
`s '# 18.5.1 创建对象函数 355
bk<\ujH 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
O?8Ni=] 18.5.3 丢弃对象 356
+(O~]Q-Ez 18.5.4 总结 356
r!P}u 18.6 脚本中的表格 357
Iq+>qX 18.6.1 方法1 357
dw~p?[ 18.6.2 方法2 357
$wYtyN[ 18.7 2D Plots in Scripts 358
`6y{.$ z 18.8 3D Plots in Scripts 359
)2UZ% ?V# 18.9 注释 360
[>#*B9 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
MRr</o 18.11 一个更高级的脚本 362
;U:
{/ 18.12 <esc>键 364
$qF0ltUQ 18.13 包含文件 365
bi ozZ 18.14 脚本被
优化调用 366
Z=4{Vv* 18.15 脚本中的对话框 368
-IlJ^Al4 18.15.1 介绍 368
FVv8-- 18.15.2 消息框-MsgBox 368
04J}UE]Ww 18.15.3 输入框函数 370
q(5j(G ; 18.15.4 自定义对话框 371
E@a3~a 18.15.5 对话框编辑器 371
Y
$g$x<7 18.15.6 控制对话框 377
/2{5; 18.15.7 更高级的对话框 380
]fnnZ 18.16 Types语句 384
C 8#@+ Q. 18.17 打开文件 385
o ]Jv;Iy@? 18.18 Bags 387
|8%m.fY` 18.13 进一步研究 388
5dx&Qu'}ZS 19 vStack 389
L.xZ_ 6 19.1 vStack基本原理 389
&)i|$J 2. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
dX8hpQ 19.3 五棱镜 393
(nW67YTr 19.4 光束距离 396
TUT][
=.= 19.5 误差 399
q;5i4| 19.6 二向分色棱镜 399
e98lhu"|H 19.7 偏振泄漏 404
=H0vE7 {* 19.8 波前误差—相位 405
!KKT[28v 19.9 其它计算参数 405
t3Z_Dp~\ 20 报表生成器 406
`"i Y* 20.1 入门 406
CV$],BM 20.2 指令(Instructions) 406
|o'Q62`%} 20.3 页面布局指令 406
sDgXU@ 20.4 常见的参数图和三维图 407
syx\gz 20.5 表格中的常见参数 408
h@7FY 20.6 迭代指令 408
| W$DVRA 20.7 报表模版 408
BY\:dx)mK 20.8 开始设计一个报表模版 409
#8{F9w<Rf 21 一个新的project 413
?#0snlah| 21.1 创建一个新Job 414
s#h8%[' 21.2 默认设计 415
oMcK`%ydm 21.3 薄膜设计 416
YL
jHt\ 21.4 误差的灵敏度计算 420
QQk{\PV 21.5 显色指数计算 422
rA0,`}8\ 21.6 电场分布 424
A>VI{ 后记 426
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