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OmtyX 内容简介 )
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E@
X Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
^,lIK+#Elz 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
q"CVcLi9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
:".ARCg 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
Y!aSs3c *2>&"B09` 目录 7JD' ) Preface 1
WH#1zv 内容简介 2
8?B!2 目录 i
dK$XNi13.5 1 引言 1
&)#
ihK_ 2 光学薄膜基础 2
R^8o^z['6u 2.1 一般规则 2
k{R> 2.2 正交入射规则 3
IEL%!RFG 2.3 斜入射规则 6
^lnK$i 2.4 精确计算 7
nY[WRt w 2.5 相干性 8
XFVE>/H 2.6 参考文献 10
f <Zxz9 3 Essential Macleod的快速预览 10
S1T"Z{$ 4 Essential Macleod的特点 32
<yV"6/l0 4.1 容量和局限性 33
9d0@wq. 4.2 程序在哪里? 33
wyH[x!QX 4.3 数据文件 35
IkL#SgY 4.4 设计规则 35
*?@?f&E/ 4.5 材料数据库和
资料库 37
NR$3%0 nC6 4.5.1材料损失 38
*nT<m\C6 4.5.1材料数据库和导入材料 39
{ T/[cu< 4.5.2 材料库 41
OR P\b 4.5.3导出材料数据 43
XW2b| %T 4.6 常用单位 43
o"s)eh 4.7 插值和外推法 46
Y,qI@n< 4.8 材料数据的平滑 50
j7Yu>cr 4.9 更多光学常数模型 54
]? c
B:} 4.10 文档的一般编辑规则 55
;}I:\P 4.11 撤销和重做 56
'&P%C" 5 4.12 设计文档 57
?>9/#Nv 4.10.1 公式 58
+)AG* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
&Q/ W~)~ 4.10.3 沉积密度 59
^`i#$ 4.10.4 平行和楔形介质 60
LRxZcxmy 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
udK%> 4.10.4 性能 61
!NK1MU?T) 4.10.5 保存设计和性能 64
: g7@PJND 4.10.6 默认设计 64
( ' (K9@} 4.11 图表 64
*xAqnk
4.11.1 合并曲线图 67
d"1]4.c 4.11.2 自适应绘制 68
"m):Y;9iQ? 4.11.3 动态绘图 68
L]|gZ&^ 4.11.4 3D绘图 69
/aCc17>2V{ 4.12 导入和导出 73
#Qw0&kM7I 4.12.1 剪贴板 73
^'MT0j 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
olB.*#gA 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
+%z>H"J. 4.13 背景 77
kM l+yli3c 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
tn\yI!a 4.15 生成Rugate 84
Pjf"CW+A 4.16 参考文献 91
f3l&3hC 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
@Rze|
T. 5.1 Jobs 92
d UE,U= 5.2 创建一个新Job(工作) 93
0(}t8lc 5.3 输入材料 94
e-/&$Qq 5.4 设计数据文件夹 95
)th<,Lo3# 5.5 默认设计 95
20h}
[Q( 6 细化和合成 97
4/~E4"8 6.1 优化介绍 97
AEI>\Y 6.2 细化 (Refinement) 98
H064BM 6.3 合成 (Synthesis) 100
'T;P;:!\ 6.4 目标和评价函数 101
79rD7D&g 6.4.1 目标输入 102
IxN9&xa 6.4.2 目标 103
kOrZv,qFG[ 6.4.3 特殊的评价函数 104
wYXQlxd y 6.5 层锁定和连接 104
un"Gozmt5 6.6 细化技术 104
a#(?P.6 6.6.1 单纯形 105
B N5[,J 6.6.1.1 单纯形
参数 106
w>&aEv/f 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
HXC ;Np 6.6.2.1 Optimac参数 108
|*eZD-f 6.6.3 模拟退火算法 109
`,*3[ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
m]0;"jeL 6.6.4 共轭梯度 111
1p3z1_wrs 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
y3Qsv 6.6.5 拟牛顿法 112
hp50J 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
ea2ayT 6.6.6 针合成 113
u(.e8~s8 6.6.6.1 针合成参数 114
,5p(T_V/ 6.6.7 差分进化 114
%g$o/A$ 6.6.8非局部细化 115
,Ks8*;#r 6.6.8.1非局部细化参数 115
uk:(pZ-uJ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
nsC3 6.7.1 细化 116
/N10
6.7.2 合成 117
i v38p%Zm 6.8 参考文献 117
epe)a 7 导纳图及其他工具 118
l}|%5.5- 7.1 简介 118
/ &5,3rU.G 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
SYJD?&C; 7.2.1 四分之一
波长规则 119
m4Qh%}9% 7.2.2 导纳图 120
V#$RR!X' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
h
0Q5-EA 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
{*" |#6- 7.5 斜入射导纳图 141
Xza(k 7.6 对称周期 141
7hcYD!DS 7.7 参考文献 142
f|c{5$N! 8 典型的镀膜实例 143
9ULQrq$? 8.1 单层抗反射薄膜 145
,AFu C< 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
g}{aZ$sta 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
:J@gmY:C 8.4 W-膜层 148
R4cM%l_#W 8.5 V-膜层 149
bl;1i@Z*M 8.6 V-膜层高折射基底 150
=z69e%. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
n0 {i&[I~+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
6,"Q=9k4[ 8.9 四层抗反射薄膜 153
B%b4v 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
L|xbR#v 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
-<!NXm|kvz 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
YnAm{YyI 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
nh>vixe 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
DV-d(@`K 8.15十五层宽带抗反射膜 159
\'D0'\:vz 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
*Kgks 4 8.17 1/4波长堆栈 162
t\,PB{P:J 8.18 陷波滤波器 163
=s2*H8] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
,!y$qVg'\f 8.20 褶皱 165
Y"aJur=` 8.21 消偏振分光器1 169
S`0(*A[W* 8.22 消偏振分光器2 171
& l&:`nsJ 8.23 消偏振立体分光器 172
q,|j]+9q 8.24 消偏振截止滤光片 173
9}<ile7^ 8.25 立体偏振分束器1 174
+gtbcF@rx 8.26 立方偏振分束器2 177
JIOR4' 9 8.27 相位延迟器 178
pJ"qu,w 8.28 红外截止器 179
] 72`}; 8.29 21层长波带通滤波器 180
[EXs 8.30 49层长波带通滤波器 181
Ckuh:bs 8.31 55层短波带通滤波器 182
6j]0R*B7`Q 8.32 47 红外截止器 183
u cW-I;" 8.33 宽带通滤波器 184
[!#L6&:a8 8.34 诱导透射滤波器 186
6iE<T&$3P 8.35 诱导透射滤波器2 188
X *"i6* 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
xy[3u?,&s! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
u?(d gJ 8.35 增益平坦滤波器 193
Vaw+.sG`AP 8.38 啁啾反射镜 1 196
9vc2VB$ 8.39 啁啾反射镜2 198
k9 I%PH 8.40 啁啾反射镜3 199
G@X% +$I 8.41 带保护层的铝膜层 200
K;H&n1 8.42 增加铝反射率膜 201
+.FEq*V 8.43 参考文献 202
L48_96 9 多层膜 204
D8?Vn" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
!``,gExH 9.2 内部透过率 204
{Gk1vcq 9.3 内部透射率数据 205
T_5H&;a 9.4 实例 206
YZ8>OwQz2 9.5 实例2 210
eJX9_6m- 9.6 圆锥和带宽计算 212
^A&1^B 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
yjJ5>cg 10 光学薄膜的颜色 216
Vv=. -&' 10.1 导言 216
y/7\?qfTk 10.2 色彩 216
4p;`C 10.3 主波长和纯度 220
_8UU'1d 10.4 色相和纯度 221
vr6w^&[c^ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
\V~eVf;~ 10.6 色差 226
p6Gy,C. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
wc4{)qDE 10.8 颜色渲染指数 234
`l[c_%Bm 10.9 色差计算 235
3;{kJQ 10.10 参考文献 236
bwMm#f
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
;$wVu|& 11.1 短脉冲 238
m&,(Jla 11.2 群速度 239
Z=o2H Bm7 11.3 群速度色散 241
z$. 88^ 11.4 啁啾(chirped) 245
qfm|@v|De5 11.5 光学薄膜—相变 245
y?? XIsF 11.6 群延迟和延迟色散 246
WP'!*[z 11.7 色度色散 246
YPk fx 11.8 色散补偿 249
dkTX 11.9 空间
光线偏移 256
+\
.Lp 5 11.10 参考文献 258
}|NCboM^_ 12 公差与误差 260
bK&+5t& 12.1 蒙特卡罗模型 260
WW~sNC\3`( 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
o3P${Rq 12.2.1 误差工具 267
Ai3*QX 12.2.2 灵敏度工具 271
[ sjosV 12.2.2.1 独立灵敏度 271
`b7t4d* 12.2.2.2 灵敏度分布 275
+iRh 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
{_p_%; 12.3 参考文献 276
( ^Nz9{ 13 Runsheet 与Simulator 277
=m#?neop 13.1 原理介绍 277
]&+s6{} 13.2 截止滤光片设计 277
]Q)OL 14 光学常数提取 289
=dYqS[kJW 14.1 介绍 289
c,+:i1IAy 14.2 电介质薄膜 289
JP[K;/ 14.3 n 和k 的提取工具 295
/t$d\b17pX 14.4 基底的参数提取 302
h
J)h\ 14.5 金属的参数提取 306
JU&c.p
/ 14.6 不正确的模型 306
)zdQ1&@ 14.7 参考文献 311
w%jII{@, 15 反演工程 313
00~mOK;1 15.1 随机性和
系统性 313
^8N}9a 15.2 常见的系统性问题 314
Y&Z.2