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摘要 tL&_@PD)3 lBn<\Y!^ 干涉测量是一种光学计量的重要技术。 它被广泛应用于表面轮廓,缺陷,机械和高精度热变形等领域的测量。 作为一个典型的例程,在非序列场追迹的帮助下,我们在VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-曾德尔干涉仪,本案例清楚地展示了光学元件的倾斜和移位对干涉条纹图案的影响。 H94_a e C&F%
j. < 建模任务 q2k}bb + /&?ei*z 2C0j.Ib 元件倾斜引起的干涉条纹 [3irr0D7l Pf8_6 z_ ,>g(%3C 元件移位引起的干涉条纹 JAW7Y:XB jKP75jm
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