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摘 要 R$X1Q/#md =o^oMn 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 zPEx;lO$ xQ\/6| 建模任务 /.9j$iK# X|^E+
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I:CnOpR>A ~KHGh29 倾斜平面下的观测条纹 _)
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De%WT:v 圆柱面下的观测条纹 ];i-d7C r1b{G%;mJ
,l^; ZE bO]^TRaiJ 球面下的观测条纹 Pz7{dQqjk# :IlRn`9X` vh 5`R/<3 Kmc*z (Q VirtualLab Fusion 视窗 7nM]E_ va F^[/
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