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摘 要 GSRf/::I}4 sNx_9pJs4 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 RZxh"lIo I q|'#hs 建模任务 .M:&Aj)x16 @|(cr: (=H
H{=]94 c%5P|R~g]p 倾斜平面下的观测条纹 DQ0S]:tC [lIX&!T"
vL _yM /5E0'y,|P 圆柱面下的观测条纹 N@PuC> 5 51_;,t
?u2\*@C ">7xSWR*4 球面下的观测条纹 7z$53z EF&CV{Sw ubB1a_7 k:n{AoUc
VirtualLab Fusion 视窗 F+Kju2 -$!r+4|q yPmo1|'X>d X#T|.mCdC VirtualLab Fusion 流程 nOyG7: @~gPZm
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