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摘 要 z)y(31K<1 p~;z"Z 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 :;u]Y7 ej53O/hP 建模任务 5<8>G?Y 1ZW'PXUZ
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J@i7FOb 倾斜平面下的观测条纹 90696v. N<r0I-
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O.f3 (e! sWzXl~JbF 球面下的观测条纹 DQXx}%Px U1tPw`0h !b8|{#qh. j|8{Vyqd VirtualLab Fusion 视窗 aL6 5t\2 7#*CWh1BNO 05zdy-Fb <.XoC?j VirtualLab Fusion 流程 fBh|:2u U.} =j'Us+
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