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摘 要 g}IdU;X$NT y?<[g;MuT 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 UT [7 J PB4E_0}h 建模任务 E!Hq%L!/ ADA%$NhJ!
O;f^'N JWy$` "{ 倾斜平面下的观测条纹 ?+GbPG~ 93x.b]]"
u1`8f]qt KoiU\r 圆柱面下的观测条纹
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|`s}PcV NmST1pMk 球面下的观测条纹 9 f-T>} aRq7x~j
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