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摘 要 k;Ny%%5 'frL/[S 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 !6fpMo :
1f 5;]%N 建模任务 r
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lO[jf6gB ,I:m*.q 倾斜平面下的观测条纹 @Y<ZT;J CFrHNU
Tk|;5^#H Rb>RjHo S 圆柱面下的观测条纹 vgbjvyfN ~b<4>"7y.
1AEVZ@(j7 aD3F!Sn 球面下的观测条纹 VNEZBy"F [ BC%$Sj |>fS"u YM/3VD VirtualLab Fusion 视窗 t>|N4o KJ{F,fr+v YKxA2`3v% $iz pH VirtualLab Fusion 流程 byxehJ6[V o0+BQ&A)s*
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