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摘 要 ir@N>_ CJ}@R.Zy 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 J++sTQ(!? }<\65 B$1 建模任务 =qS^Wz. WkDn $Va]vC8? :_~PU$%0 倾斜平面下的观测条纹 4M0v1`k G7_"^r%c9; [#Nx>RY ,$6MM6W;-F 圆柱面下的观测条纹 *v:,rh P2
K>|r jC/JiI m|ERf 2- 球面下的观测条纹 /H;kYx @8<uAu% VI|DMx
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