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摘 要 %-C 78'HE(* 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 aKi&2>c5> d&mSoPf 建模任务 q1C) *8*g |ymw])L
8}9B*m ~dkN`1$v 倾斜平面下的观测条纹 R%7*
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Z)=S. ) ')]K& 圆柱面下的观测条纹 ~zdHJ8tYp )3h%2C1uM
XN+~g.0 FdrH, 球面下的观测条纹 5LJUD>f9Z Mf [v 7\
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