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yzhuang:控制软件PID参数调整一下,一般是可以恒压的,当然,如果放气量很不稳定也可能导致控制失败 S/<"RfVU#o (2024-09-20 09:09) [RPAkp
度魔银:1.手动融料重复性不好 !q$&JZY 2镀膜机真空度是否有漏气现象 En,)}yI 3.充氧控制改固定参数 0i*'N ch#i 4.真空计污染导致真空不准确 (2024-09-20 09:54) RJRq` T|m
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ouyuu:真空计和冲氧口的位置和距离很重要,如果压力周期性波动的话,就调整真空计位置。 wVgi+P 但是现在看来好像是冲氧的压控问题。 RVc)") hQj 真空计一般是用电压信号,要保证压控仪和真空计用的电压定义是一样的。 [AXsnpa/C 另外要排除信号干扰,如果真空信号受干扰了,那么肯定无法稳定的进行控制。 XnBm`vk?V! 最后一个应 .. (2024-10-22 22:50) w$gSj/