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ouyuu:真空计和冲氧口的位置和距离很重要,如果压力周期性波动的话,就调整真空计位置。 6.'$EtH 但是现在看来好像是冲氧的压控问题。 b@6:1x 真空计一般是用电压信号,要保证压控仪和真空计用的电压定义是一样的。 |{f~Ks% 另外要排除信号干扰,如果真空信号受干扰了,那么肯定无法稳定的进行控制。 (B:uc_+ 最后一个应 .. (2024-10-22 22:50) o8{<qn|
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度魔银:1.手动融料重复性不好 <xlm K( 2镀膜机真空度是否有漏气现象 |ym%| B 3.充氧控制改固定参数 *]x_,:R6Ow 4.真空计污染导致真空不准确 (2024-09-20 09:54) YqU/\f+
yzhuang:控制软件PID参数调整一下,一般是可以恒压的,当然,如果放气量很不稳定也可能导致控制失败 2c:f<>r0y (2024-09-20 09:09) \9/1L?@
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