摘要 ? RID4xu! 5M#LO@U Eg_ram`\R 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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HEAQ 任务 (~?p`g+I.P • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
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CPA! • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
RVh{wg Ed1y%mR> 3yLJWHO%W 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 PeJIa
%iE 连接建模技术:衍射光束分束器 SL`nt
5p~hUP]tT R|]n;*y 通过配置助手和IFTA进行相位设计 se29IhS!e 2~%^y6lR kTm}VTr
1 将传输函数转化为结构 z2 mjm R#W=*cN 7Q?^wx 衍射光束分束器表面 j7J'd?l lLS7K8;4W f%rZ2h) 衍射光束求解器 - TEA & FMM rXq{WS` y N,grU( wQ81wfr1: 光栅级数 & 可编程光栅分析器 =G`g-E2 !gJw?(8" H4<Q}([w 设计与评估结果:
wv^n# • 相位函数设计
m"wP]OQH*+ • 结构设计
!i\ gCLg2_ • TEA 评估
VPb8dv(a3 • FMM 评估
XfN(7d0 • 高度缩放检查(用于优化/容限)
gKtgW&PYm ]D,\(| 仅相位传输设计 mB"1QtD }ldpudU DTHWL 结构设计 z#2n+hwE s%1ZraMvJ \r"gqv)^ 使用TEA进行性能评估 zpZfsn! 0e1-ZP CDj ]`M2Kwp 使用FMM进行性能评估 Q"H/RMo- `UTUrM /y(0GP4A 进一步的分析(优化后,容差分析) tTWEhHQ`
=Q*3\)7 I+
Y{_yw"f 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .h(iyCxP lX"6m}~D ^!gq_x 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ABcB-V4 `\f 3Ij, ?hViOh$. 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 M{4XNE]m