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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 ? RI D4xu!  
    5M#L O@U  
       E g_ram`\R  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ~6#O5plKc  
    be HEAQ  
    任务 (~?p`g+I.P  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ZtX CPA!  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 RVh{wg  
    Ed1y%mR>  
    3yLJWHO%W  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 PeJIa %iE  
    连接建模技术:衍射光束分束器 SL`nt  
      
    5p~hUP]tT  
    R|]n;*y  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 se29IhS!e  
    2~%^ y6lR  
    kTm}VTr 1  
    将传输函数转化为结构 z2 mjm  
    R#W=*cN  
    7Q?^wx  
    衍射光束分束器表面 j7J'd?l  
    lLS7K8;4W  
    f%rZ2h)  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM rXq{WS`  
    y N,grU(  
    wQ81wfr1:  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 =G`g-E2  
    !gJw?(8"  
    H4<Q}([w  
    设计与评估结果 wv ^n#  
    • 相位函数设计 m"wP]OQH*+  
    • 结构设计 !i\ gCLg2_  
    • TEA 评估 VPb8dv(a3  
    • FMM 评估 XfN(7d0  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) gKtgW&PYm  
    ]D,\(|  
    仅相位传输设计 mB"1QtD  
    }ldpudU  
    D THWL  
    结构设计 z#2n+hwE  
    s%1Z raMvJ  
    \r"gqv)^  
    使用TEA进行性能评估 zpZfsn!  
    0e1-ZP CDj  
    ]`M2Kwp  
    使用FMM进行性能评估 Q"H/RMo-  
    `UT UrM  
    /y(0GP4A  
    进一步的分析(优化后,容差分析) tTWEhHQ`  
    =Q*3\ )7  
    I+ Y{_yw"f  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .h(iyCxP  
    lX"6m}~D  
    ^!gq_x  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ABcB-V4  
    `\f 3Ij,  
    ?hViOh$.  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 M{4XNE]m  
     
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