摘要 2 xw6 5z %+ZJhHT &R~ n>>c 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
|^28\sm2e Kb =@ =Xta 任务 /~4 "No@ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
8G>>i)Sbg • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
b;|55Y &rDM<pO #- Y^%T}yTtq 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 `[zQf 连接建模技术：衍射光束分束器 pf4 ^Bk}e 
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#zc4U ：
K.g Ej*@ • 相位函数设计
*%Qn{x • 结构设计
n6F/Ac: • TEA 评估
C1T_9}L-A • FMM 评估
!~_zm*CqbZ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
}0,>2TTDN D+lzFn$3 仅相位传输设计 K!D
o8| hP J4Oj1O )o!XWh 结构设计 wPbkUVO H1!iP$1#V T+LJ* I 4 使用TEA进行性能评估 .@ iFa3 p}Fs'l?7Rq i`
A 使用FMM进行性能评估 =TR,~8Z| L.6WiVP) ># +IaKL7 进一步的分析（优化后，容差分析） 4Z[V uQng 
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