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{{ 1qkG9$ 内容简介 [a#*%H{OC Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 H<*n5r(c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &mba{O 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 >GDf*
ox[ ~UwqQD1p 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 m9ky?A, 目录 a,xy38T< Preface 1 8&7zV:= 内容简介 2 +a+DiD>./ 目录 i uPb. uG 1 引言 1 P
qa;fiJ) 2 光学薄膜基础 2 dZCjg0cx 2.1 一般规则 2 "(p&Oz 2.2 正交入射规则 3 R{9G$b1Due 2.3 斜入射规则 6 rFW,x_*_vP 2.4 精确计算 7 YgQb(umK 2.5 相干性 8 T4;gF6(0] 2.6 参考文献 10 U6YQ*%mZ_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 d(, M 4 Essential Macleod的特点 32 X09i+/ICK 4.1 容量和局限性 33 Se!B,'C% 4.2 程序在哪里? 33 Z..s /K{ 4.3 数据文件 35 V$ "]f6 4.4 设计规则 35 MX|@x~9W 4.5 材料数据库和资料库 37 y*-D 4.5.1材料损失 38 jZ<f-Ff0 4.5.1材料数据库和导入材料 39 c:-n0m'i 4.5.2 材料库 41 2KNs,4X@ 4.5.3导出材料数据 43 \"+}-!wr 4.6 常用单位 43 z'Ut9u 4.7 插值和外推法 46 u X(#+ 4.8 材料数据的平滑 50 M1K[6V! 4.9 更多光学常数模型 54 ZP<OyX? 4.10 文档的一般编辑规则 55 $KsB'BZy 4.11 撤销和重做 56 CmtDfE 4.12 设计文档 57 R`%O=S*] 4.10.1 公式 58 Tqx 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ]ia{N 4.10.3 沉积密度 59 uAV-wc 4.10.4 平行和楔形介质 60 Ro#O{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 p<Vj<6.=? 4.10.4 性能 61 dF+:9iiAm 4.10.5 保存设计和性能 64 t<SCrLbz 4.10.6 默认设计 64 z+j3j2 4.11 图表 64 2&2t8.< 4.11.1 合并曲线图 67 +
$Lc'G+: 4.11.2 自适应绘制 68 n7bML?f' 4.11.3 动态绘图 68 /,+&O#SX 4.11.4 3D绘图 69 odTIz{9qG 4.12 导入和导出 73 0He^r
&c3 4.12.1 剪贴板 73 Qt=OiKZ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ^:ehG9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 %p^`,b} 4.13 背景 77 -8sB\E 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 c,5yH 4.15 生成Rugate 84 F7`[r9 $ 4.16 参考文献 91 Ne}x(uRn 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \WM"VT 5.1 Jobs 92 D|/
4),v 5.2 创建一个新Job(工作) 93 q]gF[&QZ 5.3 输入材料 94 %5<Xa 5.4 设计数据文件夹 95 vk3C&!M<a 5.5 默认设计 95 v<gve<] 6 细化和合成 97 f|{&Y2h(R 6.1 优化介绍 97 28lor&Cc 6.2 细化 (Refinement) 98 ^dKtUH/78G 6.3 合成 (Synthesis) 100 W<Asr@ 6.4 目标和评价函数 101 wU&vkb)k 6.4.1 目标输入 102 *YP;HL 6.4.2 目标 103 @E?o~jO(e 6.4.3 特殊的评价函数 104 ]J.|XRp/ 6.5 层锁定和连接 104 77%I%<# 6.6 细化技术 104 OJ<V<=MYZ 6.6.1 单纯形 105 {br6* 6.6.1.1 单纯形参数 106 TL: 6Pe 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 G]gc*\4 6.6.2.1 Optimac参数 108 OsgjSJrf 6.6.3 模拟退火算法 109 {0\9HI@ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ZY8:7Q@P> 6.6.4 共轭梯度 111 _O`s;oc 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @}_Wl<kn 6.6.5 拟牛顿法 112 {A{sRT=% 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 D8)6yPwE 6.6.6 针合成 113 LDj*~\vsq 6.6.6.1 针合成参数 114 8]l(D 6.6.7 差分进化 114 @gjA8mL 6.6.8非局部细化 115 "IRF^1 p 6.6.8.1非局部细化参数 115 {w<"jw&2 6.7 我应该使用哪种技术? 116 x+W,P 6.7.1 细化 116 :+meaxbu 6.7.2 合成 117 ed$w5dv 6.8 参考文献 117 x\K,@ 7 导纳图及其他工具 118 [(Ihu e 7.1 简介 118 f_| =EQ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Pr#uV3\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 uS5ADh 7.2.2 导纳图 120 N$<R6DU]K 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 1( rN 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 U,Z7nH3_ 7.5 斜入射导纳图 141 4Xe8j55 7.6 对称周期 141 75H;6(7 7.7 参考文献 142 |}wT/3>\ 8 典型的镀膜实例 143 Nt7z
]F ` 8.1 单层抗反射薄膜 145 0G(|`xG1q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?~tx@k$;Es 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ?I;PJj 8.4 W-膜层 148 TECp!`)j" 8.5 V-膜层 149 3?<LWrhV3 8.6 V-膜层高折射基底 150 }hS$F 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *)s^+F 0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 4z,/0 8.9 四层抗反射薄膜 153 F+<Z%KuCu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 }[SYWJIc 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;.3
{}.Y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 R#HX}[Hb 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ricL.[v9S 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 #S"s8wdD
8.15十五层宽带抗反射膜 159 Dao=2JB{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 =JN{j2xY 8.17 1/4波长堆栈 162 lec3rv0) 8.18 陷波滤波器 163 H}gp`YW:4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;e6-* 8.20 褶皱 165 _a zJ> 8.21 消偏振分光器1 169 G$;cA:p-j 8.22 消偏振分光器2 171 \hg%J/ 8.23 消偏振立体分光器 172 &A~hM[- 8.24 消偏振截止滤光片 173 O[ F 8.25 立体偏振分束器1 174 W:O p\ 8.26 立方偏振分束器2 177 M# cJ&+rP 8.27 相位延迟器 178 \W7pSV-U 8.28 红外截止器 179 %#E$wz 8.29 21层长波带通滤波器 180 >FqU=Q 8.30 49层长波带通滤波器 181 h8icF}m 8.31 55层短波带通滤波器 182 #q6#nfi" 8.32 47 红外截止器 183 )Kq@ m1>@ 8.33 宽带通滤波器 184 HSEz20s 8.34 诱导透射滤波器 186 ku
GaOO
8.35 诱导透射滤波器2 188 iKG," 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ,6SzW+L7 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 x@tI 8.35 增益平坦滤波器 193 X~Hm.qIR 8.38 啁啾反射镜 1 196 3;3 cTXR?= 8.39 啁啾反射镜2 198 D&G^|: G 8.40 啁啾反射镜3 199 Zm6|aHx8v 8.41 带保护层的铝膜层 200
7MQxW<0 8.42 增加铝反射率膜 201 %$67*pY'JH 8.43 参考文献 202 `bF4/iBW 9 多层膜 204 $J#Z`%B^y 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 XT1P.
w[aA 9.2 内部透过率 204
I!T=$Um 9.3 内部透射率数据 205 =ba1::18 9.4 实例 206 mQ2=t% 9.5 实例2 210 12tk$FcY8* 9.6 圆锥和带宽计算 212 l YpoS 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 gi$ 'x^]# 10 光学薄膜的颜色 216 /q)
H0b 10.1 导言 216 Cng_*\=O 10.2 色彩 216 4<Kxo\\S 10.3 主波长和纯度 220 FmgMd)# 10.4 色相和纯度 221 WAJKP" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jtgj h\Nt 10.6 色差 226 S}qGf%
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 HQMug 10.8 颜色渲染指数 234 3rX40>Cs8 10.9 色差计算 235 f6 s .xQ 10.10 参考文献 236 GU]kgwSfi 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 I8k+Rk* 11.1 短脉冲 238 6VLo4bq 5
11.2 群速度 239 LuVL<W 11.3 群速度色散 241 j{6O:d6([$ 11.4 啁啾(chirped) 245 ll*Ez"
11.5 光学薄膜—相变 245 V>c !V9w 11.6 群延迟和延迟色散 246 yw{r:fy 11.7 色度色散 246 bmJdZD7-<k 11.8 色散补偿 249 eOx8D|^W 11.9 空间光线偏移 256 =]1cVnPI 11.10 参考文献 258 V!NRBXg 12 公差与误差 260 e$E>6Ngsr 12.1 蒙特卡罗模型 260 m[Mw2 F 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7MsJ*En 12.2.1 误差工具 267 a*uG^~
). 12.2.2 灵敏度工具 271 =MwR)CI# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 aLlHR_ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 z<gII~% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Rln\ 12.3 参考文献 276 4j(`koX_ 13 Runsheet 与Simulator 277 PbFbihg 13.1 原理介绍 277 @^GI :z 13.2 截止滤光片设计 277 <k{_YRB 14 光学常数提取 289 @U@O#+d'ZR 14.1 介绍 289 '*^9'= 14.2 电介质薄膜 289 JL>DRIR%NV 14.3 n 和k 的提取工具 295 N%%trlDXD 14.4 基底的参数提取 302 E6M*o+Y 14.5 金属的参数提取 306 8,(--A 14.6 不正确的模型 306 M{SJ8+G 14.7 参考文献 311 3#y`6e=5 15 反演工程 313 E<7$!P=z` 15.1 随机性和系统性 313 =`UFg>- 15.2 常见的系统性问题 314 *X^C+F 15.3 单层膜 314 +O^} t 15.4 多层膜 314 Gte\=0Wr 15.5 含义 319 Ihv@2{*(b 15.6 反演工程实例 319 D
!{e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 CeM%?fr5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 }pGjc_:'] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 q(A_k+NL 16.1 光学性质的热致偏移 329 uc}F|O 16.2 应力工具 335 )0g!lCfb 16.3 均匀性误差 339 + R~!G 16.3.1 圆锥工具 339 *Uy;P>8 16.3.2 波前问题 341 RxNLn/?d@ 16.4 参考文献 343 DQ9aq.; 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 o-JB,^TE 17.1 引言 345 {?"X\5n0 17.2 操作数 345 L-9;"]d~| 18 如何在Function中编写脚本 351 (:\L@j 18.1 简介 351 1/&^~' 18.2 什么是脚本? 351 6ND*L0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 1Zi` \N4T 18.4 基础 352 @!}/$[hu1 18.4.1 Classes(类别) 352 c
*<m. 18.4.2 对象 352 KZa6*,,s 18.4.3 信息(Messages) 352 kUfb B#.5L 18.4.4 属性 352 sB$" mJ 18.4.5 方法 353 [j0jAl 18.4.6 变量声明 353 6']G HDK 18.5 创建对象 354 t=|}?lN< 18.5.1 创建对象函数 355 _~*j=XR s 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 72_+ b 18.5.3 丢弃对象 356 ydj*Jy' 18.5.4 总结 356 5NhAb$q2Y 18.6 脚本中的表格 357 S9ic4rcd 18.6.1 方法1 357 .v+W> 18.6.2 方法2 357 u J]uz% 18.7 2D Plots in Scripts 358 2.]d~\ 18.8 3D Plots in Scripts 359 3\{\ al 18.9 注释 360 s^4wn:*$zd 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 d|)ARRW 18.11 一个更高级的脚本 362 X*w;6 V 18.12 <esc>键 364
rixVIfVF 18.13 包含文件 365 OW@"j;6
3` 18.14 脚本被优化调用 366 Ye$;
d ~ 18.15 脚本中的对话框 368 wXZ9@(^ 18.15.1 介绍 368 gm=C0Sp? 18.15.2 消息框-MsgBox 368 yeBfzKI{b 18.15.3 输入框函数 370 ZS=;) 18.15.4 自定义对话框 371 ]6s/y 18.15.5 对话框编辑器 371 ,4 q^( 18.15.6 控制对话框 377 hJ8%r_ 18.15.7 更高级的对话框 380 NU+PG`Vb 18.16 Types语句 384 )X:Sfk 18.17 打开文件 385 BE],PCpPr 18.18 Bags 387 _HjB'XNr( 18.13 进一步研究 388 9I$}=&" 19 vStack 389 _a|g
> 19.1 vStack基本原理 389 ksOc,4A 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ?L H[,8z 19.3 五棱镜 393 r!w*y3 19.4 光束距离 396 cLvnLaA} 19.5 误差 399 *5?Qam3 19.6 二向分色棱镜 399 5|>ms)[RQ 19.7 偏振泄漏 404 uEG4^ 19.8 波前误差—相位 405 QMmZvz\^ 19.9 其它计算参数 405 }_}
20 报表生成器 406 L/,gD.h^ 20.1 入门 406 A f!`7l- 20.2 指令(Instructions) 406 #<U@SMv 20.3 页面布局指令 406 [O|c3; 20.4 常见的参数图和三维图 407 *uP;rUY 20.5 表格中的常见参数 408 fe"w--v 20.6 迭代指令 408 0NU3%
4? 20.7 报表模版 408 X+<9-]= 20.8 开始设计一个报表模版 409 \2#K { 21 一个新的project 413 p!)tA 21.1 创建一个新Job 414 Ag*?>I 21.2 默认设计 415 cxvO,8NiB 21.3 薄膜设计 416 rj4Mq:pJ 21.4 误差的灵敏度计算 420 O8N1gf;t 21.5 显色指数计算 422 i_+e&Bjd4j 21.6 电场分布 424 Z=;=9<vA 后记 426 qW|h"9sr 对此书有兴趣可以扫码加微联系 5dG+>7Iy}
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