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g6$X { 内容简介 `,4"[6S Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Y'-BKZv! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 !}^c.<38Q 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 6#On .Q vbmSbZ"y 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 B3u5EgZr 目录 *KF: Preface 1 59O;`y0 内容简介 2 GwV2`2 目录 i )+Wx!c,mb 1 引言 1 {j[[E/8N!y 2 光学薄膜基础 2 gk~.u 2.1 一般规则 2 vV-ATIf
^ 2.2 正交入射规则 3 B=#rp*vwL 2.3 斜入射规则 6 UXoaUW L 2.4 精确计算 7 'Zf_/y 2.5 相干性 8 *I`, L/ 2.6 参考文献 10 4aGV1u+4 3 Essential Macleod的快速预览 10 0]{h,W3]@[ 4 Essential Macleod的特点 32 ePK^v_vBD 4.1 容量和局限性 33 M~;mamTP 4.2 程序在哪里? 33 FZz\zp 4.3 数据文件 35 BD[XP`[{ 4.4 设计规则 35 RyC]4QyC 4.5 材料数据库和资料库 37 |&3m '"( 4.5.1材料损失 38 5[esW 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9zEO$<e o 4.5.2 材料库 41 "8J$7g@n@ 4.5.3导出材料数据 43 Gk*Mx6|N 4.6 常用单位 43 D|,d_W 4.7 插值和外推法 46 ($'rV!} 4.8 材料数据的平滑 50 9M:wUYHT 4.9 更多光学常数模型 54 oA}&o_Q% 4.10 文档的一般编辑规则 55 tQbDP!,A*= 4.11 撤销和重做 56 b{s_cOr/ 4.12 设计文档 57 g1JD8~a 4.10.1 公式 58 BS>|M}G)r 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 6 DD^h:*> 4.10.3 沉积密度 59 lz
EF^6I 4.10.4 平行和楔形介质 60 wt[MzpR P 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `&b8wF 4.10.4 性能 61 <)n1Z[4 4.10.5 保存设计和性能 64 -7*,}xV 4.10.6 默认设计 64 +,9I3Dq 4.11 图表 64 X3#|9 4.11.1 合并曲线图 67 s<H0ka@ 4.11.2 自适应绘制 68 ,(}7 ST 4.11.3 动态绘图 68 <w(UDZ 4.11.4 3D绘图 69 CtV$lXxup 4.12 导入和导出 73 Vc$x?= 4.12.1 剪贴板 73 Fd2Eq&:en$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 gfw,S; 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 XgP7
! 4.13 背景 77 Xz4!#,z/ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 m.EI("n"J 4.15 生成Rugate 84 >,Zjlkh3 4.16 参考文献 91 Aga2 I#1r 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 WmP"u7I4 5.1 Jobs 92 LpeQx\ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1Z6<W~,1OM 5.3 输入材料 94 v$s3f|Y 5.4 设计数据文件夹 95 !>Db 5.5 默认设计 95 o*eU0 6 细化和合成 97 )\l}i%L: 6.1 优化介绍 97 fySzZ 6.2 细化 (Refinement) 98 8n?qm96 6.3 合成 (Synthesis) 100 Dr$k6kZ}'U 6.4 目标和评价函数 101 d3_aFsQ 6.4.1 目标输入 102 !
pR&&uG 6.4.2 目标 103 )7Gm<r 6.4.3 特殊的评价函数 104 D3$PvX[f 6.5 层锁定和连接 104 )9 5&-Hs 6.6 细化技术 104 kjfZ*V=- 6.6.1 单纯形 105 &Vg+n0 6.6.1.1 单纯形参数 106 4 FW~Y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 hU3c;6]3 6.6.2.1 Optimac参数 108 h^D?G2O 6.6.3 模拟退火算法 109 fAm^-uq[ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 SGre[+m~m 6.6.4 共轭梯度 111 G`9Ud 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !JzM<hyg3 6.6.5 拟牛顿法 112 qxf!]jm 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #Gx%PQ` 6.6.6 针合成 113 w&hgJ 6.6.6.1 针合成参数 114 @AaM]?=P{ 6.6.7 差分进化 114 F$ShhZgi 6.6.8非局部细化 115 CeSr~Ikg| 6.6.8.1非局部细化参数 115 ci0)kxUBF 6.7 我应该使用哪种技术? 116 vm"LPwSk> 6.7.1 细化 116 %%)"W
n#` 6.7.2 合成 117 ~ P"@^cq 6.8 参考文献 117 f5"1WtB 7 导纳图及其他工具 118 ^90';ACFy 7.1 简介 118 \ ,ARYwd 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 E^rKS&P 7.2.1 四分之一波长规则 119 %i{Z@ 7.2.2 导纳图 120 P}29wr IZ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )=;GQ*<8Zs 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ztTj2M" 7.5 斜入射导纳图 141 ?1*Ka 7.6 对称周期 141 d00#;R 7.7 参考文献 142 Oq@+/UWX 8 典型的镀膜实例 143 7DDd1"jE 8.1 单层抗反射薄膜 145 }(A`aB_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ukpbx;O:hc 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 "3.v(GVr 8.4 W-膜层 148 >h1 3i@`r 8.5 V-膜层 149 XLb
lVi@ 8.6 V-膜层高折射基底 150 83K)j"!<X 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 4l7TrCB 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 k\BJs@- 8.9 四层抗反射薄膜 153 g = ~Y\$& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 \(2w/~ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 dv-L!C 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^MIF+/bQ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 cWjb149@) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7rQwn2XD{ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =!)Ye:\Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 u^|c_5J( 8.17 1/4波长堆栈 162 uNCM,J!#~ 8.18 陷波滤波器 163 ">cLPXX 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 3n;>k9{ 8.20 褶皱 165 uzg(C#sp 8.21 消偏振分光器1 169 3.+TM]RYN 8.22 消偏振分光器2 171 5{Q5?M] 8.23 消偏振立体分光器 172 })W9=xO~ 8.24 消偏振截止滤光片 173 V5:ad 8.25 立体偏振分束器1 174 2 j.6 8.26 立方偏振分束器2 177 8C]K36q 8.27 相位延迟器 178 'L?e)u. 8.28 红外截止器 179 /By:S/[1pL 8.29 21层长波带通滤波器 180 X)oxNxZ[A 8.30 49层长波带通滤波器 181 &H8wYs 8.31 55层短波带通滤波器 182 WX
.Ax$fT 8.32 47 红外截止器 183 ]H|O 8.33 宽带通滤波器 184 c?5?TJpm 8.34 诱导透射滤波器 186 uN>JX/- 8.35 诱导透射滤波器2 188 cq]JD6937 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 p3r("\Za, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 aItQ(+y 8.35 增益平坦滤波器 193 '
`
_TFTO 8.38 啁啾反射镜 1 196
hr$Wt?B 8.39 啁啾反射镜2 198 3LGX ^J<f 8.40 啁啾反射镜3 199 fF6bEJl3 8.41 带保护层的铝膜层 200 '8%jA$o\g 8.42 增加铝反射率膜 201 OT0%p) 8.43 参考文献 202 Z$?(~ln 9 多层膜 204 Gyx4}pV 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (
jAC Lo 9.2 内部透过率 204 4>^LEp 9.3 内部透射率数据 205 !/nXEjW? 9.4 实例 206 37apOK4+ 9.5 实例2 210 "s-3226kj 9.6 圆锥和带宽计算 212 UE9RrfdN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 i;Dj16h 10 光学薄膜的颜色 216 Fn>KdoByN 10.1 导言 216 }1fi# 10.2 色彩 216 nTsKJX%\ 10.3 主波长和纯度 220 '9{`Czc(Gb 10.4 色相和纯度 221 +3uPHpMB- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 R
[ZY;g:p 10.6 色差 226 K|pg'VT" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 b?{MXJ| 10.8 颜色渲染指数 234 j,n\`7dD$ 10.9 色差计算 235 O22Q
g 10.10 参考文献 236 )ifjK6* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 "QD>m7 11.1 短脉冲 238 r[?GO"ej5 11.2 群速度 239 k5M5bH', 11.3 群速度色散 241 H;nEU@>"Z 11.4 啁啾(chirped) 245 *+OS;R1< 11.5 光学薄膜—相变 245 clG@]<a`_ 11.6 群延迟和延迟色散 246 {N3&JL5\"E 11.7 色度色散 246 azz=,^U# 11.8 色散补偿 249 J>l?HK 11.9 空间光线偏移 256 3daI_Nx> 11.10 参考文献 258 lArKfs/ 12 公差与误差 260 dI%?uk 12.1 蒙特卡罗模型 260 1=Z!ZY}}e 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 z$gtGrU 12.2.1 误差工具 267 t4iD<{4 12.2.2 灵敏度工具 271 cX!C/`ew> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 qk~m\U8r 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ;6eBfMhL 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /#WvC;B 12.3 参考文献 276 @(bg# 13 Runsheet 与Simulator 277 aFaioE#h( 13.1 原理介绍 277 _9g-D9 13.2 截止滤光片设计 277 hkb&]XWi[ 14 光学常数提取 289 -MRX@ a^1 14.1 介绍 289 JM1O7I 14.2 电介质薄膜 289 ,ZghV1z 14.3 n 和k 的提取工具 295 6hMKAk 14.4 基底的参数提取 302 2E8G5?qe) 14.5 金属的参数提取 306 @R-11wP)M 14.6 不正确的模型 306 [~PR\qm 14.7 参考文献 311 :YQI1 q[6 15 反演工程 313 lA%FS]vh 15.1 随机性和系统性 313 UX+vU@Co[ 15.2 常见的系统性问题 314 %x.du9 15.3 单层膜 314 VKkvf"X 15.4 多层膜 314 "OwK- 15.5 含义 319 j7U&a}( 15.6 反演工程实例 319 &wAVO_s 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Q 0G5<:wc 15.6.2 反演工程提取折射率 327 j]FK.G' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Gx
%=&O 16.1 光学性质的热致偏移 329 #dKy{Q3he 16.2 应力工具 335 &|j0GP& 16.3 均匀性误差 339 $ay!'MK0d 16.3.1 圆锥工具 339 s`ZP2"`f 16.3.2 波前问题 341 iciKjXJ: 16.4 参考文献 343 hxzA1s%~ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ,PmUl= 17.1 引言 345 3dSb!q0&N 17.2 操作数 345 )Gavjj&uJ 18 如何在Function中编写脚本 351 :hT.L3n, 18.1 简介 351 c<, LE@V 18.2 什么是脚本? 351 d<+hQ\BF, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 N8pV[\f 18.4 基础 352 ?2l`%l5( 18.4.1 Classes(类别) 352 }K8e(i6z 18.4.2 对象 352 Ui!l3_O 18.4.3 信息(Messages) 352 51JB,}dGH} 18.4.4 属性 352 aZ$5" 18.4.5 方法 353 ~Th,<w*o 18.4.6 变量声明 353 pU9.#O 18.5 创建对象 354 ;p2b^q' 18.5.1 创建对象函数 355 >{QO$F# 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 (BFwE@1" 18.5.3 丢弃对象 356 4e/!BGkAS 18.5.4 总结 356 UOsK(mB 18.6 脚本中的表格 357 DI8<0.L 18.6.1 方法1 357 q8&l%-d` 18.6.2 方法2 357 d|oO2yzWv 18.7 2D Plots in Scripts 358 4w~%MZA^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 A+!,{G 18.9 注释 360 =w}JAEE|(i 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,,BP}f+l$ 18.11 一个更高级的脚本 362 6F!B*lr 18.12 <esc>键 364 9Q^cE\j 18.13 包含文件 365 l_/(J)|a 18.14 脚本被优化调用 366 FLs$ 18.15 脚本中的对话框 368 f+Acs*.GQ 18.15.1 介绍 368 }^iqhUvT F 18.15.2 消息框-MsgBox 368 9sT5l"?g 18.15.3 输入框函数 370 S\h5
D2G; 18.15.4 自定义对话框 371 j{YYG| 18.15.5 对话框编辑器 371 ~x!up9 18.15.6 控制对话框 377 OtoM 18.15.7 更高级的对话框 380 vjS=ZinN" 18.16 Types语句 384 ;<N:! $p 18.17 打开文件 385 }rI:pp^KS 18.18 Bags 387 &}[P{53sr 18.13 进一步研究 388 'St6a* 19 vStack 389 =V]0G,,\ 19.1 vStack基本原理 389 n
Syq}Y3 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 r":anR( ; 19.3 五棱镜 393 pd#Sn+&rf 19.4 光束距离 396 i4,p\rE0 19.5 误差 399 F'b%D 19.6 二向分色棱镜 399 5gtf`ebs/ 19.7 偏振泄漏 404 Ac|\~w[\ 19.8 波前误差—相位 405 *9"x0bth 19.9 其它计算参数 405 o^vX\a?`u 20 报表生成器 406 Nw'03Jzx_ 20.1 入门 406 K\rQb 20.2 指令(Instructions) 406 A$3Rbn}" 20.3 页面布局指令 406 ;o3gR4u_L 20.4 常见的参数图和三维图 407 .a]#AFX 20.5 表格中的常见参数 408 q9_$&9 20.6 迭代指令 408 RC/ 3\' 20.7 报表模版 408 <-!1`@l> 20.8 开始设计一个报表模版 409 3y6\0|{1 21 一个新的project 413 ?:J_+?{E 21.1 创建一个新Job 414 ];LFv5" 21.2 默认设计 415 |g)C `k 21.3 薄膜设计 416 <;S$4tux 21.4 误差的灵敏度计算 420 #dj?^n g 21.5 显色指数计算 422 az6& 21.6 电场分布 424 7bzm5w@v 后记 426 NC%hsg^0/ 对此书有兴趣可以扫码加微联系 Z-Qp9G'
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