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4 内容简介 acae=c|X Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 xVTo4-[p 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 {*fUJmao" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 PW)8aLU pN+I]NgQ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 JZw^W{ 目录 oG\>-- Preface 1 |D+p$^L 内容简介 2 M:(&n@e 目录 i CjV7q y 1 引言 1 D-D# ` 2 光学薄膜基础 2 ==` Pb 2.1 一般规则 2 #G~wE*VR$ 2.2 正交入射规则 3 tWX7dspx/ 2.3 斜入射规则 6 i'iO H|s 2.4 精确计算 7 B!iFmkCy 2.5 相干性 8 9C=~1>S
2.6 参考文献 10 B
G5X_s0/ 3 Essential Macleod的快速预览 10 oN ;-M-( 4 Essential Macleod的特点 32 D}Au6 4.1 容量和局限性 33 Iu%^*K% 4.2 程序在哪里? 33 S*s:4uf 4.3 数据文件 35 1q`k}KMy 4.4 设计规则 35 AHWh}~Yi 4.5 材料数据库和资料库 37 BjB&[5?z 4.5.1材料损失 38 Lz?*B$h 4.5.1材料数据库和导入材料 39 1wlVz#f. 4.5.2 材料库 41 y:C)%cv}* 4.5.3导出材料数据 43 bl`D+/V 4.6 常用单位 43 Qxky^:B 4.7 插值和外推法 46 ?N`qLGRm 4.8 材料数据的平滑 50 '9"%@AFxZ 4.9 更多光学常数模型 54 3? }; 4.10 文档的一般编辑规则 55 ot0U-G( 4.11 撤销和重做 56 P*7S3Td 4.12 设计文档 57 @Jm.HST#S8 4.10.1 公式 58 yYM_lobn 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 F$[)Bd /" 4.10.3 沉积密度 59 3Qk/ Ll 4.10.4 平行和楔形介质 60 S7Znz@ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 brj[c>ID 4.10.4 性能 61 OgQntj:%lN 4.10.5 保存设计和性能 64 ovB=Zm 4.10.6 默认设计 64 Ca
X^) 4.11 图表 64 aDN.gMS 4.11.1 合并曲线图 67 .(JE-upJ" 4.11.2 自适应绘制 68 x
~wNO/ 4.11.3 动态绘图 68 b]"2VN 4.11.4 3D绘图 69 */4tJG1U 4.12 导入和导出 73 '!AT 4.12.1 剪贴板 73 }iMXXXBOT 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 xUIvLH= 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 [#IBYJ.6 4.13 背景 77 \zBd<H4S: 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 KM 5jl9Vv 4.15 生成Rugate 84 28ja-1dB 4.16 参考文献 91 Bj; [ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8>ESD}( 5.1 Jobs 92 '^e0Ud, 5.2 创建一个新Job(工作) 93 A0S8Dh$ 5.3 输入材料 94 Z>X9J(= 5.4 设计数据文件夹 95 _a fciyso 5.5 默认设计 95 Ndo}Tk! 6 细化和合成 97 eU`;L[ 6.1 优化介绍 97 gAj0ukX5 6.2 细化 (Refinement) 98 .#"1bRWpZ 6.3 合成 (Synthesis) 100 -!@H[" 6.4 目标和评价函数 101 @51z-T 6.4.1 目标输入 102 dr.**fGYde 6.4.2 目标 103 5QKRI)XpZ 6.4.3 特殊的评价函数 104 d8rBu jT 6.5 层锁定和连接 104 vz- 9<w;>a 6.6 细化技术 104 *U:VM'a 6.6.1 单纯形 105 F
~*zC`>Y 6.6.1.1 单纯形参数 106 aXQ&@BZ{j 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ?Y%}(3y 6.6.2.1 Optimac参数 108 J0&zb'1 6.6.3 模拟退火算法 109 3(MoXA* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 @8QFP3\1 6.6.4 共轭梯度 111 d:A\<F 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Yd[U 6.6.5 拟牛顿法 112 pi|\0lH6W 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 52da]BW< 6.6.6 针合成 113 bh{E&1sLh 6.6.6.1 针合成参数 114 f+{c1fb>s 6.6.7 差分进化 114 0Wjd-rzc, 6.6.8非局部细化 115 #c6ui0E%;t 6.6.8.1非局部细化参数 115 @mvIt 6.7 我应该使用哪种技术? 116 EV:_Kx8f P 6.7.1 细化 116 k&WUv0 6.7.2 合成 117 :8](&B68gE 6.8 参考文献 117 ?$UH9T9) 7 导纳图及其他工具 118 =s`XZkh 7.1 简介 118 AqKHjCI 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 NKRaQr 7.2.1 四分之一波长规则 119 c$@`P 7.2.2 导纳图 120 _TtX`b_Z 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 V+Y|4Y& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =n> iQS 7.5 斜入射导纳图 141 AmP#'U5 7.6 对称周期 141 =9kj?
u~
7.7 参考文献 142 W/#KX}4 8 典型的镀膜实例 143 f+*J
ue 8.1 单层抗反射薄膜 145 P
h9Hg' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 1[26w_B3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _Ngx$ 8.4 W-膜层 148 3"^a
rK^N 8.5 V-膜层 149 !x`;>0 8.6 V-膜层高折射基底 150 &mX5&e 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ^wvH,>Yo 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 :&xz5c`"04 8.9 四层抗反射薄膜 153 T+`xr0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Hlz'a1\:O] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;M%oQ>].[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 yTzY? 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 %M|Z}2qv 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 AM>Yj 8.15十五层宽带抗反射膜 159 lc\>DH\n6 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 i}.{m Et 8.17 1/4波长堆栈 162 it(LphB8 8.18 陷波滤波器 163 JoZqLy!@ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lt@ 8.20 褶皱 165 _<u8%\ 8.21 消偏振分光器1 169 LEYWH%y 8.22 消偏振分光器2 171 `'z(--J}` 8.23 消偏振立体分光器 172 *ah>-}- 8.24 消偏振截止滤光片 173 ( rA\_FOJ 8.25 立体偏振分束器1 174 2#>$%[ 8.26 立方偏振分束器2 177 *ge].E 8.27 相位延迟器 178 UN
cYu9[ 8.28 红外截止器 179 \[Sm2/9v 8.29 21层长波带通滤波器 180 FQ;4'B^k] 8.30 49层长波带通滤波器 181 ZA*b9W 8.31 55层短波带通滤波器 182 9oZ}
h& 8.32 47 红外截止器 183 8QkWgd7y 8.33 宽带通滤波器 184 )e4WAlg8c 8.34 诱导透射滤波器 186 J!21`M-Ue 8.35 诱导透射滤波器2 188 N&6_8=3z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 qZT 4+&y 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
`_NnQ% 8.35 增益平坦滤波器 193 /#S4espE 8.38 啁啾反射镜 1 196 nz,Mqol 8.39 啁啾反射镜2 198 ig2{lEkF 8.40 啁啾反射镜3 199 .V5q$5j 8.41 带保护层的铝膜层 200 $nUd\B$.= 8.42 增加铝反射率膜 201 8m#}S\m 8.43 参考文献 202 ,pQ'w7 9 多层膜 204 ?noETH z) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .){e7U6b{ 9.2 内部透过率 204 :zizca4 9.3 内部透射率数据 205 ({;P#qCX 9.4 实例 206 {:};(oz)f 9.5 实例2 210 mF6@Y[/B 9.6 圆锥和带宽计算 212 _&k'j)rg 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 O,F]\ 10 光学薄膜的颜色 216 `c qH}2s# 10.1 导言 216 9_M H 10.2 色彩 216 c,v^A+sZu 10.3 主波长和纯度 220 A}>|tm7| 10.4 色相和纯度 221 VxUvvJ{-v 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 5PPPd-'Z_ 10.6 色差 226 P#dG]NMf 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .u&&H_ UmE 10.8 颜色渲染指数 234 SQO>}#qm 10.9 色差计算 235 LY@1@O2@ 10.10 参考文献 236 ^@|<'g.R- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ..P=D <'f 11.1 短脉冲 238 x'E'jh% 11.2 群速度 239 rh:s
7 11.3 群速度色散 241 2]of SdM 11.4 啁啾(chirped) 245 8{}Pj 11.5 光学薄膜—相变 245 fWtb mUq 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?/`C~e<J 11.7 色度色散 246 p0}+071o% 11.8 色散补偿 249 zh#OD{ 11.9 空间光线偏移 256 ~6@c]: 11.10 参考文献 258 p^pQZ6- 12 公差与误差 260 Nt`F0
9S 12.1 蒙特卡罗模型 260 @1pW!AdN 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 &X#x9|=&O 12.2.1 误差工具 267 ;Zx K3/(7 12.2.2 灵敏度工具 271 (c|$+B^* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ({d,oU$>y 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }$&T
O$LX 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 p"hm.=, 12.3 参考文献 276 2 Ft0C2 13 Runsheet 与Simulator 277 bl:a&<F 13.1 原理介绍 277 eeI9[lTw 13.2 截止滤光片设计 277 (]zl$*k 14 光学常数提取 289 Xhq? 7P$3 14.1 介绍 289 sUyCAKebRr 14.2 电介质薄膜 289 wS F!Xx0 14.3 n 和k 的提取工具 295 7.lK$J: 14.4 基底的参数提取 302 G<">/_jn 14.5 金属的参数提取 306 d+YVyw.z 14.6 不正确的模型 306 )RAv[U1 14.7 参考文献 311 mR"2 15 反演工程 313 %T&&x2p^=? 15.1 随机性和系统性 313 ;3.T* ?|o 15.2 常见的系统性问题 314 ~n8Oyr 15.3 单层膜 314 nU?Xc(Xy 15.4 多层膜 314 WV,?Ge
15.5 含义 319 |*]X\UE 15.6 反演工程实例 319 J-eA,9J 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _-|yCo 15.6.2 反演工程提取折射率 327 xVHQ[I% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?vht~5' 16.1 光学性质的热致偏移 329 +h gaBJy 16.2 应力工具 335 Pq{YZMr 16.3 均匀性误差 339 9AVK_ 16.3.1 圆锥工具 339 DiGUxnP 16.3.2 波前问题 341 ^V XXq 16.4 参考文献 343 (04j4teE 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Kd`l[56# 17.1 引言 345 ~u?x{[ 17.2 操作数 345 A3
Rm0 18 如何在Function中编写脚本 351 W{$+mow7S 18.1 简介 351
FM;;x(sg 18.2 什么是脚本? 351 ~Me&cT8 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 6bRQL}[ 18.4 基础 352 *FLTz(T 18.4.1 Classes(类别) 352 Ybn=Gy 18.4.2 对象 352 {R1Cxt} 18.4.3 信息(Messages) 352 +X%fcoc 18.4.4 属性 352 ?VOs:sln 18.4.5 方法 353 $E4O^0%/p 18.4.6 变量声明 353 ',J%Mv>Yf 18.5 创建对象 354 0+2Matk>. 18.5.1 创建对象函数 355 @0/@p"j 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 6&OonYsP 18.5.3 丢弃对象 356 t;e]L'z@: 18.5.4 总结 356 L3G)?rPFC# 18.6 脚本中的表格 357 !cFE^VM_; 18.6.1 方法1 357 x
w?9W4< 18.6.2 方法2 357 a`h$lUb- 18.7 2D Plots in Scripts 358 g*w-"%"O 18.8 3D Plots in Scripts 359 ~qLhZR\g^ 18.9 注释 360 y?R <g^A 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 HZr/0I? 18.11 一个更高级的脚本 362 i*cE 18.12 <esc>键 364 qI V`zZc 18.13 包含文件 365 t#D\*:Xi 18.14 脚本被优化调用 366 k+m_L{#m5 18.15 脚本中的对话框 368 p-(ADQS 18.15.1 介绍 368 "` ?Wu 18.15.2 消息框-MsgBox 368 On96N| 18.15.3 输入框函数 370 ?w5nKpG#RI 18.15.4 自定义对话框 371 \ \mO+N47i 18.15.5 对话框编辑器 371 +DV6oh 18.15.6 控制对话框 377 `aWwF}
+Y 18.15.7 更高级的对话框 380 *V@MAt 18.16 Types语句 384 -)vp&- 18.17 打开文件 385 1^H<+0 18.18 Bags 387 DRmh(T 18.13 进一步研究 388 B|q3;P 19 vStack 389 GE3U0w6WbK 19.1 vStack基本原理 389 cwW~ *90# 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 nO.+&kA 19.3 五棱镜 393 Ci#5@Q9#w 19.4 光束距离 396 \%4+mgiD 19.5 误差 399 C;:1CK 19.6 二向分色棱镜 399 fPk9(X;G!p 19.7 偏振泄漏 404 aab4c^Ms= 19.8 波前误差—相位 405 ofrlTw&o 19.9 其它计算参数 405 U-]PWt?C{ 20 报表生成器 406 YDzF( ']o: 20.1 入门 406 . =foXN 20.2 指令(Instructions) 406 HI?~t|[y 20.3 页面布局指令 406 %Pvb>U(Xs 20.4 常见的参数图和三维图 407 U+}9X^ 20.5 表格中的常见参数 408 ]#7Y@Yo 20.6 迭代指令 408 :c/=fWM% 20.7 报表模版 408 my\oC^/9 20.8 开始设计一个报表模版 409 [@FeRIu8 21 一个新的project 413 wM&x8 < 21.1 创建一个新Job 414 N n-6/]d# 21.2 默认设计 415 fN%5D z-e 21.3 薄膜设计 416 >dC(~j{ 21.4 误差的灵敏度计算 420 xY}j8~k 21.5 显色指数计算 422 #pn AK 21.6 电场分布 424 b+j_EA_b 后记 426 o >4>7
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