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P1b'% 内容简介 n?\ nn3 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <Llp\XcZ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fP
tm0.r 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 S-31-Zjw L%v^s4@ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 .6O"|
Mqb 目录 v5;I]?72l~ Preface 1 {U
'd}Q 内容简介 2 W3vi@kb] 目录 i -[= drj9I 1 引言 1 8Y0"Cejq 2 光学薄膜基础 2 {mWui9 %M 2.1 一般规则 2 Ftw;Yz 2.2 正交入射规则 3 }R3=fbe,\ 2.3 斜入射规则 6 <R%;~) { 2.4 精确计算 7 Uie?9&3 2.5 相干性 8 %N;!+
;F_g 2.6 参考文献 10 *`j-i 3 Essential Macleod的快速预览 10 7&`}~$>}>e 4 Essential Macleod的特点 32 I -Xlx< 4.1 容量和局限性 33 A*./,KT 4.2 程序在哪里? 33 t
E` cau 4.3 数据文件 35 GV)<Q^9 4.4 设计规则 35 i{!T&8 4.5 材料数据库和资料库 37 ^mAYBOE 4.5.1材料损失 38 O8|5KpXd@ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 nf1#tlIJd 4.5.2 材料库 41 ZYf2XI(_" 4.5.3导出材料数据 43 2^t#6XBk/ 4.6 常用单位 43 7NC=*A~ 4.7 插值和外推法 46 {k4CEt; 4.8 材料数据的平滑 50 rC:?l(8ng3 4.9 更多光学常数模型 54 s[8@*/ds 4.10 文档的一般编辑规则 55 k>dsw : 4.11 撤销和重做 56 =n^!VXaL]] 4.12 设计文档 57 J7C4V'_ 4.10.1 公式 58 Qn ^bVhG+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <Dx]b*H 4.10.3 沉积密度 59 8 #ndFpu 4.10.4 平行和楔形介质 60 #j@71]GI 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5TBp'7 /s~ 4.10.4 性能 61 "MIq.@8ra 4.10.5 保存设计和性能 64 AamVms 4.10.6 默认设计 64 l5+gsEux] 4.11 图表 64 @fuM)B1" 4.11.1 合并曲线图 67 :K\mN/ x 4.11.2 自适应绘制 68 o!:8nXw 4.11.3 动态绘图 68 p8s:g~ W 4.11.4 3D绘图 69 Z/^ u 4.12 导入和导出 73 s>0Nr 4.12.1 剪贴板 73 5Z4-Z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 tbnH,* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Kj=b[e% 4.13 背景 77 0O k,oW{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 tBTTCwNT% 4.15 生成Rugate 84 DzQ1%! 4.16 参考文献 91 0l;<5 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _"4xKh) 5.1 Jobs 92 B?$ "\;& 5.2 创建一个新Job(工作) 93 b3wM;jv 5.3 输入材料 94 T[=S$n-' 5.4 设计数据文件夹 95 "O8gJ0e 5.5 默认设计 95 .I}:m%zv 6 细化和合成 97 sH[
-W- 6.1 优化介绍 97 _C\[DR0n 6.2 细化 (Refinement) 98 /6O??6g 6.3 合成 (Synthesis) 100 kE
TT4U 6.4 目标和评价函数 101 56l@a{ 6.4.1 目标输入 102 v(OBXa9 6.4.2 目标 103 y7KzW*>g: 6.4.3 特殊的评价函数 104 |[9?ma 6.5 层锁定和连接 104 #_mi `7!B# 6.6 细化技术 104 (M
=Y&M'f 6.6.1 单纯形 105 UD~p'^.m_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 fw oQ'& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 :';L/x> 6.6.2.1 Optimac参数 108 .qk]$LJF7 6.6.3 模拟退火算法 109 s:00yQ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 smG>sEp2 6.6.4 共轭梯度 111 x.1-)\ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Og;-B0,A 6.6.5 拟牛顿法 112 +.y
.Mp 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 r%DFve:% 6.6.6 针合成 113 RtG}h[k/X 6.6.6.1 针合成参数 114 ?^:h\C^a" 6.6.7 差分进化 114 vpPl$ga5bY 6.6.8非局部细化 115 M4ozTp<$O 6.6.8.1非局部细化参数 115 :b[`
v 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Wlh~) 6.7.1 细化 116 XPB9~:: 6.7.2 合成 117 oJKa"H-jL 6.8 参考文献 117 5>J=YLq 7 导纳图及其他工具 118 0?WcoPU 7.1 简介 118 [P|[vWO 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 WWT",gio 7.2.1 四分之一波长规则 119 c`x7u}C 7.2.2 导纳图 120 Ax oD8| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &h*S
y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 q_
=b<.; 7.5 斜入射导纳图 141 xUF_1hY 7.6 对称周期 141 ;X ,1I 7.7 参考文献 142
5-)#f? 8 典型的镀膜实例 143 tweY'x.{ 8.1 单层抗反射薄膜 145 iVB^,KQ@ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 UZ8?[ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 0iCPi)B 8.4 W-膜层 148 7=@jARW& 8.5 V-膜层 149 *`(
<'Z 8.6 V-膜层高折射基底 150 lCW8<g^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 co_oMc 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W~_t~Vg5 8.9 四层抗反射薄膜 153 2/,0iwj- 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 zU6a'tP 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 UEak^Mm;=2 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 3Q/#T1@ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 {f9{8-W<u 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 .s/fhk, 8.15十五层宽带抗反射膜 159 wPbkUVO 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 [6jbgW~E 8.17 1/4波长堆栈 162 =O|c-k,f@ 8.18 陷波滤波器 163 wV?,Z!\Z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 cYNJhGY 8.20 褶皱 165 -Xz?s 8.21 消偏振分光器1 169 `SO|zz|' 8.22 消偏振分光器2 171 =TR,~8Z| 8.23 消偏振立体分光器 172 L.6WiVP) 8.24 消偏振截止滤光片 173 >#+IaKL7 8.25 立体偏振分束器1 174 4Z[V uQng 8.26 立方偏振分束器2 177 -ZW0k@5g 8.27 相位延迟器 178 T5wjU*=IL 8.28 红外截止器 179 4LI0SwD#^/ 8.29 21层长波带通滤波器 180 n{*e 9Aw 8.30 49层长波带通滤波器 181 +@X5!S6 8.31 55层短波带通滤波器 182 [fu!AIQs 8.32 47 红外截止器 183 ctQbp~- 8.33 宽带通滤波器 184 wLuv6\E 8.34 诱导透射滤波器 186 XwM611 8.35 诱导透射滤波器2 188 elJ)4Em 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 iq?#rb P#I 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 o6"*4P| 8.35 增益平坦滤波器 193 .AV)'j#6P 8.38 啁啾反射镜 1 196 0ZAj=u@O 8.39 啁啾反射镜2 198 lA>\Ko 8.40 啁啾反射镜3 199 /Tz85 [%6 8.41 带保护层的铝膜层 200 Dj-s5pAW 8.42 增加铝反射率膜 201 m9M
FwfZ 8.43 参考文献 202 c*\<,n_ 9 多层膜 204 8:ggECD 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ^=cXo<6D
9.2 内部透过率 204 ]O:M$ $ 9.3 内部透射率数据 205 OLq
0V3m 9.4 实例 206 7J >Gd 9.5 实例2 210 rl:KJ\*D 9.6 圆锥和带宽计算 212 4yMW^:@ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 >=ot8%.!,B 10 光学薄膜的颜色 216 zIQzmvf 10.1 导言 216 zH)_vW 10.2 色彩 216 (.K\Jg'Y6j 10.3 主波长和纯度 220 F-n"^.7 10.4 色相和纯度 221 %Xh fXd' 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 xu%'GZ,o9 10.6 色差 226 QhGXBM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 jyW[m,#(go 10.8 颜色渲染指数 234 )tZ`K
| 10.9 色差计算 235 ?4PQQd 10.10 参考文献 236 jRkC/Lw 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 s #:%x# 11.1 短脉冲 238 t[.W$1= 11.2 群速度 239 >AD=31lq 11.3 群速度色散 241 }|8*sk#[ 11.4 啁啾(chirped) 245 g+q@i{Yn 11.5 光学薄膜—相变 245 .I?@o8'x 11.6 群延迟和延迟色散 246 _|c&@M 11.7 色度色散 246 ^.X [)U 11.8 色散补偿 249 U/MFhD(06 11.9 空间光线偏移 256 aP~gaSx 11.10 参考文献 258 mAqDjRV1 12 公差与误差 260 $,1dQeE 12.1 蒙特卡罗模型 260 #Olg(:\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,-*iCs< 12.2.1 误差工具 267 _ P ,@ 12.2.2 灵敏度工具 271 jThbeY[ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ,^T]UHRO 12.2.2.2 灵敏度分布 275 o sdOw8 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 $7gB_o$zz 12.3 参考文献 276 !oSLl.fQd 13 Runsheet 与Simulator 277 -R+zeu(e' 13.1 原理介绍 277 Y'm=etE 13.2 截止滤光片设计 277 i3V/`)iz 14 光学常数提取 289 +!>LY 14.1 介绍 289 go|>o5!g 14.2 电介质薄膜 289 :F|\Ij0T 14.3 n 和k 的提取工具 295 =TcOn Qj 14.4 基底的参数提取 302 &H;8QZ8uw 14.5 金属的参数提取 306 4be> `d5j 14.6 不正确的模型 306 .Oo/y0E^ 14.7 参考文献 311 @h-T:$ 15 反演工程 313 w-FnE}"l 15.1 随机性和系统性 313 0%Q9}l#7 15.2 常见的系统性问题 314 Y^lQX~I2{ 15.3 单层膜 314 N)OCSeh 15.4 多层膜 314 TL-i=\{L:d 15.5 含义 319 H:}}t]E 15.6 反演工程实例 319 cK}Pf+r> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 a+(j?_FyI 15.6.2 反演工程提取折射率 327 $+VgDe5{S 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 r#h {$iW 16.1 光学性质的热致偏移 329 04-Zvp2 16.2 应力工具 335 Du_$C[ 16.3 均匀性误差 339 +^Jwo)R'b 16.3.1 圆锥工具 339 $adq7 16.3.2 波前问题 341 Lt<oi8'N 16.4 参考文献 343 c>MY$-PD 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 B3b,F # 17.1 引言 345 #tz8{o?ebN 17.2 操作数 345 qzdaN5 18 如何在Function中编写脚本 351 Qilj/x68 18.1 简介 351 V9jFjc? 18.2 什么是脚本? 351 #
cWHDRLX 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 9+VF<;Xw 18.4 基础 352 "Pdvmur 18.4.1 Classes(类别) 352 0/A-#'> 18.4.2 对象 352 ./iXyta 18.4.3 信息(Messages) 352 &-F"+v,+ 18.4.4 属性 352 n&7@@@cA 18.4.5 方法 353 elKx]%k*) 18.4.6 变量声明 353 9".Uc8^p/F 18.5 创建对象 354 HTNA])G 18.5.1 创建对象函数 355 *PcVSEP/0 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5Fe-=BX( 18.5.3 丢弃对象 356 `QLowna 18.5.4 总结 356 vl~%o@*_ 18.6 脚本中的表格 357 Qv !rUiXq 18.6.1 方法1 357 wO.B~`y 18.6.2 方法2 357 =
o+7xom 18.7 2D Plots in Scripts 358 |>JmS 18.8 3D Plots in Scripts 359 WB;J1TpM7 18.9 注释 360 sA2o2~AmM 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 E!YmcpCl 18.11 一个更高级的脚本 362 /,t|
!)\] 18.12 <esc>键 364 <j"O%y. 18.13 包含文件 365 MgP{W=h2 18.14 脚本被优化调用 366 2mOfsn d@ 18.15 脚本中的对话框 368 2VMX:&3 5J 18.15.1 介绍 368 8l?w=)Qy 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Ns~g+C9 18.15.3 输入框函数 370 ;_bq9x 18.15.4 自定义对话框 371 Bfn]-]>sD 18.15.5 对话框编辑器 371 C zpsqTQ 18.15.6 控制对话框 377 scmto cm 18.15.7 更高级的对话框 380 "o<D;lO 18.16 Types语句 384 | @q9{h7 18.17 打开文件 385 `E%(pjG 18.18 Bags 387 3Pa3f >}- 18.13 进一步研究 388 a[JZ5D 19 vStack 389 }{#7Z8 19.1 vStack基本原理 389 s#`cX0L) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @2|G|C/]O} 19.3 五棱镜 393 A ')(SGSc 19.4 光束距离 396 =%)}) 19.5 误差 399 $uTlbAuv 19.6 二向分色棱镜 399 S#hu2\9D, 19.7 偏振泄漏 404 ~q5-9{ma 19.8 波前误差—相位 405 n4XMN\:g{ 19.9 其它计算参数 405 B~BUWWMfp 20 报表生成器 406 7j95"mI 20.1 入门 406 u4C1W|x 20.2 指令(Instructions) 406 vnF g%M! 20.3 页面布局指令 406 Ta,u-!/I 20.4 常见的参数图和三维图 407 iPNd!_ 20.5 表格中的常见参数 408 =X<)5IS3 20.6 迭代指令 408 k~ZBJ+
94 20.7 报表模版 408 h#;?9DP 20.8 开始设计一个报表模版 409 &F9OZMK= 21 一个新的project 413 =^ gvZ|] 21.1 创建一个新Job 414 J;7s/YH^ 21.2 默认设计 415 mnQal>0~ 21.3 薄膜设计 416
]&/0 21.4 误差的灵敏度计算 420 '|J) ds 21.5 显色指数计算 422 7kOE/>P? 21.6 电场分布 424 #Xj;f^}/ 后记 426 37,L**Dgs 对此书有兴趣可以扫码加微联系 J~fuW?a]r
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