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u 内容简介 [^!SkQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @@R Mm$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 T;M
;c.U 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 MqJTRBs% /gAT@Vx 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 9J:|"@)N 目录 pq*e0uW Preface 1 AA\)BNM 内容简介 2 3ynkf77cn 目录 i w_"d&eYdg0 1 引言 1 |s3;`Nxu7 2 光学薄膜基础 2 =r]l"T 2.1 一般规则 2 ):N#X<b': 2.2 正交入射规则 3 f y2vAwl 2.3 斜入射规则 6 )\])?q61 2.4 精确计算 7 y&(#C:N 2.5 相干性 8 #7;?Ls 2.6 参考文献 10 AojL4H| 3 Essential Macleod的快速预览 10 [%k8l~ 6 4 Essential Macleod的特点 32 *+v*VH 4.1 容量和局限性 33 izSX 4.2 程序在哪里? 33 R_!'=0}V 4.3 数据文件 35 stG
+4w 4.4 设计规则 35 yPE3Awh5 4.5 材料数据库和资料库 37 ~q`f@I 4.5.1材料损失 38 ^cZ< .d2 4.5.1材料数据库和导入材料 39
G#[A'tbKk 4.5.2 材料库 41 ,h=a+ja8 4.5.3导出材料数据 43 P'wo+Tn* 4.6 常用单位 43 20I`F>-* 4.7 插值和外推法 46 zS:2?VXxq 4.8 材料数据的平滑 50 )4rt-_t< 4.9 更多光学常数模型 54 /<_!Gz.@uG 4.10 文档的一般编辑规则 55 +-tFg XG 4.11 撤销和重做 56 :]:)c8!6 4.12 设计文档 57 x[mz`0 4.10.1 公式 58 ;PaU"z+Je~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 qu^g~"s 4.10.3 沉积密度 59 `h'+4 4.10.4 平行和楔形介质 60 RB4n>&Y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 pPa]@ z~O 4.10.4 性能 61 YPx+9^) 4.10.5 保存设计和性能 64 af<h2r 4.10.6 默认设计 64 {|>'(iqH"w 4.11 图表 64 '( I0VJJ 4.11.1 合并曲线图 67
Gd A!8 4.11.2 自适应绘制 68 # fqrZ9:@ 4.11.3 动态绘图 68 (:8a6=xQ 4.11.4 3D绘图 69 _-BP?'lN 4.12 导入和导出 73 kNK0KL 4.12.1 剪贴板 73 uZ8-? 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 3IRur,|' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1\}XL=BE 4.13 背景 77 }E ]l4N2 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 .@fA_8 4.15 生成Rugate 84 (Yz[SK=U} 4.16 参考文献 91 xc*a(v0 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *rTg>) 5.1 Jobs 92
MWme3u)D 5.2 创建一个新Job(工作) 93 WowT!0$ 5.3 输入材料 94 #czTX%+9(e 5.4 设计数据文件夹 95 t Cb34Wpf 5.5 默认设计 95 (s&:D`e 6 细化和合成 97 %|e)s_%XE 6.1 优化介绍 97 /e"iYF 6.2 细化 (Refinement) 98 eP"B3Jw 6.3 合成 (Synthesis) 100 @'>RGaPV 6.4 目标和评价函数 101 0GxJja 6.4.1 目标输入 102 YyYZD{^ 6.4.2 目标 103 U',C-56z 6.4.3 特殊的评价函数 104 `(HvD] l 6.5 层锁定和连接 104 7tWC<# 6.6 细化技术 104 A:Wr5`FJ 6.6.1 单纯形 105 E"9(CjbQ[ 6.6.1.1 单纯形参数 106 <y8oYe_! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Q>D//_TF 6.6.2.1 Optimac参数 108 dV[G-p
6.6.3 模拟退火算法 109 f2[R2sto@ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 s.p>
?U 6.6.4 共轭梯度 111 MO$yst?fK 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z=KDkpV 6.6.5 拟牛顿法 112 #I?Z,;DI= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
.mfLH N%: 6.6.6 针合成 113 IDn<5# 6.6.6.1 针合成参数 114 9HO9>^ 6.6.7 差分进化 114 h&K$(}X 6.6.8非局部细化 115 B!pz0K*uG 6.6.8.1非局部细化参数 115 \t)va:y 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +r'&6Me! 6.7.1 细化 116 3N$@K"qM# 6.7.2 合成 117 |;NfH|43; 6.8 参考文献 117 2Snb+,o2 7 导纳图及其他工具 118 mH\zSk 7.1 简介 118 Uk] jy>7;! 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 x)=l4A\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 [ne51F5_ 7.2.2 导纳图 120 FWJ**J 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !.,J;Qt 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 5H.~pc2y 7.5 斜入射导纳图 141 w^Y/J4 I0 7.6 对称周期 141 [hSJ)IZh 7.7 参考文献 142 h#Z["BG 8 典型的镀膜实例 143 aC`>~uX##V 8.1 单层抗反射薄膜 145 VIdKe&, 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 i[9yu- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 jUM'f24 8.4 W-膜层 148 ;>mM9^Jaf 8.5 V-膜层 149 l#enbQ`-~ 8.6 V-膜层高折射基底 150 H2%Qu<Kg2 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 HghdTs 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ?'0!>EjY" 8.9 四层抗反射薄膜 153 s1Acl\l-uF 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Fn.JtIu 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 vY_[@y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 h_?`ESI~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;ZUj2WxE 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 s>o#Ob@4' 8.15十五层宽带抗反射膜 159 SbGdcCB 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 T='uqKW\ 8.17 1/4波长堆栈 162 y@l&B+2ks 8.18 陷波滤波器 163 0Qa0 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 BeLD`4K 8.20 褶皱 165 JD#q6&| 8.21 消偏振分光器1 169 )XN%pn 8.22 消偏振分光器2 171 ;iuwIdo6c 8.23 消偏振立体分光器 172 =_#b
.8K 8.24 消偏振截止滤光片 173 pp"#pl 8.25 立体偏振分束器1 174 is8i_FoD,n 8.26 立方偏振分束器2 177 k5E2{&wZ 8.27 相位延迟器 178 ,i6E L 8.28 红外截止器 179 Op-z"inw 8.29 21层长波带通滤波器 180 ^%,{R},s 8.30 49层长波带通滤波器 181 Oe;#q 8.31 55层短波带通滤波器 182 R ?iCJ5 m 8.32 47 红外截止器 183 ,:PMS8pS 8.33 宽带通滤波器 184 |:5O|m ' 8.34 诱导透射滤波器 186 TiI /I`A 8.35 诱导透射滤波器2 188 <b
H*f w 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 K bLSK 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?d3K:|g 8.35 增益平坦滤波器 193 *@' 'OyL 8.38 啁啾反射镜 1 196 L0"|4= 8.39 啁啾反射镜2 198 r{v3XD/ 8.40 啁啾反射镜3 199 **%&|9He 8.41 带保护层的铝膜层 200 .4\I?
8.42 增加铝反射率膜 201 b_RO%L:"yL 8.43 参考文献 202 BS fmS(. 9 多层膜 204 FzX ;~CA 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ?pZU'5le` 9.2 内部透过率 204 LH(P<k& 9.3 内部透射率数据 205 yF(9=z"? 9.4 实例 206 <VhmtT%7 9.5 实例2 210 L"
ejA 9.6 圆锥和带宽计算 212 $B-/>Rz 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 se %#U40* 10 光学薄膜的颜色 216 )&_bY~P 10.1 导言 216 {.$7g8]I 10.2 色彩 216 UDr1t n 10.3 主波长和纯度 220 9JP:wE~y 10.4 色相和纯度 221 yS~Y"#F!. 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 `f}s<At 10.6 色差 226 bK%F_v3' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 dh`s^D6Q> 10.8 颜色渲染指数 234 MS;^:t1` 10.9 色差计算 235 n{!{,s 10.10 参考文献 236 HSNj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 =h4uN, 11.1 短脉冲 238 ;)FvTm'"\. 11.2 群速度 239 8_!qoW@B 11.3 群速度色散 241 O80Z7 11.4 啁啾(chirped) 245 DQY1oM)D! 11.5 光学薄膜—相变 245 0]7jb_n1 11.6 群延迟和延迟色散 246 Hj>9 #>b 11.7 色度色散 246 5Jo'h] 11.8 色散补偿 249 K*j
OrQf` 11.9 空间光线偏移 256 *,G<X^ 11.10 参考文献 258 ,JdBVt 12 公差与误差 260 4A@HR 12.1 蒙特卡罗模型 260 .t\J@?Z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 r5s{t4 ;Ch 12.2.1 误差工具 267 lVT*Ev{&. 12.2.2 灵敏度工具 271 2?%*UxcO 12.2.2.1 独立灵敏度 271 e=VSO!(rY 12.2.2.2 灵敏度分布 275 y`zdI_!7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 >bV3~m$a+ 12.3 参考文献 276 R?)Yh.vi=t 13 Runsheet 与Simulator 277 F}l3\uC] 13.1 原理介绍 277 (Z>?\iNJ 13.2 截止滤光片设计 277 y/S3ZJY 14 光学常数提取 289 'Grej8 14.1 介绍 289 3y.+03
W 14.2 电介质薄膜 289 _UTN4z2aTG 14.3 n 和k 的提取工具 295 x~}&t+FK 14.4 基底的参数提取 302 ^Ak?2,xB#+ 14.5 金属的参数提取 306 12#yHsk 14.6 不正确的模型 306 k:?)0Uh%^ 14.7 参考文献 311 IrYj#,xJ 15 反演工程 313 ]vf_4QW= 15.1 随机性和系统性 313 $Mg O)bH 15.2 常见的系统性问题 314 =M?+KbTJ3 15.3 单层膜 314 b)IQa,enH 15.4 多层膜 314 AAfU]4u0S 15.5 含义 319 $)*qoV 15.6 反演工程实例 319 ;v]C8 }L^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 t"Du 15.6.2 反演工程提取折射率 327 RDSC @3% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 iuWUr?`\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 Hx+r9w 16.2 应力工具 335 -`5]%.E&8 16.3 均匀性误差 339 1@I#Fv 16.3.1 圆锥工具 339 W 3/]
2"0 16.3.2 波前问题 341 vW.f`J,\D' 16.4 参考文献 343 U:~]>B $ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 9 D.wW 17.1 引言 345 w|G7h= 17.2 操作数 345 /D9#v1b 18 如何在Function中编写脚本 351 nL^7t7mp 18.1 简介 351 3 8&K" 18.2 什么是脚本? 351 +vJ}'uR3P 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 rCqwJoC`v 18.4 基础 352 lmcgOTT): 18.4.1 Classes(类别) 352 ,k.") 18.4.2 对象 352 +(x(Ybl# 18.4.3 信息(Messages) 352 yq x!{8=V 18.4.4 属性 352 K+/wJ9^B 18.4.5 方法 353 7p'pz8n`X 18.4.6 变量声明 353 t|V5[n! 18.5 创建对象 354 MjQ>&fUK 18.5.1 创建对象函数 355 J0k!&d8 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 & +`g~6U 18.5.3 丢弃对象 356 Rmn|!C%%K 18.5.4 总结 356 zytW3sTZA 18.6 脚本中的表格 357
]Z UE ! 18.6.1 方法1 357 u)EtEl7Wq 18.6.2 方法2 357 1Bs t| 18.7 2D Plots in Scripts 358 ghW`xm87 18.8 3D Plots in Scripts 359 xH28\]F5n 18.9 注释 360 ~a
V5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 !ck luj 18.11 一个更高级的脚本 362 F&p42!" 18.12 <esc>键 364 hyPS 6Y'1 18.13 包含文件 365 `;G@qp:A 18.14 脚本被优化调用 366 1k"t[^ 18.15 脚本中的对话框 368 KRm)|bgE 18.15.1 介绍 368 Y[b08{/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;L76V$& 18.15.3 输入框函数 370 )RFY2} 18.15.4 自定义对话框 371 Ot=nKdP}D 18.15.5 对话框编辑器 371 {7X9P<<L7 18.15.6 控制对话框 377 ci?\W6 18.15.7 更高级的对话框 380 u-.5rH l 18.16 Types语句 384 ORX<ZOt1 18.17 打开文件 385 ?gAwMP(> 18.18 Bags 387 Iw] ylp 18.13 进一步研究 388 D)4#AI 19 vStack 389 mV}8s]29 19.1 vStack基本原理 389 o6x8jz 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 w"kBAi& 19.3 五棱镜 393 Sh5m+>7K 19.4 光束距离 396 (@BB@G 19.5 误差 399 |w~*p
N0 19.6 二向分色棱镜 399 s 64@<oU<" 19.7 偏振泄漏 404 @QpL*F 19.8 波前误差—相位 405 R'_F9\ 19.9 其它计算参数 405 LCIe1P2 20 报表生成器 406 l9%ckC*q 20.1 入门 406 m(xyEU 20.2 指令(Instructions) 406 phA{jJy? 20.3 页面布局指令 406 Wl&6T1A`" 20.4 常见的参数图和三维图 407 R Ee~\n+P^ 20.5 表格中的常见参数 408 Y^#>3T 20.6 迭代指令 408 'g<FL`iP 20.7 报表模版 408 ;l `(1Q/ 20.8 开始设计一个报表模版 409 Y2uy@j*N 21 一个新的project 413 jX$U)O 21.1 创建一个新Job 414 "_rpErm
} 21.2 默认设计 415 6m(+X
MS 21.3 薄膜设计 416 {^:i}4ZRl 21.4 误差的灵敏度计算 420 +:C.G[+ 21.5 显色指数计算 422 W+V & |