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?$I9/r 内容简介 &RuTq6)r Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Ymnh%wS 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Xsn M} 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 < j C_;nlG6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Y1AZ%{^0a 目录 hb0)<^xu Preface 1 m' j1 内容简介 2 SG~HzQ\% 目录 i @D["#pe,} 1 引言 1 S,|ZCl>+ 2 光学薄膜基础 2 3KeY4b!h 2.1 一般规则 2 Q|VBH5}1O 2.2 正交入射规则 3 X16O9qsh 2.3 斜入射规则 6 Nv0a]Am 2.4 精确计算 7 DIP%*b#l$\ 2.5 相干性 8 T.QJ#vKO0 2.6 参考文献 10 (-;(wCEE 3 Essential Macleod的快速预览 10 5D-as9k* 4 Essential Macleod的特点 32 2ZbSdaM= 4.1 容量和局限性 33 Vnb@5W2\ 4.2 程序在哪里? 33 %WP[V{,F 4.3 数据文件 35 ]4')H;'y 4.4 设计规则 35 `CL\- 4.5 材料数据库和资料库 37 HdY#cVxy 4.5.1材料损失 38 0.PG]K6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ,\\=f#c= 4.5.2 材料库 41 #5^OO ou| 4.5.3导出材料数据 43 ;K4=fHl 4.6 常用单位 43 AU}|o0Ur 4.7 插值和外推法 46 7^@ 1cA=S 4.8 材料数据的平滑 50 2t0VbAO1{ 4.9 更多光学常数模型 54 T1?9E{bC8A 4.10 文档的一般编辑规则 55 8"LM:0x 4.11 撤销和重做 56 ]A\qI>, 4.12 设计文档 57 cJSwA&
4.10.1 公式 58 b9wC:NgQx 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 B"88 .U}$ 4.10.3 沉积密度 59 uHZjpMoM 4.10.4 平行和楔形介质 60 "-5FUKI- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 <Vh5`-J 4.10.4 性能 61 QiqRx 4.10.5 保存设计和性能 64 P uQ 4.10.6 默认设计 64 {65YTt% 4.11 图表 64 S,'ekWVD 4.11.1 合并曲线图 67 " :[;}f; 4.11.2 自适应绘制 68 3qV~C{S 4.11.3 动态绘图 68 x a\~(B. 4.11.4 3D绘图 69 8{%&P%vf 4.12 导入和导出 73 @C('kUX~! 4.12.1 剪贴板 73 z0Y L, 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :.{d,)G 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1xsJz^%V 4.13 背景 77 LF(S"Of 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "cOBEhn%l 4.15 生成Rugate 84 6%o@!|=I 4.16 参考文献 91 P= E10 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5YUe>P D 5.1 Jobs 92 xvWP^Qkb 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .G<Or`K^i 5.3 输入材料 94 {)kL7>u]^V 5.4 设计数据文件夹 95 jrm^n_6}; 5.5 默认设计 95 <I?f=[ 6 细化和合成 97 fkk9&QB%( 6.1 优化介绍 97 od !s5f! 6.2 细化 (Refinement) 98 `sv]/8RN 6.3 合成 (Synthesis) 100 8H3O6ro 6.4 目标和评价函数 101 @P=n{-pIW 6.4.1 目标输入 102 >Fe=PRs 6.4.2 目标 103 0N6 X;M{zh 6.4.3 特殊的评价函数 104 nxm*.&#p? 6.5 层锁定和连接 104 :^x,>(a 6.6 细化技术 104 Kr4%D* 6.6.1 单纯形 105 |^w&dj\, 6.6.1.1 单纯形参数 106 <BdC#t:*L 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Idj Z2)$
6.6.2.1 Optimac参数 108 27F:-C~.9 6.6.3 模拟退火算法 109 idS+&:' 6.6.3.1 模拟退火参数 109 g ZES}]N 6.6.4 共轭梯度 111 V Kc`mE 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 sI4
FgO 6.6.5 拟牛顿法 112 cvpZF5mL]U 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4i29nq^n 6.6.6 针合成 113 +~;#!I@Di 6.6.6.1 针合成参数 114 +xr;X 9 6.6.7 差分进化 114 mm
|* 6.6.8非局部细化 115 )_l(WF. 6.6.8.1非局部细化参数 115 3 "|A5>Vo 6.7 我应该使用哪种技术? 116 EYZ,GT-I 6.7.1 细化 116 I(9+F 6.7.2 合成 117 \J6e/ G 6.8 参考文献 117 `ih#>i_& 7 导纳图及其他工具 118 <1U *{y 7.1 简介 118 Vl:M6d1 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 NL"w#kTc() 7.2.1 四分之一波长规则 119 H
.sfM 7.2.2 导纳图 120 (B].ppBii 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 n+'s9 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Ap}`Q(. 7.5 斜入射导纳图 141 ;|CG9|p 7.6 对称周期 141 +C4NhA2 7.7 参考文献 142 [} %=&B 8 典型的镀膜实例 143 uD`Z\@Z 8.1 单层抗反射薄膜 145 <yKyM#4X 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ve*6WDK,H 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _b[Pk;8}j; 8.4 W-膜层 148 R1:7]z0B 8.5 V-膜层 149 WjBtL52 8.6 V-膜层高折射基底 150 )Mw 3ZE92 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 V##T G0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8WG_4e 8.9 四层抗反射薄膜 153 T(*A0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 #XAH`L\ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 M[&p[P@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Q,\S3>1n 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 S^@#%> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 sO&eV68
[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Mwd.S 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 p/jAr+XM 8.17 1/4波长堆栈 162 RSF@ Oo{ 8.18 陷波滤波器 163 #Xun>0 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 `Jl_'P} 8.20 褶皱 165 JjQTD-^ 8.21 消偏振分光器1 169 ]8XIw`:f 8.22 消偏振分光器2 171 Q".p5(< 8.23 消偏振立体分光器 172 mP ^*nB@, 8.24 消偏振截止滤光片 173 "(E%JAwZ^W 8.25 立体偏振分束器1 174 I,?!NzB 8.26 立方偏振分束器2 177 +|spC 8.27 相位延迟器 178 S2
YxA 8.28 红外截止器 179 h&IF?h 8.29 21层长波带通滤波器 180 hhr>nuA 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?h ym~, 8.31 55层短波带通滤波器 182 2}#VB;B 8.32 47 红外截止器 183 H~ =;yy 8.33 宽带通滤波器 184 wW'.bqA 8.34 诱导透射滤波器 186
l65Qk2<YC 8.35 诱导透射滤波器2 188 )Z@hk]@?_[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 :j%
B(@b 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?}U l( 8.35 增益平坦滤波器 193 .+ CMm5T 8.38 啁啾反射镜 1 196 U{-[lpd 8.39 啁啾反射镜2 198
8B7,qxZ 8.40 啁啾反射镜3 199 q3Y49d 8.41 带保护层的铝膜层 200 Wi!$bL`l 8.42 增加铝反射率膜 201 Kr;F4G|Qt 8.43 参考文献 202
;5}y7#4C 9 多层膜 204 _jrkR
n1 " 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ZY> u4v. 9.2 内部透过率 204 q|R$A8)L. 9.3 内部透射率数据 205 uWerC?da 9.4 实例 206 azpXE 9.5 实例2 210 SrSm%Dv 9.6 圆锥和带宽计算 212 IHf#P5y_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 M%FKg/ 10 光学薄膜的颜色 216 x\6 i (k- 10.1 导言 216 ZfIeq<8_ 10.2 色彩 216 0'tm., 10.3 主波长和纯度 220 #Xd#Ncj 10.4 色相和纯度 221 &pLCN[a 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ,DWC=:@X 10.6 色差 226 08E ,U 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 5[>N[}Ck> 10.8 颜色渲染指数 234 1"HSM=p 10.9 色差计算 235 wi-{& 10.10 参考文献 236 =J&aN1Hgt 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 N`i`[ f 11.1 短脉冲 238 H.:
[#
a 11.2 群速度 239 9IG3zM f 11.3 群速度色散 241 >{kPa| 11.4 啁啾(chirped) 245 s2\6\8Ipn 11.5 光学薄膜—相变 245 +\`t@Ht# 11.6 群延迟和延迟色散 246 ,V:RE y 11.7 色度色散 246 "]{"4qV1= 11.8 色散补偿 249 DYvg ^b 11.9 空间光线偏移 256 3q0^7)m0 11.10 参考文献 258 vE+OL8 V 12 公差与误差 260 vH9Gf 12.1 蒙特卡罗模型 260 q5(Z
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 FUU/=)^P$ 12.2.1 误差工具 267 (Qys`D 12.2.2 灵敏度工具 271 |{@_J 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Qz?r4kR 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ) _O6_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 U?Icyn3q0 12.3 参考文献 276 T~'9p`IW 13 Runsheet 与Simulator 277 W&(98}oT 13.1 原理介绍 277 B3|r O 13.2 截止滤光片设计 277 ;P4tqY@ 14 光学常数提取 289 iVGc\6+' 14.1 介绍 289 E$84c+ 14.2 电介质薄膜 289 -#?p16qz5 14.3 n 和k 的提取工具 295 ec` $2u 14.4 基底的参数提取 302 ewcgg 14.5 金属的参数提取 306 HR83{B21 14.6 不正确的模型 306 "ZyWU f 14.7 参考文献 311 ]tVXao 15 反演工程 313 2i~qihx5^ 15.1 随机性和系统性 313 j?n:"@!G/ 15.2 常见的系统性问题 314 R9z^=QKcH 15.3 单层膜 314 f~D>
*<L4- 15.4 多层膜 314 p;rGaLo:u 15.5 含义 319 q#~]Hp=W5 15.6 反演工程实例 319 |E)IJj
3 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 (^Kcyag4 15.6.2 反演工程提取折射率 327 !zNMU$p 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 O/=i'0Xv 16.1 光学性质的热致偏移 329 8oj-5|ct 16.2 应力工具 335 j\SW~}d9 16.3 均匀性误差 339 *AU"FI>V 16.3.1 圆锥工具 339 e
r;3TG~ 16.3.2 波前问题 341 pQY.MZSA 16.4 参考文献 343 .1F^=C.w 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 pMX#!wb 17.1 引言 345 5Y8/ZW~D0 17.2 操作数 345 Ng} AEAFp 18 如何在Function中编写脚本 351 XHlx89v7 18.1 简介 351 QAy9RQ0 18.2 什么是脚本? 351 zoV-@<Eh 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 E@_M|=p& 18.4 基础 352 hFjXgpz5 18.4.1 Classes(类别) 352 yv< |