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? $pGG 内容简介 [x!T<jJ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 *ok89ad 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 H1|X0a(j 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 65ijzZL; Rjo6Pd{d< 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 j3`:;'L 目录 -J!F((jt Preface 1 i1vBg}WHN 内容简介 2 s\o
</ZDo 目录 i S7wZCQe 1 引言 1 &4"(bZ:LO 2 光学薄膜基础 2 t> &$_CSWK 2.1 一般规则 2 ?Pl>sCFm~ 2.2 正交入射规则 3 `;*=2M<c 2.3 斜入射规则 6 CJjma=XH 2.4 精确计算 7 }?*:uf 2.5 相干性 8 `Lm
ArW: 2.6 参考文献 10 #zrD i 3 Essential Macleod的快速预览 10 2|EHNy! 4 Essential Macleod的特点 32 $+JaEF`8 4.1 容量和局限性 33 S?hM 4.2 程序在哪里? 33 }'kk}2ej` 4.3 数据文件 35 Zi7(lG 4.4 设计规则 35 Fxv~;o# 4.5 材料数据库和资料库 37 k6[t$|lMy 4.5.1材料损失 38 :+]6SC0ql 4.5.1材料数据库和导入材料 39 rVQ:7\=Z 4.5.2 材料库 41 { +
[rJ_ 4.5.3导出材料数据 43 `{F8# 4.6 常用单位 43 W@"M/<r@/ 4.7 插值和外推法 46 X@x:
F|/P 4.8 材料数据的平滑 50 f(D?g 4.9 更多光学常数模型 54 M P0ww$( 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?Dd2k%o 4.11 撤销和重做 56 zCO5`%14 4.12 设计文档 57 |[!xLqG 4.10.1 公式 58 5?9}^s4 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 a;*&q/{o 4.10.3 沉积密度 59 #:' P3)& 4.10.4 平行和楔形介质 60 U@f3V8CPy 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .&r]
?O 4.10.4 性能 61 seAkOIc 4.10.5 保存设计和性能 64 '-w G 4.10.6 默认设计 64 An]*J|nFIY 4.11 图表 64 Kh<v2 4.11.1 合并曲线图 67 y*Ex5N~JC 4.11.2 自适应绘制 68 ?H*_:?=6 4.11.3 动态绘图 68 a^Zn
}R r 4.11.4 3D绘图 69 3w{i5gGn 4.12 导入和导出 73 s)/i_Oe$\ 4.12.1 剪贴板 73 :Oq!.uO 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 |r0j>F 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 zb9d{e 4.13 背景 77 G-"#3{~2 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >)#*}JI 4.15 生成Rugate 84 6mRvuJ% 4.16 参考文献 91 `;cKN)Xk 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 =N7N=xY 5.1 Jobs 92 X$JKEW;0BP 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1f[!=p 5.3 输入材料 94 wy) Frg 5.4 设计数据文件夹 95 %K ]u" 5.5 默认设计 95 _Seiwk& 6 细化和合成 97 3kYUO-qw 6.1 优化介绍 97 X*S|aNaLWW 6.2 细化 (Refinement) 98 !7%L%~z^ 6.3 合成 (Synthesis) 100 qY14LdC}~ 6.4 目标和评价函数 101 d8]6<\g 6.4.1 目标输入 102 =9pFb!KX 6.4.2 目标 103 xO?~@5 6.4.3 特殊的评价函数 104 r T*:1 6.5 层锁定和连接 104 :4Q_\'P 6.6 细化技术 104 7!MW`L/` 6.6.1 单纯形 105 $:
Qi9N 6.6.1.1 单纯形参数 106 FpW{=4yk 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 p(0!TCBs 6.6.2.1 Optimac参数 108 9^
mrsj 6.6.3 模拟退火算法 109 3)Paf`mr 6.6.3.1 模拟退火参数 109 GueqpEd2 6.6.4 共轭梯度 111 MHxv@1)K|Y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [xI@)5Xk 6.6.5 拟牛顿法 112 (#Y2H 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ZB ~D_S 6.6.6 针合成 113 /5yWvra 6.6.6.1 针合成参数 114 |L`w4; 6.6.7 差分进化 114 Yj0Ss{Ep 6.6.8非局部细化 115 7~ |o_T 6.6.8.1非局部细化参数 115 ! *pK# 6.7 我应该使用哪种技术? 116 jr!x)yd 6.7.1 细化 116 !Rsx) 6.7.2 合成 117 &NGlkn 6.8 参考文献 117 '{OZ[$E 7 导纳图及其他工具 118 6"A|)fz 7.1 简介 118 G3?8GTH 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7Bmt^J5i&t 7.2.1 四分之一波长规则 119 \W1?Qc1] 7.2.2 导纳图 120 u.!Pda 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3s>&h-E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 umls=iz 7.5 斜入射导纳图 141 bR;H@Fdg? 7.6 对称周期 141 0Y!Bb2m 7.7 参考文献 142 <[a9"G7 8 典型的镀膜实例 143 >Y{.)QS 8.1 单层抗反射薄膜 145 urog.Q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
tb@/E 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 *5|\if\ 8.4 W-膜层 148 M>T#MDK\( 8.5 V-膜层 149 &1B)mj 8.6 V-膜层高折射基底 150 i[jAAr$ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,"}'NH@ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 I{1w8m4O6 8.9 四层抗反射薄膜 153 U<#i\4W 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 g7d) YUc 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 zo]7# 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 6dg[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 L:B&`,E 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "=/XIM. 8.15十五层宽带抗反射膜 159 tk,
HvE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 PU-;Q@< E 8.17 1/4波长堆栈 162 y4envjl0 8.18 陷波滤波器 163 L2K4nTA 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 L{5zA5#m 8.20 褶皱 165 ]p#Zdm1EL 8.21 消偏振分光器1 169 *M KVm)Iv 8.22 消偏振分光器2 171 x$M[/ID0 8.23 消偏振立体分光器 172 i-&kUG_X
8.24 消偏振截止滤光片 173 |4-Ey! P 8.25 立体偏振分束器1 174 <pPI:D@G 8.26 立方偏振分束器2 177 ikm4Y`c 8.27 相位延迟器 178 MK=:L 8.28 红外截止器 179 t/q\Ne\\, 8.29 21层长波带通滤波器 180 Gm.v-T$ 8.30 49层长波带通滤波器 181 :l*wf/&z 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;GE0iSC 8.32 47 红外截止器 183 i4Fw+Z 8.33 宽带通滤波器 184 5Z;Py"% 8.34 诱导透射滤波器 186 jP}N^ 8.35 诱导透射滤波器2 188 LY^BkH' 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 I98wMV8 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !)&-\!M> 8.35 增益平坦滤波器 193 N*o+m~:y 8.38 啁啾反射镜 1 196 <vbk@d 8.39 啁啾反射镜2 198 [!aHP?- 8.40 啁啾反射镜3 199 VSP[G ,J. 8.41 带保护层的铝膜层 200 qLPI^g, 8.42 增加铝反射率膜 201 Vxk0oIk` 8.43 参考文献 202 My5X%)T>P 9 多层膜 204 _
k>j?j- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *!nS4[d 9.2 内部透过率 204 T mUn/ 9.3 内部透射率数据 205 A)VOv`U@2 9.4 实例 206 sQt@B#; 9.5 实例2 210 dn5T7a~
9.6 圆锥和带宽计算 212 d5u,x.R 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^(6.P)$ 10 光学薄膜的颜色 216 @c.QrKSaD 10.1 导言 216 g=Qj9Z
10.2 色彩 216 `d8$OC 10.3 主波长和纯度 220 ~%GUc
~ 10.4 色相和纯度 221 ?DpMR/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 L-=^GNh 10.6 色差 226 *9*I:Uh57 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9^jO^[> 10.8 颜色渲染指数 234 0 J ANj 10.9 色差计算 235 |NM.-@1 10.10 参考文献 236 ]aaHb 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 eQYW>z'%, 11.1 短脉冲 238 6%:'2;xM 11.2 群速度 239 f#5mX&j 11.3 群速度色散 241 \WZ00Y,* 11.4 啁啾(chirped) 245 mk[=3!J 11.5 光学薄膜—相变 245 &uk?1Z#j 11.6 群延迟和延迟色散 246 sy]1Ba% 11.7 色度色散 246 {zg}KiNDZd 11.8 色散补偿 249 B%r)~?6DM 11.9 空间光线偏移 256 r)*KgGsk 11.10 参考文献 258 EV~_-YC
12 公差与误差 260 WxIP~ 12.1 蒙特卡罗模型 260 3
vE;s"/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 znu?x|mV 12.2.1 误差工具 267 @n})oAC, 12.2.2 灵敏度工具 271 eaCEZHr$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !5p01]7 12.2.2.2 灵敏度分布 275 TNiFl hq 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Y}F+4 12.3 参考文献 276 b/<n:*$
13 Runsheet 与Simulator 277 GKm)wOb(*S 13.1 原理介绍 277 hX[hR 13.2 截止滤光片设计 277 >5XE*9 14 光学常数提取 289 od-N7lp# 14.1 介绍 289 q?\3m3GM 14.2 电介质薄膜 289 v`nodI 14.3 n 和k 的提取工具 295 <tFq6| 14.4 基底的参数提取 302 u QCQ$ 14.5 金属的参数提取 306 QDSB
<0j 14.6 不正确的模型 306 Is%-r.i 14.7 参考文献 311 'fZHtnmc0 15 反演工程 313 6B|IbQ^ 15.1 随机性和系统性 313 6``!DMDt/P 15.2 常见的系统性问题 314 _.\p^ HM 15.3 单层膜 314 x+^iEj`gk 15.4 多层膜 314 B \[ P/AC 15.5 含义 319 z^=9%tLJ 15.6 反演工程实例 319 6kYn5:BhIi 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4.R
>mN[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ;Wb
W\,P' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )<jj O 16.1 光学性质的热致偏移 329 .7cQKdvcC 16.2 应力工具 335 E+[K?W5 16.3 均匀性误差 339 <BT}Tv9 16.3.1 圆锥工具 339 Qv[@ioc 16.3.2 波前问题 341 opdi5e)jK 16.4 参考文献 343 +ZXk0sP_< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6Pd;I,k 17.1 引言 345 i wK,XnIR 17.2 操作数 345 u9}=g%TV 18 如何在Function中编写脚本 351 =j}]-! 18.1 简介 351 dt;R 18.2 什么是脚本? 351 hb[K.`g 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 }J"}poB: 18.4 基础 352 X[|-F3o 18.4.1 Classes(类别) 352 -pyTzC$HO 18.4.2 对象 352 ={8ClUV# 18.4.3 信息(Messages) 352 Smg,1,= 18.4.4 属性 352 L?<V KT 18.4.5 方法 353 >L5[dkg% 18.4.6 变量声明 353 ; v>2z!M 18.5 创建对象 354 *7DQ#bD 18.5.1 创建对象函数 355 f~8Xue,l" 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $Jx]
FZDQ 18.5.3 丢弃对象 356 WVp14Z?k 18.5.4 总结 356 "J7=3$CA 18.6 脚本中的表格 357 =d& 18.6.1 方法1 357 </Q<*@p? 18.6.2 方法2 357 7$}lkL 18.7 2D Plots in Scripts 358 +qDudGI 18.8 3D Plots in Scripts 359 [7Q |vu 18.9 注释 360 q9F(8-J
18.10 脚本管理器调用Scripts 360 U")bvUIL 18.11 一个更高级的脚本 362 ~B1)!5Z 18.12 <esc>键 364 YG!~v~sV 18.13 包含文件 365 pz#oRuujY 18.14 脚本被优化调用 366 \_CC6J0k 18.15 脚本中的对话框 368 gz
Qc 18.15.1 介绍 368 2["bS++? 18.15.2 消息框-MsgBox 368 `A3"*,|z 18.15.3 输入框函数 370 -h8A< 18.15.4 自定义对话框 371 XwE(&ZCf'b 18.15.5 对话框编辑器 371 A0
x*feK? 18.15.6 控制对话框 377 0x[v)k9"0 18.15.7 更高级的对话框 380 ST] h NM 18.16 Types语句 384 D3|y|Dr 18.17 打开文件 385 b-yfBO 18.18 Bags 387 =P-kb^ s 18.13 进一步研究 388 vRYfB{~ 19 vStack 389 5fDVJE "9" 19.1 vStack基本原理 389 }e& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 M&:[3u- 19.3 五棱镜 393 ggXg4~WL 19.4 光束距离 396 (Lp<T! " 19.5 误差 399 rp{q.fy'U 19.6 二向分色棱镜 399 K;k&w; j 19.7 偏振泄漏 404 _cQTQ 19.8 波前误差—相位 405 cxp>4[gH 19.9 其它计算参数 405 6;"jq92in* 20 报表生成器 406 x9p,j 20.1 入门 406 w0q.cj@nd 20.2 指令(Instructions) 406 "+~La{POc 20.3 页面布局指令 406 Xg_M{t 20.4 常见的参数图和三维图 407 D/5 ah_; 20.5 表格中的常见参数 408 M]vcW 20.6 迭代指令 408 4'RyD<K\ 20.7 报表模版 408 *G7/ 20.8 开始设计一个报表模版 409 8rx?mX,} 21 一个新的project 413 s["8QCd"r 21.1 创建一个新Job 414 U\*}} 21.2 默认设计 415 B>AmH%f/ 21.3 薄膜设计 416 WA\
P`'lg 21.4 误差的灵敏度计算 420 LK-2e$1 21.5 显色指数计算 422 DZ<q)EpC 21.6 电场分布 424 &"p7X>bd 后记 426 6F(;=iY8 对此书有兴趣可以扫码加微联系 2/<VoK0b
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