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P,y*H_@k 内容简介 IQ_2(8Kv Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ab? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 7PG&G5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 *nUD6(@g Ara D_D 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ,!U._ic'B 目录 N)Fy#6 Preface 1 QDCu 内容简介 2 tr 8a_CV 目录 i h3rdqx1 1 引言 1 !#0Lo->OO 2 光学薄膜基础 2 X
yi[z
tN 2.1 一般规则 2 LQT^1|nq 2.2 正交入射规则 3 k<p$BZ 2.3 斜入射规则 6 f7B)iI! 2.4 精确计算 7 'TWZ@8h~ 2.5 相干性 8 k}T#-Gb 2.6 参考文献 10 &,B\ig1Jf 3 Essential Macleod的快速预览 10 E ,5XX;| 4 Essential Macleod的特点 32 K=|x"6\ 4.1 容量和局限性 33 "
`rkp= 4.2 程序在哪里? 33
ismx evD 4.3 数据文件 35 ^NZq1c 4.4 设计规则 35 J^tLK T B 4.5 材料数据库和资料库 37 O iRhp( 4.5.1材料损失 38 l{tpFu9v 4.5.1材料数据库和导入材料 39 l-` M
9# 4.5.2 材料库 41 X|!VtO 4.5.3导出材料数据 43 }7p`8? 4.6 常用单位 43 #-S%aeB 4.7 插值和外推法 46 o6L eC* 4.8 材料数据的平滑 50 Zpfsh2` 4.9 更多光学常数模型 54 OwhMtYq 4.10 文档的一般编辑规则 55 Wk1o H 4.11 撤销和重做 56 v@_}R_pX 4.12 设计文档 57 {%g]Ym= 4.10.1 公式 58 t[HfaW1W 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 , y%!s27 4.10.3 沉积密度 59 _a?c,<A 4.10.4 平行和楔形介质 60 #{-l(016y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 -/ 5" Py 4.10.4 性能 61 9H^$cM9C 4.10.5 保存设计和性能 64 ^0oOiZs 4.10.6 默认设计 64 VX+:k.} 4.11 图表 64 +<#0V!DM 4.11.1 合并曲线图 67 }HdibCAOf 4.11.2 自适应绘制 68 8YroEX[5l 4.11.3 动态绘图 68 3d<Z##`{4 4.11.4 3D绘图 69 4%k{vo5i 4.12 导入和导出 73 )1#J4 4.12.1 剪贴板 73 {O24:'K& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 N %;bV@A9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 yU ?TdM\ 4.13 背景 77 p'SclH[ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [ PXv8K%]p 4.15 生成Rugate 84 | ]#PF* 4.16 参考文献 91 -M\ae 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 =i'APeNaQ 5.1 Jobs 92 e,J
q<=j 5.2 创建一个新Job(工作) 93
862e 5.3 输入材料 94 o:oQF[TcFO 5.4 设计数据文件夹 95 KK-}&N8 5.5 默认设计 95 2c)Ez? 6 细化和合成 97 &E&_Z6# 6.1 优化介绍 97 ~m`j=ot 6.2 细化 (Refinement) 98 pi?$h"y7Q 6.3 合成 (Synthesis) 100 i
n$~(+ 6.4 目标和评价函数 101 mbSG 6.4.1 目标输入 102 yLpsK[)}\ 6.4.2 目标 103 =Oyn< 6.4.3 特殊的评价函数 104 utSW> 6.5 层锁定和连接 104 [2*?b/q3J 6.6 细化技术 104 t,D7X1W 6.6.1 单纯形 105 l~mC$>f 6.6.1.1 单纯形参数 106 9E`Laf 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 (FVHtZi7 6.6.2.1 Optimac参数 108 ya`Z eQ-p 6.6.3 模拟退火算法 109 OSu/!Iv\ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 BIQQJLu 6.6.4 共轭梯度 111 B>]4NF\)H9 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 >6X$iBb0 6.6.5 拟牛顿法 112 C-2{<$2k 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 1n3XB+* 6.6.6 针合成 113 l&JV.}qGB8 6.6.6.1 针合成参数 114 oy[>`qyz 6.6.7 差分进化 114 uT#4"G9A[ 6.6.8非局部细化 115 (T65pP_P 7 6.6.8.1非局部细化参数 115 5MX7V4ist 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ro}WBv 6.7.1 细化 116 DH9p1)L' 6.7.2 合成 117 c^F@9{I 6.8 参考文献 117 w ]%EJ|' 7 导纳图及其他工具 118 %4$J.6M 7.1 简介 118 6<t<hP_3O 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 u.yjk/jF 7.2.1 四分之一波长规则 119 kac-@ 7.2.2 导纳图 120 3[*x'"Q;H 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 9EFQo^
E 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ]broU%#" 7.5 斜入射导纳图 141 ^1w<wB\B 7.6 对称周期 141 ]H-5 7.7 参考文献 142 };m.8(}$) 8 典型的镀膜实例 143 `ElJL{Rn 8.1 单层抗反射薄膜 145 -`cNRd0n 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 QHHj.ZY 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 *KYh_i 8.4 W-膜层 148 ]^>RBegJBO 8.5 V-膜层 149 &iTTal.6 8.6 V-膜层高折射基底 150 boeIO\2}P0 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 -IE=?23Do? 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 |-Q="7b% 8.9 四层抗反射薄膜 153 w678 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 W.sH 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 b O9PpOk+z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 WQ1K8B4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ],|; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Sp-M:,H3H 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |Duf
3u 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 fn3DoD+I 8.17 1/4波长堆栈 162 JWsOze8# 8.18 陷波滤波器 163 SYYg
2I 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 &BOG&ot 8.20 褶皱 165 0f;`Zj0l8 8.21 消偏振分光器1 169 gg?O0W{ 8.22 消偏振分光器2 171 u`gY/]y! 8.23 消偏振立体分光器 172 z{(c-7* 8.24 消偏振截止滤光片 173 WqRaD=R->; 8.25 立体偏振分束器1 174
3J}/<&wv 8.26 立方偏振分束器2 177 OrRU$5Lo 8.27 相位延迟器 178 @$7l 8.28 红外截止器 179 92D :!C 8.29 21层长波带通滤波器 180 *@E&O^%cO 8.30 49层长波带通滤波器 181 2PViY,V| 8.31 55层短波带通滤波器 182 +5N09$f;R 8.32 47 红外截止器 183 9xRor< 8.33 宽带通滤波器 184 \Lz4ZZjSY 8.34 诱导透射滤波器 186 |IZFWZd 8.35 诱导透射滤波器2 188 #eY?6Kjn 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }kF*I@:g 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !{S HlS 8.35 增益平坦滤波器 193 BDcA_=^R& 8.38 啁啾反射镜 1 196 evE$$# 6R 8.39 啁啾反射镜2 198 !glGW[r/7 8.40 啁啾反射镜3 199 &\5%C\0Z< 8.41 带保护层的铝膜层 200 Eemk2>iP? 8.42 增加铝反射率膜 201 &d 6 8.43 参考文献 202 9$ =o({ 9 多层膜 204 oLc 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 en8l:INX 9.2 内部透过率 204 s-e<&*D[ 9.3 内部透射率数据 205 +`+r\*C5 9.4 实例 206 %-O[%Dy 9.5 实例2 210 wh#x`Nc 9.6 圆锥和带宽计算 212 Uq=!>C8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 gVN&?`k*? 10 光学薄膜的颜色 216 +<7a$/L?4 10.1 导言 216 OcZ8:`=% 10.2 色彩 216 K)nn;j= 10.3 主波长和纯度 220 &-(p~[| 10.4 色相和纯度 221 ~Aoo\fN_U 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Qg5-I$0 10.6 色差 226 *6QmYq6c< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (T8dh| 10.8 颜色渲染指数 234 -3|i5,f 10.9 色差计算 235 I7HP~v~ 10.10 参考文献 236 Z:Nm9m 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 B+n(K+ 11.1 短脉冲 238 &)F#cVB 11.2 群速度 239
$&to( 11.3 群速度色散 241 la*c/* 11.4 啁啾(chirped) 245 ds<q"S{p 11.5 光学薄膜—相变 245 a{!
8T 11.6 群延迟和延迟色散 246 S1E=EVG 11.7 色度色散 246 V38v2LI 11.8 色散补偿 249 7gP8K`w?[ 11.9 空间光线偏移 256 t_{rKb,
11.10 参考文献 258 vj+ S 12 公差与误差 260 )/4U]c{- 12.1 蒙特卡罗模型 260 0|OmQ\SQ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 '/GZ,~q 12.2.1 误差工具 267 ~/1eF7 12.2.2 灵敏度工具 271 BV512+M 12.2.2.1 独立灵敏度 271 5 $:
q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 z]0UW\S/ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 A"no!AN 12.3 参考文献 276 [LrA_N 13 Runsheet 与Simulator 277 &46Ro|XE` 13.1 原理介绍 277 3`>nQ4zC 13.2 截止滤光片设计 277 WG(%Pkowv 14 光学常数提取 289 @Yzc?+x 14.1 介绍 289 "&N1$$ 14.2 电介质薄膜 289 QP1bm]QYA 14.3 n 和k 的提取工具 295 V8IEfU 14.4 基底的参数提取 302 U(u$5 14.5 金属的参数提取 306 ^laf!kIP 14.6 不正确的模型 306 -A;4"" 14.7 参考文献 311 N
Uq'96{Y 15 反演工程 313 EP}NT)z,{ 15.1 随机性和系统性 313 0\Ga&Q0-(O 15.2 常见的系统性问题 314 k5TPzm=y{ 15.3 单层膜 314 8[mj*^P 15.4 多层膜 314 iVqa0Gl+} 15.5 含义 319 TP?HxO_C 15.6 反演工程实例 319 t9+ME| 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 h;`]rK;g 15.6.2 反演工程提取折射率 327 t*cVDA&K |