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z$C}V/Ey 内容简介 vr/*z euA Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <2{g[le 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Q*&k6A"jx 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _[M*o0[@W cHP~J%&L 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 gqw
]L>Z 目录 B*B}eXUph Preface 1 Vh=10Et 内容简介 2 ?o$ hlX 目录 i re[v}cB 1 引言 1 FK
?g 2 光学薄膜基础 2 II; 2.1 一般规则 2 Ts)ox}rYVm 2.2 正交入射规则 3 DNwqi" 2.3 斜入射规则 6 O7,)#{ 2.4 精确计算 7 [ H|ifi 2.5 相干性 8 U}hQVpP# 2.6 参考文献 10 3;v%78[&P 3 Essential Macleod的快速预览 10 4+?d0 4 Essential Macleod的特点 32 df9jT?l 4.1 容量和局限性 33 (
&N`N1 4.2 程序在哪里? 33 NW?.Ge.!P 4.3 数据文件 35 G)cEUEf
d 4.4 设计规则 35 mLGbwm'K 4.5 材料数据库和资料库 37 >_esLsPWh] 4.5.1材料损失 38 EUGN`t-M 4.5.1材料数据库和导入材料 39 `!- w^~c 4.5.2 材料库 41 MbbKo-7F$ 4.5.3导出材料数据 43 \A#YL1hh 4.6 常用单位 43 iC(&U YL 4.7 插值和外推法 46 <e)u8+( 4.8 材料数据的平滑 50 u/6b.hDO 4.9 更多光学常数模型 54 V)q|U6R 4.10 文档的一般编辑规则 55 7^bde<0 4.11 撤销和重做 56 3+~m 9:9 4.12 设计文档 57 m0M;f+^ 4.10.1 公式 58 SyL:=NZ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;;f&aujSHD 4.10.3 沉积密度 59 @vHj>N 4.10.4 平行和楔形介质 60 VUd=|$'J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /U@T#S 4.10.4 性能 61 a|Yry 4.10.5 保存设计和性能 64 #]SiS2lM# 4.10.6 默认设计 64 LWX,u 4.11 图表 64 mto=_|gn 4.11.1 合并曲线图 67 <4Ev3z*;Z 4.11.2 自适应绘制 68 RvXK?mL4F 4.11.3 动态绘图 68 3OZu v};k 4.11.4 3D绘图 69 P[L] S7FTr 4.12 导入和导出 73 MdKkj[# 4.12.1 剪贴板 73 GI.=\s 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,Y+J.8.H 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1^v?Ly8 4.13 背景 77 <h"07.y 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 CT2L }5L& 4.15 生成Rugate 84 myq:~^L
; 4.16 参考文献 91 ,RXfJh 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (?W[#.=7 5.1 Jobs 92 ]:g;S,{ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Ew, 1*WK! 5.3 输入材料 94 *h9S\Pv>j 5.4 设计数据文件夹 95 9$Dsm@tX 5.5 默认设计 95 42B_8SK 6 细化和合成 97 %D_pTD\ 6.1 优化介绍 97 !8jr $ 6.2 细化 (Refinement) 98 +!6dsnr8 6.3 合成 (Synthesis) 100 /$-Tg)o5i 6.4 目标和评价函数 101 'h*^;3@* 6.4.1 目标输入 102 IN!,|)8s 6.4.2 目标 103 d(t$riFX} 6.4.3 特殊的评价函数 104 Gm1[PAj 6.5 层锁定和连接 104 a9%^Jvm" 6.6 细化技术 104 {];8jdg/? 6.6.1 单纯形 105 aK+jpi4? 6.6.1.1 单纯形参数 106 0x1#^dII 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 I&Dp~aEM] 6.6.2.1 Optimac参数 108 -ufO,tJRLL 6.6.3 模拟退火算法 109 ]>_Ie?L)< 6.6.3.1 模拟退火参数 109 @gM>Lxj 6.6.4 共轭梯度 111 e6y,)W"WW2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]>T4\?aC 6.6.5 拟牛顿法 112 &)Z!A*w] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 iD"9,1@~n 6.6.6 针合成 113 h8zl\ 6.6.6.1 针合成参数 114 ipi^sCYp 6.6.7 差分进化 114 %HWebZ-yY 6.6.8非局部细化 115 3@*orm>em 6.6.8.1非局部细化参数 115 40i]I@:JK 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *=
;M',nx 6.7.1 细化 116 #[LnDU8>9 6.7.2 合成 117 uKF)'gj 6.8 参考文献 117 m]"13E0*x 7 导纳图及其他工具 118 'Z{_ws 7.1 简介 118 $kD;*v= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6a MG!_jC 7.2.1 四分之一波长规则 119 T=~D>2C 7.2.2 导纳图 120 K.P1| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pf@H;QS` 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 -qW[.B 7.5 斜入射导纳图 141 FbU98n+z 7.6 对称周期 141 XUK!1} 7.7 参考文献 142 VX{9g#y$j 8 典型的镀膜实例 143 ]ML(=7z" 8.1 单层抗反射薄膜 145 zMI_8lNz 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 2M`:/ shq 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 JIH6! 8.4 W-膜层 148 HA# 9y;\ 8.5 V-膜层 149 S?BI)shmg 8.6 V-膜层高折射基底 150 umJ!j&( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 eWw#
T^ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 MUjfqxTT 8.9 四层抗反射薄膜 153 P;7
Y9} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 1Vi3/JM@ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 K@R *
V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 |%~Zo:Q<$> 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 +B#+' 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 0~( f<: 8.15十五层宽带抗反射膜 159
M4rK 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 +ebmve \+ 8.17 1/4波长堆栈 162 ?VRf5 Cr- 8.18 陷波滤波器 163 p?idl`?^3 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 CA[3R 8.20 褶皱 165 *MD\YFXR 8.21 消偏振分光器1 169 ,B8u?{O 8.22 消偏振分光器2 171 Gw@]w;ed 8.23 消偏振立体分光器 172 tmVGJ+gz 8.24 消偏振截止滤光片 173 _i@4R< 8.25 立体偏振分束器1 174 gF53[\w^v 8.26 立方偏振分束器2 177 :rzq[J^ 8.27 相位延迟器 178 WT_4YM\bz 8.28 红外截止器 179 QTLGM-Z 8.29 21层长波带通滤波器 180 dHO8 bYBH 8.30 49层长波带通滤波器 181 NO'37d 8.31 55层短波带通滤波器 182 d,+a}eTP' 8.32 47 红外截止器 183 gT0N\oU" 8.33 宽带通滤波器 184 /_{B_2i/> 8.34 诱导透射滤波器 186 #Et%s8{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 \iQ{Q&JR: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 yq<mE(hS? 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 :JD*uu 8.35 增益平坦滤波器 193 2R=Fc@MXs 8.38 啁啾反射镜 1 196 ms/!8X$Mz 8.39 啁啾反射镜2 198 qS?uMms7w 8.40 啁啾反射镜3 199 b-Xc6f 8.41 带保护层的铝膜层 200 6i7+.#s 8.42 增加铝反射率膜 201 W"[Q=$2<< 8.43 参考文献 202 ,(y6XUV~ 9 多层膜 204 ;w(tXcXZ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 {"WfA 9.2 内部透过率 204 ,.,spoV 9.3 内部透射率数据 205 ^=@`U_(,G 9.4 实例 206 {\p&? 9.5 实例2 210 1G`zwfmh~ 9.6 圆锥和带宽计算 212 `:#IZ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 4Gor*{ 10 光学薄膜的颜色 216 \6L,jSoBl 10.1 导言 216 PW QRy 10.2 色彩 216 {NTMvJLm 10.3 主波长和纯度 220 LCMZw6p 10.4 色相和纯度 221 /Dj-@7.C/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 t`Lh(` 10.6 色差 226 k^Qd%;bdF 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 5lrjM^E| 10.8 颜色渲染指数 234 ~v|NC([( 10.9 色差计算 235 *&O4b3R 10.10 参考文献 236 /|LQ?n 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 .8]buM5_G 11.1 短脉冲 238 hq*"S-N 11.2 群速度 239 @Pb%dS 11.3 群速度色散 241 ';zS0Yk 11.4 啁啾(chirped) 245 hn[lhC 11.5 光学薄膜—相变 245 6R#.AD\
11.6 群延迟和延迟色散 246 *|({(aZ 11.7 色度色散 246 .
ytxe!O 11.8 色散补偿 249 T o$D[- 11.9 空间光线偏移 256 JsK_q9]$e 11.10 参考文献 258 k, >*.Yoh 12 公差与误差 260 b"pN; v 12.1 蒙特卡罗模型 260 moCr4*jDX, 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 %v)+]Ds{ 12.2.1 误差工具 267 /K :H2?J 12.2.2 灵敏度工具 271 ',m!L@7M5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 r<OqI*7 12.2.2.2 灵敏度分布 275 +HkEbR'G0 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 `dJ?j[P,p 12.3 参考文献 276 V i<6i0 13 Runsheet 与Simulator 277 z`:tl7 13.1 原理介绍 277 5gKXe4}\/| 13.2 截止滤光片设计 277 3DOc,}nI~@ 14 光学常数提取 289 7-("ppYX= 14.1 介绍 289 Ti>2N 14.2 电介质薄膜 289 ->rudRQ 14.3 n 和k 的提取工具 295 .1F41UyL 14.4 基底的参数提取 302 >=K~*$&> 14.5 金属的参数提取 306 7;@o]9 W 14.6 不正确的模型 306 auHP^O>4L 14.7 参考文献 311 Wxzh'c#\8 15 反演工程 313 Q`!<2i; 15.1 随机性和系统性 313 ;T3}#Q*qC 15.2 常见的系统性问题 314 3U4h>T@s| 15.3 单层膜 314 (nAg
~i 15.4 多层膜 314 oD3Q{e 15.5 含义 319 _#y=T20'3 15.6 反演工程实例 319 @m+FAdA 0 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 so_^%)
gdJ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Yv"-_ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 >uR;^ B5m 16.1 光学性质的热致偏移 329 u85?f 16.2 应力工具 335 :RDQP 16.3 均匀性误差 339 iJb-F*_y 16.3.1 圆锥工具 339 %9b TfX" 16.3.2 波前问题 341 C *]XQ1F4 16.4 参考文献 343 `teaE7^Wm 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 oH1]-Nl$ 17.1 引言 345 JlE b 17.2 操作数 345 ?P"j5 18 如何在Function中编写脚本 351 \4Z"s[8} 18.1 简介 351 j$Vtd& 18.2 什么是脚本? 351 ^w*&7.Z 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 N4w&g- 18.4 基础 352 G5*_ 18.4.1 Classes(类别) 352 cv9-ZOxJ 18.4.2 对象 352 yX1OJg[s, 18.4.3 信息(Messages) 352 cB_3~=fV 18.4.4 属性 352 lin 18.4.5 方法 353 So]O`RJv 18.4.6 变量声明 353 nmoC(| r 18.5 创建对象 354 Hh'o:j(^ 18.5.1 创建对象函数 355 G\#dMCk? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 NT<}-^ 18.5.3 丢弃对象 356 ZU.f)94u 18.5.4 总结 356 #Ti5G"C 18.6 脚本中的表格 357 F32U;fp3 18.6.1 方法1 357 :tp{(MF 18.6.2 方法2 357 Q+Ya\1$6A 18.7 2D Plots in Scripts 358 [-h=L
Jf# 18.8 3D Plots in Scripts 359 #Kt5+"+7 18.9 注释 360 vjd;*ORB 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 EHda 18.11 一个更高级的脚本 362 S<>u 18.12 <esc>键 364 VE*&t>I 18.13 包含文件 365 M[6WcH0/T 18.14 脚本被优化调用 366 (5>IF,}!L 18.15 脚本中的对话框 368 '
eH Fa 18.15.1 介绍 368 T^H`$;\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >/7[HhBT 18.15.3 输入框函数 370 85#+_}# 18.15.4 自定义对话框 371 ]lA.? 18.15.5 对话框编辑器 371 fX}dQN~z 18.15.6 控制对话框 377 +?uZ~VSl 18.15.7 更高级的对话框 380 `.YMbj#T 18.16 Types语句 384 .2/W.z2 18.17 打开文件 385 9On(b|mT 18.18 Bags 387 >qci$ 18.13 进一步研究 388 M(.Up 19 vStack 389 =EUi|T4: 19.1 vStack基本原理 389 1VB{dgr 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ju(QSZ|; 19.3 五棱镜 393 ::!{f+Up 19.4 光束距离 396 &I?d(Z=:\ 19.5 误差 399 R![1\Yv& 19.6 二向分色棱镜 399 L%fJH_$_s 19.7 偏振泄漏 404 ;\gHFG} 19.8 波前误差—相位 405 ci`N,&:R 19.9 其它计算参数 405 e'&<DE) 20 报表生成器 406 zwdi$rM5 20.1 入门 406 WxS$yUu 20.2 指令(Instructions) 406 UE
K$ 20.3 页面布局指令 406 >?ckBU9 20.4 常见的参数图和三维图 407 ?#VkzT 20.5 表格中的常见参数 408 5j#XNc)" 20.6 迭代指令 408 7_ao?}g 20.7 报表模版 408 |oTA$bln 20.8 开始设计一个报表模版 409 8&++S> < 21 一个新的project 413 XXC(R 21.1 创建一个新Job 414 z?Qt%1q 21.2 默认设计 415
ui1h M 21.3 薄膜设计 416 pR7 D3Q:^7 21.4 误差的灵敏度计算 420 {WN??eys, 21.5 显色指数计算 422 Xv?'*2J 21.6 电场分布 424 'L ]k\GO 后记 426 2qDVAq^@ 对此书有兴趣可以扫码加微联系 =l1O9/\9
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