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=`OnFdI 内容简介 S7h?tR*u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >* h3u7t 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Zq" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 K#kMz#B+i mO0}Go8 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Zv5vYe9Ow 目录 uWkn}P Preface 1 {:TOm0eK 内容简介 2 U.pGp]\Q)G 目录 i q+U&lw|"w 1 引言 1 :zQNnq:| 2 光学薄膜基础 2 X!|K 4Z!k 2.1 一般规则 2 f/vsf&^O 2.2 正交入射规则 3 Y<;KKD5P'j 2.3 斜入射规则 6 /wPW2<|"X. 2.4 精确计算 7 6^sH3=# 2.5 相干性 8 ,FK.8c 6g 2.6 参考文献 10 Y(;u)uN_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 I#:Dk?"O2 4 Essential Macleod的特点 32 @y/!`Ziw 4.1 容量和局限性 33 }q=tg9 4.2 程序在哪里? 33 4O7
{a 4.3 数据文件 35 ?>DwNz^.! 4.4 设计规则 35 CE7{>pl 4.5 材料数据库和资料库 37 }t0JI3 4.5.1材料损失 38 P*/ig0_fM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9cQ;h37J> 4.5.2 材料库 41 v<vaPvW 4.5.3导出材料数据 43 X}Fqif4A 4.6 常用单位 43 4l@aga 4.7 插值和外推法 46 yJ*g ; 4.8 材料数据的平滑 50 &HtG&RvQf 4.9 更多光学常数模型 54
tPChVnB 4.10 文档的一般编辑规则 55 V?- ]ZkI 4.11 撤销和重做 56 ltlnXjRUv 4.12 设计文档 57 vu~7Z;y(<j 4.10.1 公式 58 g4Nl"s*~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 F./P,hhN9 4.10.3 沉积密度 59 3/Dis)
v8 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;umbld0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 kC
iOcl*$ 4.10.4 性能 61 H`nd | 4.10.5 保存设计和性能 64 vT#m 8Kg 4.10.6 默认设计 64 ?nwg.&P 4.11 图表 64 9>/:c\q+ 4.11.1 合并曲线图 67 ,VZ<r5NT 4.11.2 自适应绘制 68 ,[[Xo;q 4.11.3 动态绘图 68 NBD1k; 4.11.4 3D绘图 69 [6CWgQ%Ue 4.12 导入和导出 73 0,wmEV!) 4.12.1 剪贴板 73 11B8 LX 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 M%2w[<-8c 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 fv:&?gc 4.13 背景 77 "QmlW2ysi 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 W#foVAi . 4.15 生成Rugate 84 x\!vr. 4.16 参考文献 91 p/gf 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 22Oe~W; 5.1 Jobs 92 [Uw3.CVh 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .xe+cK 5.3 输入材料 94 G|j8iV O 5.4 设计数据文件夹 95 }CvhLjo 5.5 默认设计 95 COcS
w 6 细化和合成 97 .[o`TlG% 6.1 优化介绍 97 s lYC\"$ 6.2 细化 (Refinement) 98 WfYC`e7q 6.3 合成 (Synthesis) 100 z
q@"qnr 6.4 目标和评价函数 101 %t%D|cf 6.4.1 目标输入 102 toel!+ 6.4.2 目标 103 ~8Ez K_c 6.4.3 特殊的评价函数 104 P9M. J^< 6.5 层锁定和连接 104 Ph17(APt,Q 6.6 细化技术 104 9-EdT4=r, 6.6.1 单纯形 105 5>>JQ2'W 6.6.1.1 单纯形参数 106 aK--D2@}i 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]JlM/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 zd3^k< 6.6.3 模拟退火算法 109 |H;+9( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 LzD,]{CC5 6.6.4 共轭梯度 111 Q1P=A:*]9 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @"n]v)[4 6.6.5 拟牛顿法 112 I[P_j`aE 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 RP%FMb}nt 6.6.6 针合成 113 ]%+T+zg(Y 6.6.6.1 针合成参数 114 /|8/C40aY 6.6.7 差分进化 114 k;
ned 6.6.8非局部细化 115 j`%a2 6.6.8.1非局部细化参数 115 ^=y%s 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Wo~;h(6 6.7.1 细化 116
BO'7c1FU 6.7.2 合成 117 \I 7,1I 6.8 参考文献 117 ;+rcT;_^/ 7 导纳图及其他工具 118 U<wM#l
P|Z 7.1 简介 118 +O@|bd\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Tb!jIe 7.2.1 四分之一波长规则 119 :~'R| l 7.2.2 导纳图 120 j>Cp4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 d8&T62Dnd4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 fy={ 7.5 斜入射导纳图 141 MbXtmQ%C8 7.6 对称周期 141 mJ+mTA5bW 7.7 参考文献 142 6b\JD.r*{ 8 典型的镀膜实例 143 d*l2x[8}g- 8.1 单层抗反射薄膜 145 j>#ywh*A 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 SEIJ+u9XsA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 I[bWd{i: 8.4 W-膜层 148 0+Q;a 8.5 V-膜层 149 "8/BVW^bv 8.6 V-膜层高折射基底 150 &S8,-~U 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 [!U!
Z'i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 FLLfTkXdI 8.9 四层抗反射薄膜 153 "/d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 h/..cVD,K 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 LQJC ]*b1 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 jQdIeQD+ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 !&R|P|7qN} 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Dmr3r[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 YA~`R~9d 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 VCa`|S?2 8.17 1/4波长堆栈 162 Z*YS7 ~ 8.18 陷波滤波器 163 8BX9JoDi 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 NV`=T?1[5 8.20 褶皱 165 N[;R8SP 8.21 消偏振分光器1 169 %Q zk aXJ 8.22 消偏振分光器2 171 rtz ]PH 8.23 消偏振立体分光器 172 ]:~z#k|2@6 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^>#@qMw 8.25 立体偏振分束器1 174 wLy:S .r 8.26 立方偏振分束器2 177 |J:m{ 8.27 相位延迟器 178 (;(2n;i[M 8.28 红外截止器 179 iO 7s zi 8.29 21层长波带通滤波器 180 qEfg-`*M 8.30 49层长波带通滤波器 181 +7r?vo1 8.31 55层短波带通滤波器 182 VbX$\Cs: 8.32 47 红外截止器 183 Qb' Q4@. 8.33 宽带通滤波器 184 ;OSEMgB1 8.34 诱导透射滤波器 186 d^I:{Ii' 8.35 诱导透射滤波器2 188 na_Wp^; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 [FeN(8hGS 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 [@/s! i @ 8.35 增益平坦滤波器 193 Yduj3Ht:w 8.38 啁啾反射镜 1 196 R/l/GNm 8.39 啁啾反射镜2 198 /}nq?Vf 8.40 啁啾反射镜3 199 9!s)52qt 8.41 带保护层的铝膜层 200 ?gG%FzfQ/ 8.42 增加铝反射率膜 201 q>[}JtXK 8.43 参考文献 202 9b)'vr*Hy7 9 多层膜 204 D;6C2>U~L 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 N'YQ6U 9.2 内部透过率 204 ]~4*ak=)5\ 9.3 内部透射率数据 205 ! l"*DR 9.4 实例 206 "s7}eWM*a 9.5 实例2 210 aMaqlqf 9.6 圆锥和带宽计算 212 !r4B1fX 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 T2 /u7<D- 10 光学薄膜的颜色 216 \omfWWpK 10.1 导言 216 <=@6UPsn2 10.2 色彩 216 BKQwF*<V 10.3 主波长和纯度 220 j<}y( ~ 10.4 色相和纯度 221 ORFi0gFbA 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 n_4BNOZ~ 10.6 色差 226 60r0O5=|Fl 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 6o~g3{Ow 10.8 颜色渲染指数 234 C@ "l" 10.9 色差计算 235 /`g~lww2O 10.10 参考文献 236 2C#b-Y1~N 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `Wp y6o 11.1 短脉冲 238 8r48+_y3u 11.2 群速度 239 0xUn#&A~ 11.3 群速度色散 241 +5H1n(6) 11.4 啁啾(chirped) 245 Z._%T$8aJv 11.5 光学薄膜—相变 245 T 2Gscey 11.6 群延迟和延迟色散 246 a#m T@l\ 11.7 色度色散 246 ,$"T/yYer 11.8 色散补偿 249 6&,9=(:J&R 11.9 空间光线偏移 256 =r^Pu| 11.10 参考文献 258 9Rb
tFwbn 12 公差与误差 260 DS0:^TLI 12.1 蒙特卡罗模型 260 vUB*Qm]Y\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *OHaqe(* 12.2.1 误差工具 267 ,{BF`5bn| 12.2.2 灵敏度工具 271 a6hDw'8! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 %[BOe4[
12.2.2.2 灵敏度分布 275 r_pZK(G% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 M)CQ|P 12.3 参考文献 276 A4Tjfc,rx9 13 Runsheet 与Simulator 277 pI}6AAs}Z 13.1 原理介绍 277 Z=^~]Mfa 13.2 截止滤光片设计 277 $mn+ 14 光学常数提取 289 9HZR%s[J 14.1 介绍 289 6d;RtCENo 14.2 电介质薄膜 289 'y|p)r" 14.3 n 和k 的提取工具 295 ,b74m 14.4 基底的参数提取 302 B4w/cIj_ 14.5 金属的参数提取 306 -8z@FLUK- 14.6 不正确的模型 306 PF0AU T 14.7 参考文献 311 sNsWz.DLT# 15 反演工程 313 D}nIF7r2N 15.1 随机性和系统性 313 h4=7{0[ 15.2 常见的系统性问题 314 4*?i!<N9 15.3 单层膜 314 .`/6[Zp 15.4 多层膜 314 _"lW 15.5 含义 319 :nxBM#:xu 15.6 反演工程实例 319 )uy2,`z 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4Vv$bbu+ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 $8fJ DN 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Qp~3DUM 16.1 光学性质的热致偏移 329 .]ZMxDZ 16.2 应力工具 335 +}Qq#^:_\ 16.3 均匀性误差 339 WJii0+8e 16.3.1 圆锥工具 339 ]".SW5b_ 16.3.2 波前问题 341 1a'0cSH 16.4 参考文献 343 K#[z5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [cw>; \J 17.1 引言 345 O{wt0 \P 17.2 操作数 345 Jv59zI 18 如何在Function中编写脚本 351 !5K5;M_Ih" 18.1 简介 351 @^,9O92l 18.2 什么是脚本? 351 sEcg;LFp 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 )CG,Udu 18.4 基础 352 zj7?2 18.4.1 Classes(类别) 352 #BhcW"@ 18.4.2 对象 352 *iXaQu T 18.4.3 信息(Messages) 352 )KUEkslR: 18.4.4 属性 352 )\QPUdOvx 18.4.5 方法 353 7X/KQ97 18.4.6 变量声明 353 #~`d
;MC 18.5 创建对象 354 b:W
x[+ 18.5.1 创建对象函数 355 xQ>T.nP}1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ;I]$N]8YI 18.5.3 丢弃对象 356 \04(V'`U 18.5.4 总结 356 ^2"3h$DJfS 18.6 脚本中的表格 357 M Jtn)gXb 18.6.1 方法1 357 mC./,a[ 18.6.2 方法2 357 Io]KlR@!T 18.7 2D Plots in Scripts 358 !]=S A & 18.8 3D Plots in Scripts 359 }/M`G]wT# 18.9 注释 360 BH2JH>'X 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 [Ee <SB{ 18.11 一个更高级的脚本 362 <Eh_ 18.12 <esc>键 364 5@`dKFB5 18.13 包含文件 365 )X'ln 18.14 脚本被优化调用 366 3(=QY) 18.15 脚本中的对话框 368 MbyV_A`r_ 18.15.1 介绍 368 x1`zD*{ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 K'S\$ 18.15.3 输入框函数 370 zQx6r
. 18.15.4 自定义对话框 371 #EIcP=1m4 18.15.5 对话框编辑器 371 8eD/9PD=F 18.15.6 控制对话框 377 a`8svo;VUO 18.15.7 更高级的对话框 380 4[n[Ch=lu 18.16 Types语句 384 6(V"xjK 18.17 打开文件 385 3'6by!N,d 18.18 Bags 387 UaM&/K9 18.13 进一步研究 388 |!uC [= 19 vStack 389 2R~[B]2"r 19.1 vStack基本原理 389 +p0Y*. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 =$WDB=i 19.3 五棱镜 393 /R[PsB 19.4 光束距离 396 QUz_2rN^ 19.5 误差 399 w!
':Ws 19.6 二向分色棱镜 399 %QFeQ(b/( 19.7 偏振泄漏 404 DUyUA'*4n| 19.8 波前误差—相位 405 #s|,oIm 19.9 其它计算参数 405 ?EA&kZR] 20 报表生成器 406 !s47A"O&B 20.1 入门 406 ad`=A V ] 20.2 指令(Instructions) 406 YbP}d&L 20.3 页面布局指令 406 C &&33L 20.4 常见的参数图和三维图 407 F{F SmUxzK 20.5 表格中的常见参数 408 xZ>@wBQ 20.6 迭代指令 408 e)A{
{wD/ 20.7 报表模版 408 t[X,m]SX 20.8 开始设计一个报表模版 409 P B"nf|pm 21 一个新的project 413 :0(:}V3 z\ 21.1 创建一个新Job 414 %^(} fu 21.2 默认设计 415 .5+5ca 21.3 薄膜设计 416 tq2TiXo% 21.4 误差的灵敏度计算 420 K"g`,G6S 21.5 显色指数计算 422 G[\3)@I 21.6 电场分布 424 >(eR0.x 后记 426 e\ O&Xe 对此书有兴趣可以扫码加微联系 q]OgT4ly
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