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    [求助]第一层速率问题 [复制链接]

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    在线renlgj
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-26
    关键词: 镀膜速率
    各位老师好,我家的镀膜机镀第一层时速度时-10多开始的,请问是什么原因?
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 08-28
    一般是温度造成的,如果有离子源,离子源挡板先开30秒;如果只是电子枪,那么开挡板后3S清零一次会比较好。
    在线renlgj
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    只看该作者 2楼 发表于: 09-15
    谢谢1楼,
    离线morningtech
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    只看该作者 3楼 发表于: 前天 15:58
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:一般是温度造成的,如果有离子源,离子源挡板先开30秒;如果只是电子枪,那么开挡板后3S清零一次会比较好。 (2024-08-28 22:26)  px1{=~V/  
    $}G03G@  
    膜林晶控仪内部有开挡板后,15秒(时间可设,在材料参数最后1页,如果是计算机控制,则参考材料1) 内出现的负厚度自动丢弃功能,无需外部清零。 -6KGQc}U  
    《探头与接口》界面可以看到,最近一次 自动丢弃的负厚度累计值,很有意思的。 Ll !J!{  
    其实几乎每一层开始前都会有这一现象的。而不仅仅是第一层。