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    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 8)\Td tBf9  
    yw `w6Z3K  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 ^ #B`GV  
    /oKa?iT  
    K'kWL[Ut!  
    概述 5,cq-`  
    }enm#0Ha  
    ~~!iDF\  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 .|^L\L(!  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 (S$ziV  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 vnwS &;-k~  
    48vKUAzx`  
    u&z5)iU  
    V]dzKNFi  
    衍射级次的效率和偏振
    XZde}zUWn  
    Yj)H!Cp.xD  
    }K1v=k  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 \CNv,HUm3  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 ))- B`vi  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 B*!{LjXV  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 {Z%4Pg  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 LI1OocY.]  
    d#xi_L!  
    5V5Nx(31i  
    光栅结构参数 D@A@5pvS  
    )F*;7]f  
    d+[GMIxg  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 gg $/  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 $L%gQkz_  
    •因此,选择以下光栅参数: P7np -I*  
    - 光栅周期:250 nm "I+71Ce  
    - 填充系数:0.5 8 :B(}Y4K  
    - 光栅高度:200 nm &v9*D`7L  
    - 材料n1:熔融石英 uv,&/ ,;S  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) "=8= G  
    uU_lC5A|  
    hDBVL"  
    P(AcDG6K  
    偏振状态分析 whFaL}2C  
    U0>Uqk",  
    _voU^-  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 sg0HYb%_E  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 (#,0\ea{x  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 6WUP#c@{  
    ${fJ]  
    |hGi8  
    #$k6OlK-r"  
    产生的极化状态 Z ,4G'[d  
    kq +`.  
    $;~  
    4FLL*LCNX  
    >Z%qkU/  
    其他例子 C.su<B?  
    cvSr><(  
    KlOL5"3  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 o+-G@ 16  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 +2X q+P  
    HYqDaRn  
    Ek#?B6s  
    {jVEstP  
    光栅结构参数 :x*#RnRr.  
    &.D#OnRh9  
    .]gY{_|x  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ]&;M 78^6  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 x ,LQA0  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 )GgO=J:o  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 bSbUf%LKt  
    WBOebv  
    )o51QgPy  
    光栅#1 EGD&/%aC  
    (zv)cw%  
    CEOD$nYc  
    RxUABF8b  
    JIJ79HB  
    •仅考虑此光栅。 )2lzPK t  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 BZUA/;Hz &  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 \~ACWF7l  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 Ic!8$NhRS  
    ?U^h:n  
    (bT3 r_  
    假设光栅参数: ;giW  
    •光栅周期:250 nm P%%[_6<%M  
    •光栅高度:660 nm A~Uqw8n$\  
    •填充系数:0.75(底部) 85fv])\y  
    •侧壁角度:±6° OsSGVk #Qh  
    •n1:1.46 estDW1i)  
    •n2:2.08 %+A z X  
    ]Sl]G6#Iwv  
    光栅#1结果 f*uD9l%/  
    c+_F}2)  
    'OERW|BO  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 ~sk{O%OI  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 \@%sX24D  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    S zqY@  
    ;R#:? r;t  
    k~P{Rm;F  
    +0)zB;~7  
    光栅#2 ? FlV<nE"J  
    ga#Yd}G^~3  
    utJz e  
    fD>0  
    h3z=tu['  
    •同样,只考虑此光栅。 >mWu+Nn:  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 ,vN0Jpf}\8  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 jT6zpi~]E  
    假设光栅参数: slV7,4S&!  
    •光栅周期:250 nm MZ/PXY  
    •光栅高度:490 nm x?|C-v  
    •填充因子:0.5 +ISXyGu  
    •n1:1.46 lMcSe8LBQa  
    •n2:2.08
    .JJ^w!|>#  
    HDTdOG)  
    光栅#2结果 TAXl73j_CY  
    #_zd`s3k  
    JW`Kh*,~<  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 TNvE26.(  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 p| #gn<z}  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 lvyD#|P  
    ;~Em,M"o  
    |B0.*te6  
     
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