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摘要 8)\TdtBf9 yw `w6Z3K 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 ^# B`GV /oKa?iT K'kWL[Ut! 概述 5,cq-` }enm#0Ha ~~!iDF\ •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 .|^L\L(! •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 (S$ziV •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 vnwS&;-k~ 48vKUAzx`
u&z5)iU V]dzKNFi 衍射级次的效率和偏振 XZde}zUWn Yj)H!Cp.xD }K1v=k •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 \CNv,HUm3 •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 ))- B`vi •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 B*!{LjXV •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 {Z%4Pg •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 LI1OocY.]
d#xi_L! 5V5Nx(31i 光栅结构参数 D@A@5pvS )F*;7]f d+[GMIxg •此处探讨的是矩形光栅结构。 gg
$/ •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 $L%gQkz_ •因此,选择以下光栅参数: P7np
-I* - 光栅周期:250 nm "I+71Ce - 填充系数:0.5 8 :B(}Y4K - 光栅高度:200 nm &v9*D`7L - 材料n1:熔融石英 uv,&/,;S - 材料n2:TiO2(来自目录) "=8= G uU_lC5A| hDBVL" P(AcDG6K 偏振状态分析 whFaL}2C U0>Uqk", _voU^- •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 sg0HYb%_E •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 (#,0\ea{x •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 6WUP#c@{ ${ fJ]
|hGi8 #$k6OlK-r" 产生的极化状态 Z
,4G'[d kq+`.
$;~ 4FLL*LCNX >Z%qkU/ 其他例子 C.su<B? cvSr><( KlOL5"3 •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 o +-G@16 •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 +2Xq+P HYqDaRn Ek#?B6s {jVEstP 光栅结构参数 :x*#RnRr. &.D#OnRh9 .] gY{_|x •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ]&;M78^6 •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 x,LQA0 •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 )GgO=J:o •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 bSbUf%LKt
WBOebv )o51QgPy 光栅#1 EGD&/%aC (zv)cw%
CEOD$nYc RxUABF8b JIJ79HB •仅考虑此光栅。 )2lzPK t •假设侧壁表现出线性斜率。 BZUA/;Hz & •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 \~ACWF7l •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 Ic!8$NhRS ?U^h:n (bT3
r_ 假设光栅参数: ;giW •光栅周期:250 nm P%%[_6<%M •光栅高度:660 nm A~Uqw8n$\ •填充系数:0.75(底部) 85fv] )\y •侧壁角度:±6° OsSGVk #Qh •n1:1.46 estDW1i) •n2:2.08 %+Az
X ]Sl]G6#Iwv 光栅#1结果 f*uD9l%/ c+_F}2)
'OERW|BO •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 ~sk{O%OI •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 \@%sX24 D •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 S zqY@ ;R#:? r;t k~P{Rm;F +0)zB;~7 光栅#2 ? FlV<nE"J ga#Yd}G^~3
utJz e fD>0 h3z=tu[' •同样,只考虑此光栅。 >mWu+Nn: •假设光栅有一个矩形的形状。 ,vN0Jpf}\8 •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 jT6zpi~]E 假设光栅参数: slV7,4S&! •光栅周期:250 nm MZ/PXY •光栅高度:490 nm x?|C-v •填充因子:0.5 +ISXyGu •n1:1.46 lMcSe8LBQa •n2:2.08 .JJ^w!|># HDTdOG) 光栅#2结果 TAXl73j_CY #_zd`s3k JW`Kh*,~< •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 TNvE26.( •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 p| #gn<z} •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 lvyD#|P ;~Em,M"o
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