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    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 >GiM?*cC  
    F9e$2J)C  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 XN"V{;OP1  
    "F+ 9xf&r  
    8w|j Z@  
    概述 NDB]8C  
    Z*kGWL  
    \n850PS  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 #VC^><)3  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 Do(7LidC5  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 2 G_*Pqc  
    J p .wg  
    ewgcpV|spn  
    yXNE2K  
    衍射级次的效率和偏振
    Q8M&nf  
    OgrUP  
    /U1GxX:P,  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 (0W%Y Z!&  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 ^h^2='p  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 8Es]WR5 ^  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 i{VjSWq  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 "zw?AC6  
    %_1~z[Dv  
    Wuosr3P  
    光栅结构参数 ]t1)8v2w>  
    -3Vx jycY  
    bm1ngI1oI  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 P58U8MEG  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 _\"P<+!  
    •因此,选择以下光栅参数: B>o\;)l3O  
    - 光栅周期:250 nm %kJ:{J+w]  
    - 填充系数:0.5 _OcgD<  
    - 光栅高度:200 nm !j4C:L3F  
    - 材料n1:熔融石英 @V] Wm1g  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) d"XS;;l%<  
    Vw9^otJu  
    SlZL%C;  
    xbo-~{  
    偏振状态分析 v5w I?HE  
    p`1d'n[  
    $EviGZFAaR  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 2{p`"xX  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 -ihF)^"a  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 vG\]xM'u  
    nB,FJJ{kb  
    P>pkLP} Vo  
    <4{@g]0RV  
    产生的极化状态 S97.O@V!$  
    7!oqn'#>A  
    7L;yN..0  
    I6y&6g  
    ADv a@P  
    其他例子 M|d[iaM,  
    h#]}J}si  
    ,l; &Tb=k  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 b daZ{5^{  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 &O0+\A9tP  
    tt J,rM  
    _5U Fml9  
    &v4w3'@1  
    光栅结构参数 l`I]eTo)^  
    P603P  
    XN=<s;U  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 fwsq:  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 7U.g4x|<  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 6^{ hY^Z  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 c_ygwO3.Q  
    Mh+'f 93  
    #Z$6> Xt  
    光栅#1 ~BS*x+M  
    {tR=D_5  
    :-"J)^V  
    mnmwO(.  
    oSa FmP  
    •仅考虑此光栅。 bq(*r:`"  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 n"FOCcTIs  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 6{7O  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 /WHhwMc!  
    =l7LEkR  
    @bqCs^U35  
    假设光栅参数: Gzp)OHgJ  
    •光栅周期:250 nm 7abq3OK+`  
    •光栅高度:660 nm "BFW&<1  
    •填充系数:0.75(底部) (6h7'r $  
    •侧壁角度:±6° er#we=h  
    •n1:1.46 2WUBJ-qnuT  
    •n2:2.08 'E&K%/d  
    Tl%4L % bE  
    光栅#1结果 zi-+@9T  
    cF(9[8c{  
    vQ_B2#U:  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 .9^;? Ts  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 $s]@%6 f  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    +] 5a(/m.~  
    \ 3LD^[qi  
    CIaabn  
    rk. UW  
    光栅#2 qFs<s<]  
    %[Ds-my2  
    /GeS(xzQ  
    [ThzLk#m  
    CqX%V":2  
    •同样,只考虑此光栅。 /uyQ>Y*-\Y  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 Xj@Kt|&`k  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 F Q k;  
    假设光栅参数: H~~(v52wD  
    •光栅周期:250 nm [KE4wz+s{  
    •光栅高度:490 nm jU#%@d6!#  
    •填充因子:0.5 ;< ][upn  
    •n1:1.46 \)#3S $L~  
    •n2:2.08
    fZ376Z:S$  
    +nZG!nP  
    光栅#2结果 b,`\"'1  
    xeH# )QJt  
    U)PumU+z$u  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 @'rO=(-b  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 [ho'Pc3A<  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 y(S0 2v>l  
    #rC/y0niH  
    /<2_K4(-{4  
     
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