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摘要 d!0rq4v7 /YHO"4Z 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 m x |V) $m2#oI'D n{sk 概述 nM2<u[{gF A?!RF7v 52tc|j6~# •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 ~ a`[p\ •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 0r1GGEW`s •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 |y eQz zHX\h[0f
F!ztU8, )-Hs]D: 衍射级次的效率和偏振 J#F5by%8 /u4RZ|&as `7:uc@ •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 nco.j: •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 wPjq
B{!Q •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 Rq5'=L •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 :! oJmvy •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 8e*skL
+?o!"SJ 4F#H$`:[ 光栅结构参数 @`4T6eL5 S7f.^8 VbvP!<8 •此处探讨的是矩形光栅结构。 _90D4kGU •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 w>^(w<~Y •因此,选择以下光栅参数: K!&W} _@l - 光栅周期:250 nm BA2"GJvfIA - 填充系数:0.5 HdqB B - 光栅高度:200 nm {k_\1t(/ - 材料n1:熔融石英 &`l\Q\_[@ - 材料n2:TiO2(来自目录) uv/\1N;V3 znsQ/[ nwKp8mfP [q2:d^_FA 偏振状态分析 uNyN[U : x&R'wX- t2(X •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 <WZ{<'ajI •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 &<98nT •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 "@eGgQ <@;}q^`
*zrGrk:l {S{ %KkAV 产生的极化状态 h8`On/Ur_8 rwLKY.J]
{wz)^A
sy );d 07\V
,XEIg 其他例子 mcd{:/^? <!Cjq,Sk7 ;m7G8)I •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 'cpm 4mT •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 U 3a2wK
Xs052c|s K`Kv .4 aKriO 光栅结构参数 )hrsA&1w
M/p9 I
gp ,yGbMOV •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ~ps,U •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 0Gs\x •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 uMw6b=/U •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 P!+Gwm{
;Yee0O!d4 #s~;ss , 光栅#1 I:TbZ*vi~ aG
}oI!
ruGJZAhIA^ A,_O=hA2I 0! 3. .5== •仅考虑此光栅。 2]mV9B •假设侧壁表现出线性斜率。 x;7l>uR •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 MTtx|L\4 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 O.B9w+G= )ovAG O $~b6H]"9 假设光栅参数: gvR]"h •光栅周期:250 nm ~ZVz
sNrx •光栅高度:660 nm F9o7=5WAb •填充系数:0.75(底部) C~pas~ •侧壁角度:±6° bIiuna\ •n1:1.46 Q[#}Oh6$ •n2:2.08 \:J=tAC -r sbSt ?_ 光栅#1结果 dHIk3j-! T<0 r, P'qBqx[ •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 (U& •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 wvq4 P •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 t\ oud{Cv Z|E9}Il] VH]}{i"` kAEq +{h 光栅#2 !4a fU: %N-aLw\
FB?~:7+' MG vz-E1e |;US)B8}*Z •同样,只考虑此光栅。 u"qVT9C$= •假设光栅有一个矩形的形状。 J|
N 6r •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 V,rc&97 假设光栅参数: c`xNTr01 •光栅周期:250 nm QZ&(e2z •光栅高度:490 nm 7_2D4CI •填充因子:0.5 $"vz>SuB •n1:1.46 3l<qcKKc •n2:2.08 3FR(gr$X c7r(&h 光栅#2结果 jlP*RX T MMKRC1< .hmeP
MK •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 *gwaW!= •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 1 .+O2qB •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 L-w3A:jk {C5:as
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