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    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 d!0rq4v7  
    /YHO"4Z  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 m x |V)  
    $m2#oI 'D  
    n{sk  
    概述 nM2<u[{gF  
    A?!RF7v  
    52tc|j6~#  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 ~a`[p\  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 0r1GGEW`s  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 |yeQz  
    zHX\h [0f  
    F!ztU8,  
    )-Hs]D:  
    衍射级次的效率和偏振
    J#F5by%8  
    /u4RZ|&as  
    `7: uc@  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 nco.j:  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 wPjq B{!Q  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 Rq5'=L  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 :!oJmvy  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 8e*skL  
    +?o!"SJ  
    4F#H$`:[  
    光栅结构参数 @`4T6eL5  
    S7f.^8  
    VbvP!<8  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 _90D4kGU  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 w>^(w<~Y  
    •因此,选择以下光栅参数: K!&W}_@l  
    - 光栅周期:250 nm BA2"GJvfIA  
    - 填充系数:0.5 H dqB B   
    - 光栅高度:200 nm {k_\1t(/  
    - 材料n1:熔融石英 &`l\Q\_[@  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) uv/\1N;V3  
    znsQ/[  
    nwKp8mfP  
    [q2:d^_FA  
    偏振状态分析 u NyN[U  
    : x&R'wX-  
    t2(X  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 <WZ{<'ajI  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 &<98n T  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 "@eGgQ  
    <@;}q^`  
    *zrGrk:l  
    {S{%KkAV  
    产生的极化状态 h8`On/Ur_8  
    rwLKY .J]  
    {wz)^A sy  
    );d07\V  
    ,XEIg  
    其他例子 mcd{:/^?  
    <!Cjq,Sk7  
    ;m7G8)I  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 'cpm 4mT  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 U3a2wK  
    Xs052c|s  
    K`K v.4  
    aKriO  
    光栅结构参数 )hrsA&1w  
    M/p9 I gp  
    ,yGbMOV  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ~ps,U  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 0Gs\x  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 uMw6b=/U  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 P! +Gwm{  
    ;Yee0O!d4  
    #s~;ss ,  
    光栅#1 I:TbZ*vi~  
    aG }oI!  
    ruGJZAhIA^  
    A,_O=hA2I  
    0!3. .5==  
    •仅考虑此光栅。 2]mV9B   
    •假设侧壁表现出线性斜率。 x;7l>uR  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 MTtx|L\4  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 O.B9w+G=  
    )ovAGO  
    $~b6H]"9  
    假设光栅参数: gvR]"h  
    •光栅周期:250 nm ~ZVz sNrx  
    •光栅高度:660 nm F9o7=5WAb  
    •填充系数:0.75(底部) C~pas~  
    •侧壁角度:±6° bIiun a\  
    •n1:1.46 Q[#}Oh6$  
    •n2:2.08 \:J=tAC  
    -rsbSt ?_  
    光栅#1结果 dHIk3j-!  
    T<0r,  
    P'qBqx[  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 (U&  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 wvq4 P  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    t\ oud{Cv  
    Z|E9}Il]  
    VH]}{i"`  
    kAEq +{h  
    光栅#2 !4afU:  
    %N-aLw\  
    FB?~:7+'  
    MG vz-E1e  
    |;US)B8}*Z  
    •同样,只考虑此光栅。 u"qVT9C$=  
    •假设光栅有一个矩形的形状。  J| N 6r  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 V,rc&97  
    假设光栅参数:  c`xNTr01  
    •光栅周期:250 nm QZ&(e2z  
    •光栅高度:490 nm 7_2D4CI  
    •填充因子:0.5 $"vz>SuB  
    •n1:1.46 3l<qcKKc  
    •n2:2.08
    3FR(gr$X  
    c7r( &h  
    光栅#2结果 jl P*RX  
    TMMKRC1<  
    .h meP MK  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 *gwaW!=  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 1.+O2qB  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 L-w3A:jk  
    {C 5:as  
    xJ$uoy3+  
     
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