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摘要 wk ikD qrDcL>Hrn 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 `&g:d E(j ~:2K#q5C YIOR$ 概述 6tdI6 abWl ut rYGRz#:~+ •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 CW0UMPE5 •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 MsjnRX:c3u •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 se,Z#H ZvH{wt
wj%wp[KA$ h5-d;RKE 衍射级次的效率和偏振 n\ Uh j'Wp rJ(OAKnY •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 93D
\R •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 3qo e^e •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 A,c'g}: •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 I,j3bC •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 3w'W~
;$;rD0i| |s|/]aD}o 光栅结构参数 K-4tdC3 ]u=Ca#!' dS$ji#+d$ •此处探讨的是矩形光栅结构。 ./.=Rw •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 3; y_mg •因此,选择以下光栅参数:
g1qi\axm - 光栅周期:250 nm Dh`=ydI5 - 填充系数:0.5 xF8 :^' - 光栅高度:200 nm *V|zx#RN - 材料n1:熔融石英 BXA]9eK
- 材料n2:TiO2(来自目录) JZ K7uB,X d_T<5Hin W5/};K\. 4oJ$dN 偏振状态分析 qGa<@ b Qa?aL JS7dsO0; •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 GP]TnQ<*; •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 }ecsGw •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 )ddsyFGW U Um|@
^zeL+(@ r/ ~:Ixmqi}R 产生的极化状态 {8:o?LnMW [&daG |