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摘要 /|LQ?n ArVW2gL 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 %}[/lIxaE PfjD!=yS=h 6R#.AD\
概述 *|({(aZ tb/`*Yl@ *6/OLAkyF •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 :zp9L/eh •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 rk8Cea •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 .Ge`)_e vB Vg/
Zt
;u8O z*e`2n#\ 衍射级次的效率和偏振 bR*}
s/ p>h}k_s 0WQd#l •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 }ki6(_ •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 K_GqM9 •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 F~C7$ •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 =z*SzG •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 bZ[ay-f6oK
@d_9NOmNT 63HtZ=hO7 光栅结构参数 BT|n+Y[ on.m
'-s (Qd@Q,@(s •此处探讨的是矩形光栅结构。 <tgfbY^nL •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 O&}`R5Y; •因此,选择以下光栅参数: Q5 = - 光栅周期:250 nm +ux170Cd3 - 填充系数:0.5 =|V [^#V - 光栅高度:200 nm ffG1QvC|M - 材料n1:熔融石英 q'KXn0IY# - 材料n2:TiO2(来自目录) xp%LXxj jhB+ ] icN#8\E Cig!3 偏振状态分析 chXTFLC~ CZ.HQc HE@P< •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 $g '4' •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 RU+F~K< •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 C *]XQ1F4 `teaE7^Wm
oH1]-Nl$ * TByAa{ 产生的极化状态 ?P"j5 1O+$"5H
j$Vtd& 4%*`'o$_ [E;~Y_l 其他例子 )F m'i&F_ d=/a{lP\ yX1OJg[s, •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 rq|>z . •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 DEt;$>tl
5 1i}p?sU N >k,"=N/ r<pt_Cd 光栅结构参数 q(Zu;ecBN -5Aqf\ >=YQxm}GJ •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ZU.f)94u •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 #Ti5G"C •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 F32U;fp3 •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 :tp{(MF
\4n9m [-h=L
Jf# 光栅#1 #Kt5+"+7 [t"#4[
9iN}v "tz`@3,5dN ^K[[:7Aem •仅考虑此光栅。 ]?V2L`/ •假设侧壁表现出线性斜率。 w
C-x' •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Y 016Xg5 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 a]=j :JCe,1!3@ ;k8U5=6a 假设光栅参数: yT h60U •光栅周期:250 nm "2GssBa •光栅高度:660 nm ~}ba2dU8 •填充系数:0.75(底部) e@L?jBj8m •侧壁角度:±6° @.l?V6g9T •n1:1.46 iQz
c$y^,9 •n2:2.08 ^A$p)`KR l%v2O'h 光栅#1结果 nACKSsWqI A~#w gLGn &u0on)E •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 kRB2J3Nt. •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 L%fJH_$_s •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 v}&J*}_XZ W)2ZeH* e'&<DE) zwdi$rM5 光栅#2 WxS$yUu
;"+]bne~
>?ckBU9 ?#VkzT 5j#XNc)" •同样,只考虑此光栅。 7_ao?}g •假设光栅有一个矩形的形状。 |oTA$bln •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 8&++S> < 假设光栅参数: XXC(R •光栅周期:250 nm z?Qt%1q •光栅高度:490 nm (kZ2D •填充因子:0.5 j/w*2+&v •n1:1.46 )U:W
9% •n2:2.08 UYsyVY`Fm| !KmSLr7xU 光栅#2结果 3<ry/{#% Rx.dM_S O"f|gc)GLz •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。
gIcm`5+T •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 Ugv"A;l •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 L=<{tzTc zn/b\X/
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