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    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 /|LQ?n  
    ArVW2gL  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 %}[/lIxaE  
    PfjD!=yS=h  
    6R#.AD\  
    概述 *|({(aZ  
    tb/`*Yl@  
    *6/OLAkyF  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 :zp9L/eh  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 rk8Cea  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 .Ge`)_e  
    vB Vg/  
    Zt ;u8O  
    z*e`2n#\  
    衍射级次的效率和偏振
    bR*} s/  
    p>h}k_s  
    0WQd#l  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 }ki6(_  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 K_GqM9  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 F~C7$  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 =z*SzG  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 bZ[ay-f6oK  
    @d_9NOmNT  
    63HtZ=hO7  
    光栅结构参数 BT|n+Y[  
    on.m '-s  
    (Qd@Q,@(s  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 <tgfbY^nL  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 O &}`R5Y;  
    •因此,选择以下光栅参数:  Q5 =  
    - 光栅周期:250 nm +ux170Cd3  
    - 填充系数:0.5 =|V[^#V  
    - 光栅高度:200 nm ffG1QvC|M  
    - 材料n1:熔融石英 q'KXn0IY#  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) xp%LXx j  
    jhB+ ]  
    icN#8\E  
    Cig! 3  
    偏振状态分析 chXTFLC~  
    CZ.HQc  
    HE@P<  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 $g  '4'  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 RU+F~K<  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 C *]XQ1F4  
    `teaE7^Wm  
    oH1]-Nl$  
    * TByAa{  
    产生的极化状态 ?P"j5  
    1O+$"5H  
    j$Vtd &  
    4%*`' o$_  
    [E;~Y_l  
    其他例子 )F m'i&F_  
    d=/a{lP\  
    yX1OJg[s,  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 rq|>z.  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 DEt;$>tl 5  
    1i}p?sU  
    N >k,"=N /  
    r<pt_Cd  
    光栅结构参数 q(Zu;ecBN  
    -5Aqf\  
    >=YQxm}GJ  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ZU.f)94u  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 #Ti5G"C  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 F32U;fp3  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 :tp{(MF  
    \4n9m  
    [-h=L Jf#  
    光栅#1 #Kt5+"+7  
    [t"#4[  
    9iN}v   
    "tz`@3,5dN  
    ^K[[:7Aem  
    •仅考虑此光栅。 ]?V2L`/  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 w C-x'  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Y 016Xg5  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 a]=j  
    :JCe,1!3@  
    ;k8U5=6a  
    假设光栅参数: yTh60U  
    •光栅周期:250 nm "2GssBa  
    •光栅高度:660 nm ~}ba2dU8  
    •填充系数:0.75(底部) e@L?jBj8m  
    •侧壁角度:±6° @.l?V6g9T  
    •n1:1.46 iQz c$y^,9  
    •n2:2.08 ^A$p)`KR  
    l%v2O'h  
    光栅#1结果 nACKSsWqI  
    A~#w gLGn  
    &u0on) E  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 kRB2J3Nt.  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 L%fJH_$_s  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    v}&J*}_XZ  
    W)2ZeH*  
    e'&<DE)  
    zwdi$rM5  
    光栅#2 WxS$yUu  
    ;"+]bne~  
    >?ckBU9  
    ?#VkzT  
    5j#XNc)"  
    •同样,只考虑此光栅。 7_ao?}g  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 |oTA $bln  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 8&++S> <  
    假设光栅参数: X XC(R  
    •光栅周期:250 nm z?Qt%1q  
    •光栅高度:490 nm (kZ2D  
    •填充因子:0.5 j/w*2+&v  
    •n1:1.46 )U:W 9%  
    •n2:2.08
    UYsyVY`Fm|  
    !KmSLr7xU  
    光栅#2结果 3<ry/{#%  
    Rx.dM_S  
    O"f|gc)GLz  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 gIcm`5+T  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 Ugv"A;l  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 L=<{tzTc  
    zn/b\X/  
    @M8vP H  
     
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