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    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 wkikD  
    qrDcL>Hrn  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 `&g:d E(j  
    ~:2K#q5C  
    YIO R$  
    概述 6tdI6  
    abWl ut  
    rYGRz#:~+  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 CW0UMPE5  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 MsjnRX:c3u  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 se,Z#H  
    ZvH{wt   
    wj%wp[KA$  
    h5-d;RKE  
    衍射级次的效率和偏振
    n\ Uh  
    j'Wp  
    rJ(OAKnY  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 93D \R  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 3qo e^e  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 A,c'g}:  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 I,j3bC  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 3w'W~  
    ;$;rD0i|  
    |s|/]aD}o  
    光栅结构参数 K-4tdC3  
    ]u=Ca#!'  
    dS$ji#+d$  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 ./.=Rw  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 3;y_mg  
    •因此,选择以下光栅参数: g1qi\axm  
    - 光栅周期:250 nm Dh`=ydI5  
    - 填充系数:0.5 xF8 :^'  
    - 光栅高度:200 nm *V|zx#RN  
    - 材料n1:熔融石英 BXA]9eK  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) JZ K7uB,X  
    d_T<5Hin  
    W5/};K\.  
    4oJ$dN  
    偏振状态分析 qGa<@ b  
    Qa?aL  
    JS7dsO0;  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 GP]TnQ<*;  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 }ecs Gw  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 )ddsyFGW  
    UUm |@  
    ^zeL+(@r/  
    ~:Ixmqi}R  
    产生的极化状态 {8:o?LnMW  
    [ &daG:  
    |EeBSRAfe  
    5_aw. s>  
    6ZksqdP8  
    其他例子 : ;TYL[  
    H),RA]S  
    ^ LbGH<#J  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 cY~M4:vgT  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 \G3!TwC%  
    0||F`24  
    P;c0L;/  
    f".q9{+p,  
    光栅结构参数 %M6 c0d[9-  
    +-P<CCvWz  
    8t\}c6/3"  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ?cxr%`E  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 D1ZC&B_}-  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 k_O-5{  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 m&cvU>lC  
    0BFz7  
    GBr,LN  
    光栅#1 kjX7- ZPY  
    l $w/Fz  
    .qinR 6=  
    Nm"<!a<F  
    J {!'f| J  
    •仅考虑此光栅。 cD8Ea(  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 6Pijvx^0  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 #%WCL'6B  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 g? I!OG  
    +,wWhhvlzv  
    U/5$%0)  
    假设光栅参数: N"~ qoJO  
    •光栅周期:250 nm m0C{SBn-M  
    •光栅高度:660 nm i*z0Jf["  
    •填充系数:0.75(底部) p}BGw:=  
    •侧壁角度:±6° 6lZGcRO  
    •n1:1.46  z \^  
    •n2:2.08 uAT/6@  
    |Q6h /"2  
    光栅#1结果 % GVN4y&  
    sL8>GtVo  
    2_.CX(kI  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 kz_M;h>  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 H\d;QN9Q;  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    5f{wJb2  
    SlN"(nq  
    [tz u;/  
    Onyh1  
    光栅#2 zQt1;bo  
    z g)|rm  
    vuW-}fY;  
    6qf-Y!D5  
    ;da4\bppt  
    •同样,只考虑此光栅。 c l9$g7  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 iAgOnk[  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Cg7)S[zl  
    假设光栅参数: _^-D _y  
    •光栅周期:250 nm eN4t1 $  
    •光栅高度:490 nm :U8k|,~f  
    •填充因子:0.5 &rcdr+'  
    •n1:1.46 s*eyTm  
    •n2:2.08
    w?i)/q  
    \ JG #m  
    光栅#2结果 ] .`_, IO  
    [)0 R'xL6  
    \D ^7Z97  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 `}Eh[EOHJ  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 7<vy;"wB  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 "5 y<G:$+~  
    sN=KRqe  
    EFeAr@nj  
     
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