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摘要 $wn0oIuW ` Z/ MQ 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 Yep~C%/} -w>ss& ef)zf+o 概述 )\j
dF-s I~6 o<HO Ndmw/ae •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 #a2gRg •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 +KD7Di91<K •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 b dLi_k 74a@/'WbE >x3lA0m P-nhG 衍射级次的效率和偏振 <5,|h3]-# (KwC,0p KQvSeH>r •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 N>,`TsUwW •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 ji
./m8( •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 ,lStT+A •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 q5L^>" •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 h6OQeZ. EFljUT?& )XGz#C_P 光栅结构参数 i>]PW|]
Z/:F)c,x =>B"j`oR •此处探讨的是矩形光栅结构。 xVbRCu#Z •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 e,VF;Br •因此,选择以下光栅参数: abm 3q!a- - 光栅周期:250 nm y.J>}[\&x - 填充系数:0.5 L!zdrCM - 光栅高度:200 nm .=TXi<8Brw - 材料n1:熔融石英 ]W14'Z - 材料n2:TiO2(来自目录) aEvbGo rU&Y/ .ex;4( -! h=gtuaR4 偏振状态分析 <{Y3}Q ){w{# H~nX!sO •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 q,@#
cQBV •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 2#R$-*;# •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 U364'O8_ Se'SDJl= jIT|Kk&] 5l1R")0`t_ 产生的极化状态 *>:phs~r{ `|?<KF164 W1X3ArP]m8 I V#8W >fI\f <ez 其他例子 UTKyPCfj SDO:Gma U@y)x+: •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 k+-?b(z)$ •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 TG$#aX\' tt?`,G.(] :G@z?ZJ[ /Tm+&Jd 光栅结构参数 r/'!#7dLG- GJcxqgk$ g{6jN •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ?SFQx\/ •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 ZN$%\,< •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 27ZqdHd •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 m8{8r>6* 0}NDi|o Eej
Lso#\ 光栅#1 ?g4Rk9<!i D
tZ?sG PY7H0\S) 7>gjq'0
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Nk •仅考虑此光栅。 wW*7 •假设侧壁表现出线性斜率。 o{#aF=`{ •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 %P s.r{%{ •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 4Z%1eOR9V /g+-{+sx ?{"r( 假设光栅参数: ^zV_vB)n •光栅周期:250 nm 6ScB:8M •光栅高度:660 nm T}^3 Re`i •填充系数:0.75(底部) M;y*`<x •侧壁角度:±6° 4xg)e`
*U •n1:1.46 z7IJSj1gQI •n2:2.08 9.\SeJ8c =AzPAN#e 光栅#1结果 MwRLv,&" M#o.O?.` vwu/33 •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 Sk+XBX(} •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 -}UY2) •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 ;dUKFdKH} Z}!'fX." nC,QvV ^7+;XUyg 光栅#2 #T8o+tv !gW`xVGv -(?/95 Y FCNYfjB% 8WQ#) •同样,只考虑此光栅。 AVDhgJv •假设光栅有一个矩形的形状。 L>IP!.J]? •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 *:TwO=) 假设光栅参数: <e BmCrJ •光栅周期:250 nm C8|Ls(4Ck •光栅高度:490 nm HL"c yxe •填充因子:0.5 ;6PU •n1:1.46 *O'|NQhNx> •n2:2.08 lfM vNv (.!9 光栅#2结果 ek<B= F ?aTH< wnd
#J ` •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 Wo&22,EB •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 heIys.p •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 vaF1e:( 5fk
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