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摘要 #44}Snz -B #K}xL|x 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 1p=bpJC yw{r:fy NdrR+t^# 概述 H~bbkql V!NRBXg e$E>6Ngsr •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 m[Mw2 F •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 Vq'n$k} •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 tToP7q^ ZO>)GR2S
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m)c. c/V0AKkS
8 衍射级次的效率和偏振 4vV\vXT * wj5,_d) dVZ~n4 •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 wCu!dxT|, •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 Dw$RHogb~y •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 uvJ&qd8M •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 4BeHj~~ •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 UhJ!7Ws$
=sF4H_B U2CC#,b!( 光栅结构参数 Q\N >W+d g |H ~y"OyO i& •此处探讨的是矩形光栅结构。 u=Xpu,q •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 `ZT/lB` •因此,选择以下光栅参数: wN^^_ - 光栅周期:250 nm u?F.%j- - 填充系数:0.5 i)$ySlEh - 光栅高度:200 nm HE>V\+
AL - 材料n1:熔融石英 ,
K:d/ - 材料n2:TiO2(来自目录) A4Q{(z-? ta^$&$l ^f9@=I MhJA8|B6| 偏振状态分析 ~+V$0Q;L F>GPi!O db&!t!#, •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 WD! " $ •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 /U-+ClZi@ •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 gtT&97tT< ? cn`N|
bZ^'_OOn I:6XM? 产生的极化状态 y Pg0:o- lJ,\^\q
VLJ]OW8cO q=-h#IF^ :))&"GY 其他例子 a*iKpr- : A.h0 H]*Ma btC6R>0 •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 /a)^) •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 N(3Bzd) 'Gamb+[ PZO.$'L|7 5evk_f 光栅结构参数 ,~DKU*A_~ _~*j=XR s 72_+ b •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ydj*Jy' •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 5NhAb$q2Y •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 S9ic4rcd •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 .v+W>
o6:bmKWE 'Yh`B8 光栅#1 YB!f =_8 RGkV%u^
m)?0;9bt ]w0Y5H " =e0MEV#s. •仅考虑此光栅。 J<4_<.o(a •假设侧壁表现出线性斜率。 mN . •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 c;!|= •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 U<>@)0~7g! hwQ|'^(@O Qr7|;l3 假设光栅参数: j>l •光栅周期:250 nm l*huKSX} •光栅高度:660 nm {v|ib112; •填充系数:0.75(底部) t
o8J
•侧壁角度:±6° ~4O3~Y_+GN •n1:1.46 5rc3jIXc{| •n2:2.08 (I(U23A~ uXvE>VpJG 光栅#1结果 -#R`n'/ ;uv$>Fauk m1X*I •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 %M/L/_d •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 2X*n93AQi •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 p#-=mXE/2 S3$C#mHX a=x&sz\x rdtzz#7 光栅#2 CfD4m,6 GoH.0eQ^
.Cs'@[Ciy _qpIdQBo 3)9e-@ •同样,只考虑此光栅。 )8'v@8;- •假设光栅有一个矩形的形状。 o?~27 •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 X+<9-]= 假设光栅参数: {7MY*&P$, •光栅周期:250 nm ~l.C- •光栅高度:490 nm p!)tA •填充因子:0.5 RlU ?F
•n1:1.46 L<XX?I\p •n2:2.08 ^,?>6O Pgq(yPC 光栅#2结果 u$aN~6HG gB+CM?
LKq i_+e&Bjd4j •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 Z=;=9<vA •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 qW|h"9sr •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 4>fj@X(3 (~! @Uz5
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