切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 324阅读
    • 0回复

    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    5786
    光币
    23082
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 }tF/ca:XPQ  
    &8_]omuNV  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 N#Y%+1  
    WM.JoQ  
    8B JxD<  
    概述 wdS^`nz|  
    U[*VNJSp  
    {UX?z?0T  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 O%H_._#N`  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 mv O!Y  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 rIH/<@+  
    g34<0%6jd  
    {E-.W"t4  
    8i!AJF9IQ}  
    衍射级次的效率和偏振
    l Q]&:%^\  
    V%8?f,  
    6v (}<2~  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 =dx!R ,Bw  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。  H;s  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 z8_m<uewz  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 Py$Q]s?\1  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 GwQW I ]  
    |iKk'Rta4  
    /:3:Ky3  
    光栅结构参数 Nz_c]3_j  
    ^hzlR[  
    FRd!UqMXY  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 Ef{rY|E  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 T$T:~8tK3  
    •因此,选择以下光栅参数: ^E\{&kaUp  
    - 光栅周期:250 nm G3'>KMa.  
    - 填充系数:0.5 9]fhH  
    - 光栅高度:200 nm ZQXv-"  
    - 材料n1:熔融石英 oW(lQ'"  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) :i_818h!?[  
    _x&;Fa%  
    ?%% 'GX  
    s:3 altv  
    偏振状态分析 Zu`; S#Y  
    3:@2gp!tq  
    $3<,"&;Ecs  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ("Z;)s4q  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 74Xk^  8  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 v,y nz'>)  
    uPKq<hBI  
    4)0 %^\p  
    mR@|]T  
    产生的极化状态 \95qH ,w)T  
    vQ/}E@?u  
    ph{p[QI:{X  
    9pUvw_9MY  
    B!-hcn]y  
    其他例子 H e ABU(o4  
    .Uq?SmK  
    rCfr&>nn  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ~,+n_KST;  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 E .^5N~.  
    nfpkWyIu{  
    o|Cq#JFG  
    ' QGacV   
    光栅结构参数 J@D5C4>i  
    U"$Q$ OFs  
    g?N~mca$  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 S$J}>a#Ry  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 arJ4^  d  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 )*#Pp )Q  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 maAZI-H{  
    kms&o=^  
    wI.i\ S  
    光栅#1 jy@vz,/:%5  
    *z[G+JX  
    [M>Md-pj  
    7jvy]5y8&~  
    N<lejZ}!q  
    •仅考虑此光栅。 !OWPwBm;  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 r>73IpJI  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 h'VN& T,  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 4w,=6|#  
    uD4=1g6[s  
    ! |SPOk  
    假设光栅参数: RtVy^~=G  
    •光栅周期:250 nm iEx.BQ+  
    •光栅高度:660 nm r~cmrLQa  
    •填充系数:0.75(底部) P^m+SAAB  
    •侧壁角度:±6° u8ofgcFYE  
    •n1:1.46 Y `4AML  
    •n2:2.08 1d/-SxhZ  
    +|}R^x`z  
    光栅#1结果 p@epl|IZp  
    [A$5~/Q{U1  
    h(}$-'g  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 Eu/~4:XN  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 V3;4,^=6Dd  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    `$og]Dn;  
    ' JHCf  
    <p@c %e,_  
    .d< +-w2Mu  
    光栅#2 { 3``To$  
    !0ly1T 9  
    ;>^oe:@  
    wMy$T<:   
    {\-rZb==F2  
    •同样,只考虑此光栅。 blxAy  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 e$F]t *)Xa  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 n8(B%KF  
    假设光栅参数: y*2R#jTA  
    •光栅周期:250 nm z0J$9hEg89  
    •光栅高度:490 nm p.KX[I  
    •填充因子:0.5 ' Cy^G;  
    •n1:1.46 1*S5:7Tb  
    •n2:2.08
    shW$V93<  
    CU =}]Y  
    光栅#2结果 !:e|M|T'I*  
    >cwyb9;!kK  
     }* iag\  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 B{|g+c%  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 J6x\_]1:*  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 j,Sg?&"%=  
    `abQlBb*  
    T1zft#1~  
     
    分享到