切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 494阅读
    • 0回复

    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-20
    摘要 n.R"n9v`  
    S_RP& +!7  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 V7O7"Q^q  
    Np+pJc1  
    "V`DhOG&  
    i->G {_gH  
    建模任务 _={mKKoHs  
    \=&Z_6Mu  
    rR#wbDr5  
    概观 [nrD4  
    OjqT5<U  
    Nw-U*y  
    光线追迹仿真 >&F:/   
    ^=PY6!iW  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 dxtG3  
    XV`8Vb  
    •点击Go！ "}H2dn2n  
    •获得3D光线追迹结果。 >B*zzj  
    02T'B&&~  
     $+Z2q<UT  
    6E^9>  
    光线追迹仿真 V)ag ss w?  
    FP*kA_z$  
    J(= y$8xje  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 .C ,dV7  
    •单击Go！ 9- 24c  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     1rLxF{,  
    K]|hkp&  
    m@0> =s~.  
    lQm7`+  
    场追迹仿真 +>$Kmy[3  
    `9P`f4x  
    9jNh%raG|  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 imhE=6{  
    •单击Go！     P7l3ZH( g  
    pr,1pqiAf  
    k72NXagh  
    }jdmeD:  
    场追迹结果（摄像机探测器） HMmVfGp]  
     zG^$-L.n  
    F}1._I`-  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 141xi;o  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 Neii$  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 ]k+(0qxG  
    k5+ Fxf  
    NGO?K?  
     .0;\cv4}  
    场追迹结果（电磁场探测器） wL6G&6]</W  
    aMJ2bu  
    Ae1b`%To  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     :1@jl2,  
    nY\X!K65  
     :/t_5QN  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表