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摘要 ^G4YvS( ~WA@YjQ] 通常,计算模型中假设的理想化结果明显偏离现实。 其中一个例子是在蚀刻结构中具有尖锐边界的微结构的设计:制造技术不能实现完美的锐利壁,而是产生更圆的边缘。 该可编程模块应用于所设计结构的锐利结果,根据用户指定的值对其边缘进行圆整,以便分析更真实的结构。 1/$PxQ *Y> w0k jKUEs75] &8IBf8 用于平滑结构边缘的可编程模块 UyGo0POW (~~m 8VJ> dGZie.Zx 提示:模块的输入与输出是“DataArray(数据数组)”类型。您可通过查看附带的样本文件得到全部 BA\aVhmx
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