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摘要 h&:6S _gI1@uQw
光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 %3 VToj@`> wb/@g=`d
-)Y[t Z^*` gWHjI3; 本用例展示了...... m0+'BC{$u •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: :,Ad1( - 矩形光栅界面 XT~]pOE;D - 过渡点列表界面 .[>UkM0 - 锯齿光栅界面 7DCu#Y[ - 正弦光栅界面 8VR!
Y0`e •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 3[}w#n1 #FsoK*F 光栅工具箱初始化 $%0A#&DVh •初始化 F@Cxjz - 开始 } {<L< 光栅 <-Q0s%mNj, 通用光栅光路图 /F7X"_(H •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, j`ybz G^ 可直接选择特定的光路图。 g"Gj8QLDz z2cd1HxN
A_JNj8<6r >*S ;z+!& 光栅结构设置 h\PybSW4s •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 Nr:%yvk%s
=%oQIx •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 L#9g ~>~ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 9>hK4&m^ W+ D{4:
_&|<(m&." );oE^3]f •例如,选择第一个界面上的堆栈。 wA?q/cw C 4]mAV\1 堆栈编辑器 ewORb •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 diDB>W •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 =Xh*w yy#4DYht
?Q G?F9? Z"Byv.yq b 矩形光栅界面 ]B>g~t5J ;/=6~% •一种可能的界面是矩形光栅界面。 !@wG22iC4d •此类界面适用于简单二元结构的配置。 DfV'1s4y •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 YCnKX<Wv •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 _rj B. •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 odNHyJS0 fNaboNj[
+!Lz]@9K yi@mf$A| 矩形光栅界面 6V^KOG •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 2X!!RS>qg •所选界面在视图中以红色突出显示。 @1^:V-=
`6QQS3fk! •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 $ Ov#^wfA •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 m.DC \bzT=^Z;2 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 /{HK0fd •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 =V*4&OU •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 19#A7 2#g4R }&:F,q* vB;$AFh{
ga+Z6|t Qb~&a1&s# 矩形光栅界面参数 Fl;!'1 •矩形光栅界面由以下参数定义 1?N$I}? - 狭缝宽度(绝对或相对) ~s UWXw7~ - 光栅周期 gP 6`q - 调制深度 _rjLCvv- •可以选择设置横向移位和旋转。 4C[n@p2 jFThW N
96.Vm*/7 /'g"Ys?3 高级选项和信息 h<ULp&g •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 Y\1XKAfB •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 SP
|R4*KY •可以设置总级次数或衰逝波级次数 1[Ffl^\ARp (evanescent orders)。 Gaxa~?ek •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 -yn;Jo2- •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 q\gvX
76a 875BD U v'zj<|2 B{+ Ra •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 wBK%=7 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 zLHE; •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 "t\gkJyK •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 6bW:&IPQ; Q]]5\C. U|HF;L 0 w#[?. 过渡点列表界面 &@MiR8 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 bkgJz+u •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 C'c9AoE5> •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 *Tt*\ O D/&^Y'|T &
M wvj 过渡点列表参数 UHEn+Tc> •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 AShnCL8uR •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 9O+><x[i V~uH)IMkh7 =a<};X a3<.F&c+c •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 BF_R8H,<% •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 -U?Udmov •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 hK,e<?N^ &O |