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摘要 oW6Hufu+o jy?*` q1] 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 J'$NBws 31a lQ\TH
!$oa6*<1 dnU-v7k,{ 本用例展示了...... Br7q. •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 3IlVSR^py - 矩形光栅界面 k:R\;l5 - 过渡点列表界面 k4{|Xn
- 锯齿光栅界面 40h$-
VYT/ - 正弦光栅界面 ~uty<fP •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 _#6Qf J
3C^tV 光栅工具箱初始化 -bzlp7q* •初始化 ~ILv*v@m - 开始 jTIG#J) 光栅 =2Yt[8'; 通用光栅光路图 (EY@{'.& •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, n9}BT^4 v 可直接选择特定的光路图。 i#t-p\Tcz x]x 3iFD
/}8Au$nA Pd"c*n&9 光栅结构设置 >RkaFcq •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 1J"I.
cr{yy :D •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 rSJ!vQo
Cb •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 8TT#b?d ~44u_^a
oMj"l#a* EOXkMr •例如,选择第一个界面上的堆栈。 S3Gr}N J'X}6Q 堆栈编辑器 Sl,DZ! •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 @Xl(A]w%! •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 K6p\ >J yVmp,""a
WX?nq'nr 1bCE~,tD 矩形光栅界面 \EVT*v=}/ /-[vC$B" •一种可能的界面是矩形光栅界面。 }_zN%Tf~ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 @gK`RmhGE5 •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 9d#?,:JG •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 &'W7-Z\j- •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 JR.)CzC I!*P' {lh
92<+ug = HJ7A/XW 矩形光栅界面 C78g|n{ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 sPvs}}Z]P •所选界面在视图中以红色突出显示。 ;7:} iKU
AYfOETz •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 :5%98V>02 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 L{%L*z9J m1;Htw •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 *P=3Pl?j •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 |w|c!;, •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 0q"4\#4l MSS[-} m_/Ut Tty'ysH
q *&H L.'61ZU 矩形光栅界面参数 /'jX_
V_$| •矩形光栅界面由以下参数定义 oqF?9<Vgc, - 狭缝宽度(绝对或相对) HAK,z0/ - 光栅周期 erEB4q+ #O - 调制深度 e7;7TrB. •可以选择设置横向移位和旋转。 @`L;_S+ [E
a{);
IsI5c jSE)&K4nI 高级选项和信息 h6D4CT •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 3xs<w7 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 (1D1;J4g •可以设置总级次数或衰逝波级次数 SzMh (evanescent orders)。 \KhcNr?ja= •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 D2&d",%&f •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 1(BLdP3& >JE+j= GbQi3% L'{W|Xb+ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 wkZwtq •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Ak@!F6~ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ]?VVwft •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 8*0QVFn$ BN79\rt
#[=kQ& f5 bq)Pm& 过渡点列表界面 :38{YCN •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 C7{VByxJ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 L3Y,z3/ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 K-k!':K: ?3BcjD0 %RV81H9B 过渡点列表参数 #8et91qw •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 w~6UOA8} •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 6a,8t 5wV J.B~s Hdew5Xn(: %evb.h) •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 D{B?2}X •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 *`+zf7-f •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 G"FO%3&| %9>w|%+;U+
,A` |jF 95'+8*YCY 高级选项及信息 =8 @DYz' •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 8HKv_vl e&
`"}^X;I
6m?<"y8] !lfE7|\p 正弦光栅界面 0`S{>G •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 "G@K(bnHn •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 c0Ih$z •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ^~V2xCu! - 脊的材料:基板的材料 _\\Al v. - 凹槽材料:光栅前面的材料 MBt\"b#t As46:<!2 eX#.Zt] ExtC\(X; 正弦光栅界面参数 rn)Gx25 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: &/UfXKr •光栅周期 :L@;.s •调制深度 O;RBK&P - 可以选择设置横向移位和旋转。 HU>>\t?d - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 j2,sI4 bss2<mqlH 5c::U= imif[n+]}d 高级选项和信息 $(D>v!dp •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 qvc<_k^ Y!xPmL^]?
:^kAFLU >G|RVB 高级选项及信息
E$
\l57 •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 KE,.Evyu= =.8n K
y f%EHzm/V 锯齿光栅界面 %@C8EFl%3 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 @Pcgm"H< •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 .Qrpz^wdt •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ]|!|3lQ - 脊的材料:基板的材料 TXi| - 凹槽材料:光栅前面的材料 -&
(iU#W %/I:r7UR{
i
FZGfar? LA;f,CQ 锯齿光栅界面参数 Ct-eD-X{ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: AI3x,rk# - 光栅周期 7_ oUuNw - 调制深度 |1_$\k9Y& •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 4k^P1 •可以选择设置横向移位和旋转。 vNjc •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 !Np7mv\7 w ?_8OJ L~PiDQr?r z` 6$p1U 高级选项和信息 IoOOS5a •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 Brxnl,%\ @@*x/"GJG 探测器位置的注释 w` +,
关于探测器位置的注释
VX&g[5zr •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 \Ebh6SRp\ •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 =aB+|E •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 EpF9& |