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摘要 kh9'W<tE 5afD;0D5TI 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 uG^CyM>R` 7b+r LyS0 U xBd14-R_ Ec!!9dgRQ 本用例展示了...... UB.1xcI •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: `wXK&R<` - 矩形光栅界面 \= v.$u"c - 过渡点列表界面 uX*2Rs$s - 锯齿光栅界面 N$6e KJ] - 正弦光栅界面 hE|P|0U,n •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 *{3d+j/?/ IplOXD 光栅工具箱初始化 4p,:}h •初始化 E
+_n@t" - 开始 S3\NB3@qC& 光栅 HEBeJ2w 通用光栅光路图 N[po)}hp •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, D`T;j[SsS# 可直接选择特定的光路图。 w}gmVJ#p !l9{R8m>eJ tw_o?9 r,Uk)xa/^ 光栅结构设置 !&{rnK •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 )O]6dd ]xQv\u •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ;cXw;$&D •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 3[ xdls 5tYo! f S MWXP M76p=* •例如,选择第一个界面上的堆栈。 Q#\Nhc {Rkd;`Q`! 堆栈编辑器 z:>cQUYl •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 VHxBs •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 /W/e%. Co1d44Q X:oOp=y]| (9Zvr4.f7 矩形光栅界面 pR61bl) /eI|m9ke •一种可能的界面是矩形光栅界面。 `,qft[1 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 yp#!$+a} •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 AJ\&>6GZ(b •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 g'7E6n"!, •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Dh8ECy5k<* $*ff]># l~i? pey=zR! 矩形光栅界面 *'>_XX •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 7?*+,Fo# •所选界面在视图中以红色突出显示。 ;7'O=% q&25,zWD •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 '^UHY[mX8 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 QTy=VLk43 l7|z]v- •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 gXxi; g •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 Y4rxnXGw •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 "`>6M&`U /eV)5`V 32wtN8kx MgeC-XQM KN}#8.'>3 (/A.,8Ad 矩形光栅界面参数 MTu\T •矩形光栅界面由以下参数定义 fx;rMGa - 狭缝宽度(绝对或相对) hY`<J]-'` - 光栅周期 ~/L:$ - 调制深度 "wgPPop •可以选择设置横向移位和旋转。 OG5{oH#K J :O!4gI \u,CixV= b j&!$') 高级选项和信息 U#z"t&o=L •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 (Ceru o S •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 \D@j`o •可以设置总级次数或衰逝波级次数 if*V-$[I (evanescent orders)。 )]fsl_Yq •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 /HdXJL9B •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 \lbH
Ok!P~2J " .7@ //&3{B •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 }F>RIjj •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 $MR1
*_\V •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 *j3U+HV •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 Cog }a RN`TUCQL bJ:5pBJ3 1S?~c25=h 过渡点列表界面 #:?:gY< •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 {y"Kn'1 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 9K$
x2U •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 y4kn2Mw; ;>PHkJQ QD-\'Bp/X 过渡点列表参数 k6#$Nb606 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 y6$a:6 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 HM% +Y47a (dg,w*t' #N][-i Zf$mwRS[_ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 |b\a)1Po: •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 #._JB-,' •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 ~>@~U] v.RA{a 9 ~i1
jh:, e#oK%
{A 高级选项及信息 S<T'B0r8 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 w[GEm,ZC {iyJHY yy5|8L 6.]~7n 正弦光栅界面 X!|eRA~o •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 CzlG#?kU?2 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 x_3B) &9 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: N8nt2r<h - 脊的材料:基板的材料 {J"]tx9
] - 凹槽材料:光栅前面的材料 -7!L]BcZ. d./R;Z- I{ Fx!D:.)/G N_92,xI# 正弦光栅界面参数 ;gL{*gR]S - 正弦光栅界面也由以下参数定义: ;=joQWNDm •光栅周期 XVNJK-B •调制深度 {>km]CG - 可以选择设置横向移位和旋转。 ;8<HB1 &, - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 * K$U[$s =R:O`qdC4e 8Y-*rpLy `a52{Wa 高级选项和信息 _p"u~j~%- •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 t;+b*S6D Wu6'm&t [Q:mq=<Z% F=Xb_Gd` 高级选项及信息 ;%0kzIvP •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 ;39b.v\^ ^P{y^@XI xbi\KT`~ 锯齿光栅界面 2c]751 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 H*G(`Zl} •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ;o'>`=Y •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: >-V632(/{o - 脊的材料:基板的材料 yT:2*sZRc - 凹槽材料:光栅前面的材料 P$z%:Q Ytc[ kp PK|qiu-O&* Zrwd 锯齿光栅界面参数 3XB`|\: •锯齿光栅界面也由以下参数定义: z#Qe$`4& - 光栅周期 _<]0hC - 调制深度 (Zx--2lc •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 lV:feX •可以选择设置横向移位和旋转。 Wtaz@+ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 e<uf)K=(C eaO'|@;{~ I~6(>Z{ ;07$ G+[' 高级选项和信息 ^O<v'\!z- •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 9:g A0Z E5A"sB
探测器位置的注释 2!LDrvPP 关于探测器位置的注释 KaMg[G •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 dSKvs" •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 MB:[: nX •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 X2I_,k'fQ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 ]@21K O •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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