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    [讨论]离子源充氧与充氩有何分别？ [复制链接]

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    离线wangxingyu
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-04-15
    离子源充氧与充氩有何分别？
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-04-15
    离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！
    共1条评分 ，光币+1
    flyinlove79 光币 +1 热心助人，鼓励！ 2013-02-02
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-04-16
    楼上的说的好
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    离线jiayuch
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-04-22
    如果镀得是氟化镁  就用氩气吗
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    离线yufe16
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    只看该作者 4楼 发表于: 2008-06-17
    氩气流量大约是多少合适呢?高低折射率的材料用一样的流量吗？
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    离线liwenjuan
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    只看该作者 5楼 发表于: 2008-06-18
    这个问题也是我一直思考的，好像是的纯用氧气的离子源镀出的膜层是好点，寿命问题真的是要考虑的，厂家可能也是拿着这个结果来对我们说，而不会提到这个寿命的情况。 hn@T ]k  
    我也发现这种栅极用几次就会有损伤。 861!p%y5  
    7^|,l  
    不同的材料肯定是不同，这个除了厂家会给一些参考，也要自己摸索了
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    离线syw1984
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    只看该作者 6楼 发表于: 2008-06-28
    好像透过曲线有区别的
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    离线yufe16
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    只看该作者 7楼 发表于: 2008-06-29
    使用离子源的话，对真空室温度有什么要求吗 》
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    离线yufe16
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    只看该作者 8楼 发表于: 2008-06-29
    使用离子源对真空室温度有什么要求吗？
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    离线拉比熊
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    只看该作者 9楼 发表于: 2013-01-13
    使用离子源对温度没有影响
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