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    [讨论]离子源充氧与充氩有何分别? [复制链接]

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    离线wangxingyu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-04-15
    离子源充氧与充氩有何分别?
     
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    离线j123456789
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-04-15
    离子源充氧后会产生氧原子和氧离子,它们具有极其强的活性,作为氧化物膜沉积时的辅助,不仅能提高膜层的密度,还能改善其吸收!但,其会降低离子源的寿命!!充氩仅能提高膜层的密度,同时离子源的寿命会相对长!
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    flyinlove79 光币 +1 热心助人,鼓励! 2013-02-02
    离线flyinlove79
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-04-16
    楼上的说的好
    离线jiayuch
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-04-22
    如果镀得是氟化镁  就用氩气吗
    离线yufe16
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    只看该作者 4楼 发表于: 2008-06-17
    氩气流量大约是多少合适呢?高低折射率的材料用一样的流量吗?
    离线liwenjuan
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    只看该作者 5楼 发表于: 2008-06-18
    这个问题也是我一直思考的,好像是的纯用氧气的离子源镀出的膜层是好点,寿命问题真的是要考虑的,厂家可能也是拿着这个结果来对我们说,而不会提到这个寿命的情况。 'w8p[h (,  
    我也发现这种栅极用几次就会有损伤。 gVI{eoJ  
    (b8ZADI*  
    不同的材料肯定是不同,这个除了厂家会给一些参考,也要自己摸索了
    离线syw1984
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    只看该作者 6楼 发表于: 2008-06-28
    好像透过曲线有区别的
    离线yufe16
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    只看该作者 7楼 发表于: 2008-06-29
    使用离子源的话,对真空室温度有什么要求吗 》
    离线yufe16
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    只看该作者 8楼 发表于: 2008-06-29
    使用离子源对真空室温度有什么要求吗?
    离线拉比熊
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    只看该作者 9楼 发表于: 2013-01-13
    使用离子源对温度没有影响