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    [讨论]离子源充氧与充氩有何分别？ [复制链接]

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    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 10楼 发表于: 2013-01-28
    我们公司的GENER1300  配的是霍尔的离子源。厂家调试的时候用的是O2， .l ufE  
    说的是氧气和氩气都是一样的。  氧气流量50， 氩气流量30SCCM，我想问一下 H D{2nZT  
    离子源对膜料折射率是否有影响。
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    离线alex_xie
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    只看该作者 11楼 发表于: 2013-01-30
    使用氩气，镀出来的膜层致密性会好一点，可以氧气氩气一起用
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 12楼 发表于: 2013-02-02
    热心助人，鼓励！
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    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 13楼 发表于: 2013-02-19
    但是厂家的工程师和我说MGF2不能用离子源，不知道原因。 -Ay=*c.4  
    如果不能用的话，还怎么冷镀膜呢？
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    离线a060103112
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    只看该作者 14楼 发表于: 2013-02-27
    回 jiayuch 的帖子
    jiayuch:如果镀得是氟化镁  就用氩气吗 (2007-04-22 16:21)  w_h}c$;GK  
    1b4/  
    氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气
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    离线爱哭的云彩
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    只看该作者 15楼 发表于: 2017-08-09
    回 j123456789 的帖子
    j123456789:离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！ (2007-04-15 15:49)  H&_drxUq;L  
    ,6AnuA  
    好有用
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    离线爱哭的云彩
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    只看该作者 16楼 发表于: 2017-08-09
    回 a060103112 的帖子
    a060103112:氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气 (2013-02-27 11:32)  f)1*%zg%  
    Hj97&C{Q^  
    原来是这样呀
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    离线pyykun
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    只看该作者 17楼 发表于: 2018-02-27
    谢谢大神们！！！
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    离线dcfcwdx
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    只看该作者 18楼 发表于: 2018-03-03
    受教了
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    离线yedewang
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    只看该作者 19楼 发表于: 2018-05-08
    非常有用
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