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    [讨论]离子源充氧与充氩有何分别？ [复制链接]

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    离线wangxingyu
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2007-04-15
    离子源充氧与充氩有何分别？
     
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    离线renlgj
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    只看该作者 22楼 发表于: 2024-08-22
    启动真空不能太低
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    离线gaofei555
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    只看该作者 21楼 发表于: 2024-07-04
    学习了... "YFls#4H-  
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    离线李某
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    只看该作者 20楼 发表于: 2023-12-17
    受教了 y93k_iq$S  
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    离线yedewang
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    只看该作者 19楼 发表于: 2018-05-08
    非常有用
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    离线dcfcwdx
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    只看该作者 18楼 发表于: 2018-03-03
    受教了
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    离线pyykun
    助理工程师
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    只看该作者 17楼 发表于: 2018-02-27
    谢谢大神们！！！
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    离线爱哭的云彩
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    只看该作者 16楼 发表于: 2017-08-09
    回 a060103112 的帖子
    a060103112:氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气 (2013-02-27 11:32)  wiV&xl  
    Q x.jCy@  
    原来是这样呀
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    离线爱哭的云彩
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    只看该作者 15楼 发表于: 2017-08-09
    回 j123456789 的帖子
    j123456789:离子源充氧后会产生氧原子和氧离子，它们具有极其强的活性，作为氧化物膜沉积时的辅助，不仅能提高膜层的密度，还能改善其吸收！但，其会降低离子源的寿命！！充氩仅能提高膜层的密度，同时离子源的寿命会相对长！ (2007-04-15 15:49)  !xJFr6G~8  
    {V=vn L--  
    好有用
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    离线a060103112
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    只看该作者 14楼 发表于: 2013-02-27
    回 jiayuch 的帖子
    jiayuch:如果镀得是氟化镁  就用氩气吗 (2007-04-22 16:21)  '"'D.,[W2  
    6j?FRs  
    氟化镁一般不用离子源，只有偶尔冷镀用，就只加少量氩气
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