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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 OlP1Zd/l  
    Q^*4FH!W  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 n0Qp:_2z  
    DE+k'8\T  
    qOv`&%txW  
     Tvt(nWn(H1  
    建模任务 o)n= n!A  
    :7~DiH:Q  
    ?&!e f {  
    概述 Pkv+^[(4  
    YJ|U| [  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s|I$c;>  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6^lix9q7  
    qu&p)*M5  
     gC(@]%  
    W ", yq|  
    光线追迹仿真 B(f_~]  
    g7{:F\S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :D4'x{#H  
    •单击go！ Rg^ps  
    •获得了3D光线追迹结果。 l6zYiM  
    Xzl$Qc  
     @}2EEo#  
    >pp#>{}  
    光线追迹仿真 v#EFklOP  
    rZWs-]s6t  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E 02Y,C  
    •单击go！ !f]kTs]j~  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %|j8#09  
    ZQ>Q=eCs 1  
     *Nfot v  
    z;MPp#Y  
    场追迹仿真 +,cd$,18  
    {$#88Qa\-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 'j-U=2,n  
    •单击go！ t1NGs-S3  
    ?C- ju8]|  
    0Y:)$h2?  
     $f%om)  
    场追迹仿真（相机探测器） E]}_hZU  
    M| Nh(kvH  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [jksOC)@4  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tfD7!N{  
    RB6Q>3g  
     bDm7$ (  
    ahQY-%>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $E.Fgy:G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +prUau*  
    %~} ,N  
    9 4^b"hU  
     -2(?O`tZ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） BMqr YW  
     Eg8b|!-')8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 evpy%/D  
    Nukyvse  
     rxqSi0p  
     
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