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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 $z)egh(z  
    ">8oF.A^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 < fe.  
    ettBque  
    wj'fdrY5h  
     )BaGY  
    建模任务 1)~9Eku6K  
    s/>0gu]A8  
    ; %AgKgV  
    概述 c;t3I},  
    Kx[+$Qt  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zmuR n4Nv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sGiK S,.K  
    8eh3K8tL#  
     N5#j}tT  
    ghkV^ [  
    光线追迹仿真 D'D IC  
    OFcP4hDi  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wUg=j nY   
    •单击go！ Z6WNMQ1:  
    •获得了3D光线追迹结果。 Kn?h  
    }43qpJe8U  
     )VG>6x  
    .DnG}884  
    光线追迹仿真 9&kPcFX B  
    \ ux {J  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tK+JmbB\  
    •单击go！ #{k+^7aQ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 FL$S_JAw  
    8/P!i2o  
     w!d(NA<|0]  
    p? VDBAx  
    场追迹仿真 0Nk!.gY  
    !iX/Ni:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 g38 MF  
    •单击go！ 6I _4{  
    D#Mz#\4o  
    gCL}Ba  
     wYS r.T8Q  
    场追迹仿真（相机探测器） >G[:Q s  
    FKf2Q&2I  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K1;b4Sl?A  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [oXr6M:  
    ]haQ#e}WH  
     W=HHTvK9Hh  
    u?z,Vs"  
    场追迹仿真（电磁场探测器） o~xGE6A*"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LH@Kn?R6  
    }KftV nD?  
    NSzTl-eS  
     v`qXb$YW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k0b6X5  
     GJ?J6@|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iK5[P  
    S,Qa\\~z  
     ~xJr|_,gp  
     
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