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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-24
    摘要 e2~i@vq  
    wL]7d3t  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 A*I mruV  
    v*Qr(4  
    EM+_c)d}  
     0z g\thL  
    建模任务 [@@Ovv  
    O>^0}  
    P7n+@ L$  
    概述 xN\ PQ,J  
    H4'xxsx  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 RltG/ZI  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]9?_ m@Ihx  
    <tZPS`c'_  
     kI974:e42  
    !m"(SJn"  
    光线追迹仿真 jP6;~[rl  
    CCJ!;d;&87  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hS4Ljyeg  
    •单击go！ Z7&Bn  
    •获得了3D光线追迹结果。 euHX7  
    sa8Sy&X"  
     !*wK4UcX"  
    ;ti{ #(Ux  
    光线追迹仿真 3\6 UH  
    <o5+*X  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2RD os#  
    •单击go！ Qci<cVgP  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 JcxhI]E  
    ,[IN9W  
     I(E1ym  
    <Tr_,Ya{9  
    场追迹仿真 vv,OBL~{  
    5gWn{[[e)y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 u]P0:)tS.  
    •单击go！ Zg%SE'kK  
    5H#3PZaQ  
    B[F,D  
     e!}R1  
    场追迹仿真（相机探测器） &*Eyw s  
    ,L&Ka|N0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'sI=*c  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y7)YJI  
    >G<AyS&z*  
     6C>x,kU  
    ;pdW7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vyT$IdV2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]* -9zo0  
    ulsr)Ik  
    w}pFa76rm  
     =rS z>l  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0V*L",9M  
     '3eP<earRP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <#ujm fD  
    6sl*Ko[  
     ]SpUD  
     
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