1.摘要
vpq"mpfkh n'To: 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
bvW3[ V LpK? C<?x BOflhoUX s"UUo|hM 2. 建模任务
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0e*K=UM 1%$t;R 3. 干涉条纹的变化
oeYUsnsbi frokl5L@ `]`S"W7& r^7eK)XA_ 4. 走进VirtualLab Fusion
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_3cE 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
)[ QT?; DH7]TRCMZ) Nwj M=GG G#Kw6 6. VirtualLab Fusion 技术
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