1.摘要
Beiz*2-}a st+X~;PX* 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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Ip4CC' f,)[f M4 2. 建模任务
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m%qah>11 Q<;f-9q@ 3. 干涉条纹的变化
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(C!u3ke2D P%ev8]2 4. 走进VirtualLab Fusion
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=V/$&96Q V\r5 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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eeoIf4] % )i?\(/ 6. VirtualLab Fusion 技术
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