1.摘要
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N Th,2gX9 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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bk^ :6>{K xsAF<:S\ 2. 建模任务
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(<%i8xu2 4&t6 3. 干涉条纹的变化
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""WZpaw n\cP17dr 4. 走进VirtualLab Fusion
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jq =-Y fylaH(LER 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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9sT?"(= _n{N3da 6. VirtualLab Fusion 技术
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