[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 n4%|F'ma  
oK h#th  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 /"?y @;Y~  
'kc_OvVA  
eI?<*  
X75>C<  
2. 建模任务 XG"&\FL{T  
pe
z^]I  
. m_y5J  
8NJ(l  
3. 干涉条纹的变化 U">D_ 8  
E%\iNU!  
t=iSMe  
)t{oyBT  
4. 走进VirtualLab Fusion e*uaxh+7
 
SsDz>PP  
R2Fh WiL  
wJJ4F$"b  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 %4U;Rdq&Ud  
ykSn=0  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

]#N2:ych  
^_JD 7-g  
6. VirtualLab Fusion 技术 9|dgmEd  
~C< X~$y&