1.摘要
f'^uuO#x 6lSz/V; 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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b-&iJ &>' 2. 建模任务
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n^t 3. 干涉条纹的变化
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MzJCiX^ ;]>kp^C# GM%+yS}(P 4. 走进VirtualLab Fusion
hmO2s/~ mgq!) B `~EA] d W$rWg>4> 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
0
&zp GXtMX ha, &S,D;uhF Jz}nV1G(jz 6. VirtualLab Fusion 技术
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