1.摘要
h3*Zfl<] C0S^h<iSe* 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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(C mN!lo;m5 2. 建模任务
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0PU8#2pR Z^]|o<.<I 3. 干涉条纹的变化
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<Pq,u%k ,0E{h}( 4. 走进VirtualLab Fusion
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d?:=PH ,WvY$_#xW% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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YO}1(m FXzFHU/dP 6. VirtualLab Fusion 技术
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