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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    #;q dY[v  
    >j(_[z|v3  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 `nv~NLkl  
    ,nLy4T&"  
    0g y/:T  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 D] jz A x  
    xH(lm2kvT  
    }`QUHIF  
    激光雷达的基本原理如下图: ag#S6E^%S  
    AFDq}*2Qb  
    2.1设计要求
    zrL$]Oy}x  
    M!A}NWF  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: .4M.y:F  
    Z/;(f L  
    w QH<gJE/:  
    @qqg e'  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um EZy)A$|  
    波长905+-5nm gk[aM~p  
    焦距15mm nE&@Q  
    视场角 2w  =76 otl0J Ht*+  
    FN  =1.4 6?mibvK  
    后焦26mm C]eSizS.  
    总长77mm :W:K:lk  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ~u!|qM  
    畸变<8% N^ds RYC  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    W*4-.*U8a  
    V2?=4mb  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 YEs&  
    g\(G\ tnu>  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 uK#4(eY=W  
    DiScFx |rE  
    gsv uE  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析:  V!ZC(  
    2LL'J7  
    3n1;G8Nf  
    基本参数 `d +Da=L  
    ?m=N]!n  
    ICoHI  
    初始结构的像质 FLCexlv^  
    .b&t ;4q  
    畸变 wd^':  
    a %'the  
     u\x}8pn  
    MTF ?)?Ng}  
    %~JJ.&  
    +L| ?~p`V  
    相对照度表格和图像 %@ODs6 R0  
     $s c  
    <#y[gTJ<'>  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 JEwa &  
    ?|C2*?hZ+  
    #m<nAR  
    固定光阑 | y# Jx  
    "a>q`RaIQ"  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 +I:Unp  
    cAqLE\h  
    {G0T$,'DR  
    添加真实材料 eKLZt%=  
    C8:f_mJU  
    Lpz>>}  
    7Lc]HSZo,  
    <X^@*79m  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: /-qNh >v4  
    ]G= L=D^cK  
    kT66;Y[  
    m6K}|j  
    最终结果像质 +wU@ynw  
    gHEu/8E  
    畸变<8%,满足条件 #n #}s  
    UiP"Ixg6  
    Apag{Z]^B  
    m@F`!qY~Y\  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 bMu+TgAT,  
    5iw<>9X*  
    #PW9:_BE  
    TG?brgW  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 !bx;Ta.  
    3`|@H-c9  
    &|ex`nwc0  
    总结 Jbg/0|1  
    t?&|8SId  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 1..+F0U  
    9Cp-qA%t  
     
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