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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    在线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    9<<$uf.B  
    ,)V*xpp  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 Y'/`?CK  
    *Q=-7a m  
    ;~z>GJox  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 `6j?2plZ  
    FVG|5'V^  
    4q@o4C<0  
    激光雷达的基本原理如下图: k}>l+_*+7  
    ?>q=Nf^Q.  
    2.1设计要求
    {114 [  
    m'k`p5[=h  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: mUr@w*kq|p  
    eHv~?b5l  
    bXq,iX  
    9YHSL[  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um g ^)>-$=  
    波长905+-5nm _'n;rZ+  
    焦距15mm b9|F>3?r>  
    视场角 2w  =76 Djf2ir'  
    FN  =1.4 xx;'WL,g  
    后焦26mm pzU">)  
    总长77mm T<zonx1  
    相对照度全视场>0.7且均匀 tP!sOvQ:  
    畸变<8% g/z9bOgIX  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    rA*,)I_v@  
    l0D.7>aj  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Z+t?ah00  
    Xki/5roCQ|  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 eV9:AN}K=  
    Q k-y 0  
    Zz?+,-$_*&  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: m_rRe\  
    vW$] :).  
    R~RY:[5?w  
    基本参数 8"8{Nf-"  
    Qg 6m  
    fil6w</L  
    初始结构的像质 &KR@2~vE  
    t 1C{  
    畸变 nj7Ri=lyS  
    iUI,r*  
    y_$^Po  
    MTF *y(2BrL>  
    I}:>M!w  
    '3hvR4P  
    相对照度表格和图像 2DV{gF  
    &u=FLp5  
    KMbBow3o*~  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 kI[EG<N1k  
    82/iVm1  
    |=%$7b\C  
    固定光阑 &OzJ^G\o  
    ;'o>6I7Ph  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 uDoSe^0  
    p$9N}}/c  
    *;gi52tM  
    添加真实材料 m9e$ZZG$  
    ?q,x?`|(8  
    $(CHwG-  
    R*&3i$S  
    .FMF0r>l  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: HPCA,*YR`  
    Q  o=  
    4P:vo$Cy  
    J| DWT+$#Z  
    最终结果像质 lJYv2EZ  
    ?5GjH~  
    畸变<8%,满足条件 3K0J6/mc  
    X*Q7Yu  
    'Gt`3qG  
    V&}Z# 9Dx  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 9n%W-R.  
    s~63JDy"E  
    l{pF^?K  
    gTQ6B,`/8  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 _9gn;F  
    U NAuF8>K  
    d*AV(g#B  
    总结 PCIC*!{  
    .-34 g5  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 Q@j:b]Y9  
    #UI`G3w<  
     
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