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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    1.概述
    b#uNdq3  
    =g.R?H8cj5  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 /,C;fT<R  
    _#\e5bE=Z  
    ! qVuhad.  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Y"{L&H `  
    q fc:%ks2  
    n8p vzlj1  
    激光雷达的基本原理如下图: s=S9y7i(R  
    XA b%V'  
    2.1设计要求
    jF$bCbAUce  
    /D d.C<F  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: >-&B#Z^,  
    A&?8 rc  
    5taR[ukM  
    R"wBDWs  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 0sMNp  
    波长905+-5nm 64LX[8Ax#  
    焦距15mm \T'.b93~B  
    视场角 2w  =76 -1_WE/Ps  
    FN  =1.4 [ Xa,|  
    后焦26mm jo-2D[Q{  
    总长77mm %`EyG  
    相对照度全视场>0.7且均匀 bUzo>fm_  
    畸变<8% 1 5heLnei  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    <<=.;`(/v  
    DX2_} |$!  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ]Cc3}+(s  
    @$Xl*WT7  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 bmOK 8  
    %nS(>X<B  
    JpRn)e'Z  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: @Ojbu@A  
    zb]e {$q2C  
    U F&B7r  
    基本参数 &%UZ"CcA  
    exZgk2[0  
    H|Y*TI2vf8  
    初始结构的像质 `K7UWtp  
    D_N0j{E  
    畸变 P5JE = &M  
    }6'%p Bd  
    #0"Pd8@  
    MTF :@RX}rKG  
    n2(`O^yd7C  
    lt{D f~c  
    相对照度表格和图像 2/iBk'd  
    .GSK!1{@  
    3v91yMx  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 +=`*`eP:U  
    tCR#TW+IY-  
    0{OafL8&l  
    固定光阑 WK.K-bd  
    [Ot<8)Jm  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ]@I>OcH  
    H %Dcp#k  
    h]]B @~  
    添加真实材料 dEI]|i r  
    +h)1NX;o1  
    .MS41 E!  
    J'E?Z0  
    :anR/  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: TFNB %|  
    uhm3}mWv  
    h+!@`c>)Y  
    >g;995tG  
    最终结果像质 V"|`Z}XW  
    YO9ofT  
    畸变<8%,满足条件 aH&Efz^  
    ]i/Bq!d l  
    ~_F<"40  
    eMLcm ZJR  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 }0C v J4  
    l[6lXR&|  
    -uN M_|MO  
    NdmwQJ7e"  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 z?Cez*.h>  
    J)EL<K$Z[  
    7lx]`u>  
    总结 tH(g;flO)  
    ]P96-x  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 goOw.~dZ'  
    2BO&OX|X  
     
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