[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 244[a] %&;  
j p"hbV  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 E;`@S  
<'y}y}%  
H$D),s gv  
2Dc2uU@`r  
建模任务 RA];hQI?  
azK7kM~  
K_SURTys  
仿真干涉条纹 0H9UM*O  
dG8_3T}i  
r`dQ<U,  
走进VirtualLab Fusion k-V3l  
a:v5(@8  
2
}\/_Y6  
19h@fA[:  
VirtualLab Fusion中的工作流程 `[)!4Jb  
Zk:Kux[7  
•设置输入场 u~pBMg ,  
−基本光源模型[教程视频] "26=@Q^Y  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Mg"e$m  
•定义元件的位置和方向 0jJ:WPR  
− LPD II：位置和方向[教程视频] }srmG|@:  
•正确设置通道以进行非序列追迹 }Fq~!D Ee  
−非序列追迹的通道设置[用例] SH1S
_EQ<  
•使用参数运行检查影响/变化 qr@<'wp/  
−参数运行文档的使用[用例] s~p(59  
 `1`Qu!  
k_?Z6RE>  
`=Z3X(Kc  
VirtualLab Fusion技术 GQH15_  
oKMr Pr[`