摘要
Q@"mL
dOfEEqPI 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
f~{@(g&Gl z0Bw+&^]} pcl'!8&7 s1| +LT,D 建模任务
m\O|BMHn ?.%'[n>P V( A p|I:G 仿真干涉条纹
13v# Fs|aH-9\ Ebk_(Py\ 走进VirtualLab Fusion
X'W8 mqk *6b$l.Vs u(92y]3, p[Yja y+ VirtualLab Fusion中的工作流程
9=wt9` ? %:~LU]KX •设置输入场
(ev(~Wc −基本光源
模型[教程视频]
!f^'- •使用导入的数据自定义表面轮廓
` e~nn •定义元件的位置和方向
">V.nao − LPD II:位置和方向[教程视频]
RO10$1IW.2 •正确设置通道以进行非
序列追迹
H*M )<"X −非序列追迹的通道设置[用例]
)n&@`>vm •使用
参数运行检查影响/变化
d
l<7jM? −参数运行文档的使用[用例]
?'L3B4 dLq)Z*r Hve'Z,X ;Fi(zl VirtualLab Fusion技术
O%KP,q&}Y ]*M-8_D