摘要
.m;1V6 n4> 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
AcrbR&cvG O(~`fN?n q}ZZqYk (FH4\ 't) 建模任务
fk*JoR.o I?4J69' zST#X} 仿真干涉条纹
/w_Sc{ 42Gr0+Mb %ghQ#dZ]& 走进VirtualLab Fusion
, *e^,|# xPQO}wKa WB6g i2 5>KAVtYvc VirtualLab Fusion中的工作流程
}s}b]v 2i |wQU5w •设置输入场
/A_</GYs −基本光源
模型[教程视频]
/'TzHO9_` •使用导入的数据自定义表面轮廓
fS1N(RZ1 •定义元件的位置和方向
&5(|a"5+G − LPD II:位置和方向[教程视频]
s:*gjoL •正确设置通道以进行非
序列追迹
z;#}uC −非序列追迹的通道设置[用例]
Hi,_qlc+ •使用
参数运行检查影响/变化
'bY^=9&| −参数运行文档的使用[用例]
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; C0i: *1 VirtualLab Fusion技术
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