摘要
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tu8 Eo\UAc 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
hty0Rb[dH TMs,j!w?I NE/m-ILw JYrY[',u 建模任务
L KCb_9 {%VV\qaC ZA Jp% 仿真干涉条纹
-+7uy.@cS A a=u+ L7= Q<D< 走进VirtualLab Fusion
7_.11$E=H Rl qQ -b9;5eS! UPc<gB VirtualLab Fusion中的工作流程
1iX)d)(b 3' ~gviI •设置输入场
?gO8kPg/D −基本光源
模型[教程视频]
3m>+-})d •使用导入的数据自定义表面轮廓
Py>{t4;S •定义元件的位置和方向
3I!?e!y3( − LPD II:位置和方向[教程视频]
b+6"#/s •正确设置通道以进行非
序列追迹
y kW [B −非序列追迹的通道设置[用例]
j:}J}P •使用
参数运行检查影响/变化
`%E8-]{uS −参数运行文档的使用[用例]
QV h4 h)6GaJ= n:0}utU4 ?;wpd';c VirtualLab Fusion技术
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