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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    摘要 .m;1V6  
    n4>  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 AcrbR&cvG  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 }s}b]v  
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    −基本光源模型[教程视频] /'TzHO9_`  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 fS1N(RZ 1  
    •定义元件的位置和方向 &5(|a"5+G  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] s:*gjoL  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 z;#}u C  
    −非序列追迹的通道设置[用例] Hi,_qlc+  
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    VirtualLab Fusion技术 jn]hqTy8  
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