[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 r1&b#r>  
Z#YkAQHv5  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 dO.?S89L  
.CH0P
K=l  
|g]TWKc*  
Q/r0p>  
建模任务 rks+\e}^Z  
Dt?O_Bdv[  
$+P9@Q$  
仿真干涉条纹 f2Frb  
-\:#z4Tc  
Kd^{~Wlz&z  
走进VirtualLab Fusion ) ?rJKr[`  
Et~b^8$>  
x bF*4;^SI  
:/fG %e  
VirtualLab Fusion中的工作流程 n's3!HQY[  
qQN&uBQ[  
•设置输入场
>kOca  
−基本光源模型[教程视频] avxI\twAU  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 p#~
'xq  
•定义元件的位置和方向 G?12?
2  
− LPD II：位置和方向[教程视频] Frn#?n)S9  
•正确设置通道以进行非序列追迹 T.="a2iS2  
−非序列追迹的通道设置[用例] 7r?O(0>  
•使用参数运行检查影响/变化 cAC2Xq  
−参数运行文档的使用[用例] 3=~"<f l  
{L
Tb-CB  
d_#\^!9  
$+Ke$fq.>  
VirtualLab Fusion技术 !OM9aITv[  
^T"9ZBkb