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摘要 P3_.U8g$r CZ5\Et6r 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 ^LMgOA(7 ntW@Fm:bw> 8 t5kou]h "}]$ag!`q$ 建模任务 eTuqK23 _VrY7Mz:r \/NF??k,jk c2npma]DZ 倾斜平面下的观测条纹 ,>
zEG 3 t,_{9 E#k{<LYI =hPXLCeC 圆柱面下的观测条纹 "%-Vrb=:Y o<`hj&s "D(Lp*3hj& g$nS6w|5H 球面下的观测条纹 kWzN {]v 8%[pno
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